导读:本文包含了微加工论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:激光,光纤,加工,光子,测量,毫米波,边缘。
微加工论文文献综述
万晶,汪峰,李琛,王霄,王嘉毅[1]（2019）在《硅基微加工工艺滤波器的研究进展》一文中研究指出硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器的设计方法分类,然后着重介绍近年来国内外硅基微加工工艺滤波器的五种不同设计方法:集总式、薄膜腔体型、带线型、自屏蔽型以及基片集成波导型。通过介绍各方法的工作原理,重点分析了各方法的研究现状及优缺点,并进行了综合对比分析,从加工工艺难度和性能上来看,自屏蔽型以及基片集成波导型硅基微加工工艺滤波器具有更大的发展空间和应用前景。(本文来源于《空间电子技术》期刊2019年05期）
葛良辰,马剑军,曹宇鹏,葛桂兰,花国然[2]（2019）在《激光微加工在微织构技术中的应用及研究进展》一文中研究指出阐述了激光微加工在微织构技术中的应用及其研究进展,针对常见的微凹坑织构、微沟槽织构及特殊织构进行探讨,并分析了织构参数对润滑减磨效果的影响。重点阐述了微凹坑织构中凹坑直径、深度、面积占有率及其协同作用对织构效果的影响,具体分析了最优面积占有率的选取问题;重点阐述了微沟槽织构在截面构型、深度及沟槽方向等方面对微织构效果的影响,横向对比了多参数协同作用;重点阐述了两种特殊织构的特点及其优劣。在此基础上,进一步指出了微织构技术的研究方向以及激光器、计算机辅助技术等的发展对微织构技术的推动作用,探讨了激光冲击强化技术与微织构技术结合的可能,展望了激光技术介入特殊织构的发展方向。(本文来源于《激光与红外》期刊2019年08期）
谢武斌,单等玉,王争飞,陈涛[3]（2019）在《一种准分子激光曲面微加工过程补偿装置》一文中研究指出准分子激光直写在曲面加工情形下的加工效果将呈现出加工不均匀、加工线宽不一致等现象。为了实现准分子激光曲面微加工过程中对加工位置的监测补偿。在装置运行前选取基准距离,在装置运行过程中,对每一刻的加工位置进行跟踪。当加工点位于曲面下偏点或上偏离点时,电动平移台进行反向补偿将该点拉回至基准线上,以此保证每一刻的加工距离相等,即加工平台实时随同工件表面发生相同起伏变化,使得工件表面上作用光斑的大小保持不变。为了达成这一目的,进行了补偿装置硬件方案的搭建,以及传感器参数匹配和随动跟踪软件的开发。研制出了一套移动速度大于100μm/s、补偿误差小于20μm,能够适用于金属和非金属材料加工的准分子激光曲面微加工过程补偿装置。并且,通过实验对该装置的补偿性能和补偿加工效果进行了验证。在连续进行100次的补偿性能测试中,最大偏差大于20μm的次数共有18次,大于30μm的次数占其中2次。该装置由六轴电动平移台、运动控制卡、激光感测头、激光感测控制器以及PC电脑构成。其次,基于MFC框架由C++语言编写了准分子曲面加工的随动跟踪软件,该软件发送的控制信号能够灵活控制电动平移台做出响应。(本文来源于《应用激光》期刊2019年04期）
吕艳华,商娅娜,刘奂奂,庞拂飞[4]（2019）在《基于准分子激光微加工光纤F-P腔的压力传感器》一文中研究指出为了实现薄膜厚度的精确控制从而提高传感器灵敏度,设计了一种基于准分子激光微加工光纤法布里-珀罗(F-P)腔的压力传感器,该F-P腔传感器是在光纤陶瓷插芯的端面上集成刻蚀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜而构成。通过准分子激光对PET膜的刻蚀,精确地控制F-P腔的深度与面积。该传感器在0～1070 Pa的范围内表现出3. 3 nm/kPa的敏感度。(本文来源于《光通信技术》期刊2019年09期）
