全文摘要
本实用新型公开了一种用于Foup的定位装置，包括：设于设备上的一框形承载板，所述承载板的框形开口用于放置不同类型的Foup，所述承载板的左右两侧设有第一定位单元，所述承载板的前后两侧设有第二定位单元；其中，所述第一定位单元用于定位第一类型的Foup，所述第二定位单元用于定位第二类型的Foup。本实用新型通过在设备上设置可兼容不同Foup的承载板，改变了现有Foup单一的定位方式，可兼容两种不同类型的Foup，使生产过程中能够在两种Foup中更换，满足生产方可以使用同一台设备生产不同规格的产品，从而大大提高了设备的使用率。
主设计要求
1.一种用于Foup的定位装置，其特征在于，包括：设于设备上的一框形承载板，所述承载板的框形开口用于放置不同类型的Foup，所述承载板的左右两侧设有第一定位单元，所述承载板的后侧设有第二定位单元；其中，所述第一定位单元用于定位第一类型的Foup，所述第二定位单元用于定位第二类型的Foup。
设计方案
1.一种用于Foup的定位装置，其特征在于，包括：设于设备上的一框形承载板，所述承载板的框形开口用于放置不同类型的Foup，所述承载板的左右两侧设有第一定位单元，所述承载板的后侧设有第二定位单元；其中，所述第一定位单元用于定位第一类型的Foup，所述第二定位单元用于定位第二类型的Foup。
2.根据权利要求1所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第一定位单元包括分设于所述承载板左右两侧表面上的一对第一定位销。
3.根据权利要求2所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第一定位销垂直向上设置。
4.根据权利要求2所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第一定位销与分设于所述第一类型的Foup底部左右两侧的一对第一定位孔对应。
5.根据权利要求1所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第二定位单元包括设于所述承载板的后侧框壁上的一对第二定位销。
6.根据权利要求5所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第二定位销垂直向上设置，所述第二定位销通过其侧部与所述承载板的后侧框壁相连。
7.根据权利要求5所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第二定位销与设于所述第二类型的Foup底部后侧的一对第二定位孔对应。
8.根据权利要求1-7任一所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，还包括第三定位单元，所述第三定位单元设于所述承载板的前侧框壁上，用于与所述第二定位单元配合，一起对第二类型的Foup进行定位。
9.根据权利要求8所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述第三定位单元为弹性挡块。
10.根据权利要求1所述的用于Foup的定位装置，其特征在于，所述承载板的左右两侧表面上还设有拉手。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及半导体行业晶圆自动化制程中晶圆上料Foup技术领域，更具体地，涉及一种可与不同形式的Foup兼容的定位装置。
背景技术
在半导体行业自动化制程中，由于目前晶圆Foup(前开式晶圆传送盒)在生产过程中进行定位时，目前都只能在设备上放置一种规格的Foup，无法来兼容其他规格及厂家的产品，这样就会导致工厂对规格不同的晶圆Foup的定位方式的进一步需求。
所以，需要设计一种新型的可兼容的定位装置，以更好满足生产方的使用要求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于Foup的定位装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种用于Foup的定位装置，包括：设于设备上的一框形承载板，所述承载板的框形开口用于放置不同类型的Foup，所述承载板的左右两侧设有第一定位单元，所述承载板的后侧设有第二定位单元；其中，所述第一定位单元用于定位第一类型的Foup，所述第二定位单元用于定位第二类型的Foup。
进一步地，所述第一定位单元包括分设于所述承载板左右两侧表面上的一对第一定位销。
进一步地，所述第一定位销垂直向上设置。
进一步地，所述第一定位销与分设于所述第一类型的Foup底部左右两侧的一对第一定位孔对应。
进一步地，所述第二定位单元包括设于所述承载板的后侧框壁上的一对第二定位销。
进一步地，所述第二定位销垂直向上设置，所述第二定位销通过其侧部与所述承载板的后侧框壁相连。
进一步地，所述第二定位销与设于所述第二类型的Foup底部后侧的一对第二定位孔对应。
进一步地，还包括第三定位单元，所述第三定位单元设于所述承载板的前侧框壁上，用于与所述第二定位单元配合，一起对第二类型的Foup进行定位。
进一步地，所述第三定位单元为弹性挡块。
进一步地，所述承载板的左右两侧表面上还设有拉手。
从上述技术方案可以看出，本实用新型通过在设备上设置可兼容不同Foup的承载板，改变了现有Foup单一的定位方式，可兼容两种不同类型的Foup，使生产过程中能够在两种Foup中更换，满足生产方可以使用同一台设备生产不同规格的产品，从而大大提高了设备的使用率。因此，本实用新型具有以下优点：
(1)能够兼容两种不同规格的Foup，满足两种不同Foup在同一工位都能进行定位，使整机的使用率显著提高。
(2)针对两种产品，无需更换其他装置，就能快速定位。
(3)可以减少更换工装的时间，大大提高了生产效率。
附图说明
图1是本实用新型一较佳实施例的一种用于Foup的定位装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。
在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种用于Foup的定位装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种用于Foup的定位装置，包括一个框形承载板1；承载板1安装在设备上，具体为安装在设备前端用于放置并定位Foup的位置。
请参考图1。承载板1的框形开口用于放置不同类型的Foup4。框形开口为封闭形，例如可为矩形开口。
承载板1的左右两侧设有第一定位单元6，承载板1的后侧设有第二定位单元5；其中，第一定位单元6用于定位第一类型的Foup，第二定位单元5用于定位第二类型的Foup4。图示的Foup4为第二类型的Foup4。
请参考图1。第一定位单元6可包括分设于承载板1左右两侧的框形表面上的一对第一定位销6。第一定位销6可垂直向上设置，以便与分设于第一类型的Foup底部左右两侧的一对第一定位孔相对应。当第一类型的Foup传输到设备前端时，即可将第一类型的Foup放入承载板1的框形开口中，并使第一类型的Foup底部左右两侧上的一对第一定位孔与承载板1左右两侧的框形表面上的一对第一定位销6对准配合，使设备完成对第一类型的Foup的定位。
请参考图1。第二定位单元5包括设于承载板1的后侧框壁上的一对第二定位销5。第二定位销5可垂直向上设置，以便与设于第二类型的Foup4底部后侧的一对第二定位孔对应。第二定位销5可通过其侧部与承载板1的后侧框壁相固定连接。当将第二类型的Foup4也传输到设备前端时，即可将第二类型的Foup4放入承载板1的框形开口中，并使第二类型的Foup4底部后侧上的一对第二定位孔的缺口对准承载板1后侧框壁上的一对第二定位销5进行配合，使设备完成对第二类型的Foup4的定位。
作为一优选的实施方式，还可在承载板4的前侧框壁上设置第三定位单元3；第三定位单元3用于与第二定位单元5配合，一起对第二类型的Foup4进行定位。
其中，第三定位单元3具体可为设于承载板1的前侧框壁上的一个弹性挡块3。在挡块3的内部可通过设置弹簧2，来使挡块3起到具有弹性作用力的作用。
例如，第一定位单元6可用于定位北京北方华创微电子装备有限公司的Foup，即采用上述第一定位销6与第一定位孔相配合的方式进行定位。第二定位单元5和第三定位单元3可用于一起定位美国应用材料公司的Foup4。图示的Foup4即为美国应用材料公司的Foup4。可采用弹簧挡块3配合第二定位销5的组合方式，对Foup4进行定位。可先人工将Foup4上的定位销缺口(第二定位孔)对着承载板1上的第二定位销5，再通过承载板1前端的弹性挡块3进行夹紧定位。通过这两种方式的兼容，保证了在不用更换工装夹具的前提下，能快速准确地对不同产品进行定位。
承载板1的左右两侧表面上还可设有拉手7。
综上所述，本实用新型通过在设备上设置可兼容不同Foup的承载板，改变了现有Foup单一的定位方式，可兼容两种不同类型的Foup，使生产过程中能够在两种Foup中更换，满足生产方可以使用同一台设备生产不同规格的产品，从而大大提高了设备的使用率。
以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920116868.6
申请日:2019-01-23
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:31(上海)
授权编号:CN209282183U
授权时间:20190820
主分类号:H01L 21/68
专利分类号:H01L21/68
范畴分类:38F;23E;
申请人:上海福赛特机器人有限公司
第一申请人:上海福赛特机器人有限公司
申请人地址:200233 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室
发明人:吴高
第一发明人:吴高
当前权利人:上海福赛特机器人有限公司
代理人:陶金龙;张磊
代理机构:31275
代理机构编号:上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）
优先权:CN2019200427787
关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计