张露露,杨志超,程登科[5]（2019）在《塑料光纤微加工工艺及在照明装饰的应用》一文中研究指出光纤照明是近些年发展起来的绿色照明技术,而侧面发光塑料光纤更是一种新型导光发光介质,具有广阔的应用前景。本文采用了光纤激光加工系统对直径为1 mm的塑料光纤侧面打孔的制备方法,利用实验和lightools软件模拟激光打孔的方法,建立了不同程度的孔深和孔距对光功率影响的关系。(本文来源于《科技经济导刊》期刊2019年20期）
仝志宏,刘国东,祝锡晶,黎相孟,任宁[6]（2019）在《光纤激光微加工钕铁硼工艺特性研究》一文中研究指出为寻求一种新型高效的钕铁硼微加工手段,探究了光纤激光刻蚀1.5 mm厚的钕铁硼工艺实验,分析了各工艺参数对刻蚀深度、沟槽表面形貌和热影响区的影响规律。结果表明,刻蚀深度随激光功率的增大而增大,当激光功率为12 W时,深度增加到120.1μm,随后其增长趋势逐渐趋于平缓。较低的激光频率,能获得较大的刻蚀沟槽深度,最大可达149.3μm,但沟槽边缘形貌变差。适宜的低速刻蚀,不仅能获得较深的沟槽,而且还能保证材料去蚀量的同时,获得较好的边缘形貌和较小的热影响区。扫描次数增大到6次时,激光深度增大到139.5μm,此时的沟槽槽壁挂渣最少,边缘形貌最佳。(本文来源于《机械科学与技术》期刊2019年11期）
高天学,张福安,李丽欣,赵兴娜,王志斌[7]（2019）在《边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究》一文中研究指出针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统中,经过亚像素边缘检测及尺寸计算后,对光纤参数的测量精度高于0.5μm,可提高光纤微加工系统的性能。(本文来源于《电子器件》期刊2019年03期）
汪超炜[8]（2019）在《多材料飞秒激光微加工技术及其应用研究》一文中研究指出对于一种先进的微纳加工技术,能否适应多种材料的制备能力是衡量该技术的最关键指标之一。本文利用飞秒激光加工技术材料适应性广的独特优势,进一步探索其在多种新型材料上的微纳制备工艺研究,实现了各种功能性微器件的制备,并对其相关应用进行了深入研究。具体内容如下:(1)针对半导体材料钙钛矿单晶(CH3NH3PbI3),由于其硬脆,怕潮的特性,本文提出利用飞秒激光烧蚀技术实现表面微加工。系统地研究了包括激光功率密度,曝光时间等工艺参数与加工分辨率的关系;通过控制激光的重复频率,实现了彩色钙钛矿表面的制备;通过测试表征和理论分析,探究了激光改性对钙钛矿材料荧光特性的影响。(2)针对透明固体材料铌酸锂(LiNbO3),本文提出利用飞秒激光在其内部制备出叁维非线性光子晶体,克服了传统微制备工艺难以实现内部叁维微加工的难题。首先,通过制备一维光栅结构并进行衍射强度处理,初步测定了激光加工对铌酸锂晶体折射率的改变量。接着,设计并加工出了二维非线性光子晶体,共聚焦扫描结构验证了加工区域的二次非线性系数发生了改变,而基波入射后的二次谐波出射图像,进一步地证明了加工结构“参与”了二次谐波准相位匹配过程。通过改变基波的入射方向,观察到了非线性Talbot效应。最后,通过优化工艺参数,制备出了四方型叁维非线性光子晶体,并实验验证了其准相位匹配倍频过程。本文还对非线性光子晶体生成非线性结构光的工作进行了初步探究。(3)针对光敏聚合材料(SZ 2080),提出利用结构光代替传统单点光源,从而提高叁维结构的制备效率和灵活性。利用空间光调制器(LCos-SLM)生成了飞秒马修光束;基于德拜衍射定理,从仿真和实验两方面研究了在紧聚焦情况下,加工光路中的4f系统以及马修光束的特征参数对聚焦光场的影响;利用拉伸扫描策略结合动态全息,实现了叁维微笼结构的高效加工。相比于传统的单点扫描策略,加工时间减少了2个数量级。在此基础上,研究了叁维微笼结构在操纵粒子领域的应用:利用微笼结构实现了对SiO2粒子的有效捕获和分选;利用微笼结构作为叁维支架成功实现了对酵母菌细胞的捕获以及培养。相关成果对研究细胞在叁维环境下的行为特征有重要的应用价值。(4)针对光敏玻璃(Foturan光敏玻璃),本文利用化学刻蚀辅助飞秒激光加工技术,完成了玻璃内部多层管道的加工,同时结合光聚合材料(SU-8光刻胶),在微管道内集成了叁维微结构,最终实现了对2种材料的组合加工。在制备叁维多层微管道时,定量优化了激光能量,保证处于不同深度的加工区域改性一致。提出“补偿层”扫描策略,确保不同深度的微管道可以同时完成化学刻蚀,提高叁维多层结构的均一性。在利用光聚合材料进行后续微结构集成时,由于封闭环境与表面环境的区别,定量优化了前烘时间、加工能量与显影时间叁个工艺参数。由于可以使用具有生物兼容性的光聚合材料替代SU-8,因此相关工作为下一步制备叁维多功能复合微流控芯片奠定了基础。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2019-05-04）
杨涵,于希辰,吴一帆,刘海青,李东亚[9]（2019）在《飞秒激光在微加工领域的研究进展及其应用》一文中研究指出近年来,为了使加工技术更加精准、无误差,各国研究者投入到了微加工领域的研究。而飞秒激光以其极高的峰值、较小的损伤阈值、高的聚焦力,使其成为国内外在微加工领域的热点研究对象。总结了近年来飞秒激光在微加工领域的研究进展,并从微加工金属材料、集成光学、生物医疗、纳米加工领域进行综述,最后指出飞秒激光发展到现在所存在的问题及对未来的期想。(本文来源于《应用激光》期刊2019年02期）
刘雷文[10]（2019）在《紫外激光在柔性线路板盲孔微加工中的应用》一文中研究指出针对双面铜基材的柔性线路板进行盲孔加工,重点分析了激光加工功率、扫描方式、离焦量、激光频率、光斑直径等加工参数对盲孔加工质量的影响规律,获得了锥度小、粗糙度低和表面质量良好的微孔。(本文来源于《中国高新科技》期刊2019年07期）
微加工论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
阐述了激光微加工在微织构技术中的应用及其研究进展,针对常见的微凹坑织构、微沟槽织构及特殊织构进行探讨,并分析了织构参数对润滑减磨效果的影响。重点阐述了微凹坑织构中凹坑直径、深度、面积占有率及其协同作用对织构效果的影响,具体分析了最优面积占有率的选取问题;重点阐述了微沟槽织构在截面构型、深度及沟槽方向等方面对微织构效果的影响,横向对比了多参数协同作用;重点阐述了两种特殊织构的特点及其优劣。在此基础上,进一步指出了微织构技术的研究方向以及激光器、计算机辅助技术等的发展对微织构技术的推动作用,探讨了激光冲击强化技术与微织构技术结合的可能,展望了激光技术介入特殊织构的发展方向。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微加工论文参考文献
[1].万晶,汪峰,李琛,王霄,王嘉毅.硅基微加工工艺滤波器的研究进展[J].空间电子技术.2019
[2].葛良辰,马剑军,曹宇鹏,葛桂兰,花国然.激光微加工在微织构技术中的应用及研究进展[J].激光与红外.2019
[3].谢武斌,单等玉,王争飞,陈涛.一种准分子激光曲面微加工过程补偿装置[J].应用激光.2019
[4].吕艳华,商娅娜,刘奂奂,庞拂飞.基于准分子激光微加工光纤F-P腔的压力传感器[J].光通信技术.2019
[5].张露露,杨志超,程登科.塑料光纤微加工工艺及在照明装饰的应用[J].科技经济导刊.2019
[6].仝志宏,刘国东,祝锡晶,黎相孟,任宁.光纤激光微加工钕铁硼工艺特性研究[J].机械科学与技术.2019
[7].高天学,张福安,李丽欣,赵兴娜,王志斌.边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究[J].电子器件.2019
[8].汪超炜.多材料飞秒激光微加工技术及其应用研究[D].中国科学技术大学.2019
[9].杨涵,于希辰,吴一帆,刘海青,李东亚.飞秒激光在微加工领域的研究进展及其应用[J].应用激光.2019
[10].刘雷文.紫外激光在柔性线路板盲孔微加工中的应用[J].中国高新科技.2019
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