基于过程能力指数的金钢线多晶切片质量控制

基于过程能力指数的金钢线多晶切片质量控制

论文摘要

过程能力指数Cpk是衡量制造业生产过程产品满足标准要求程度的量值,Cpk值越大,则意味着工序生产能力越稳定,产品质量也越高;同时考虑到成本及技术能力,通常将Cpk值控制在一个可以接受的水平。将制造业生产常用的过程能力指数方法运用于金刚线多晶切片质量控制过程中,通过计算生产过程可能影响成品率的质量因素的Cpk指数,从而快速有效地找出影响多晶切片质量和过程稳定性的主要因素,为质量改进提供有效的数据支撑。

论文目录

  • 1 过程能力指数应用原理及计算方法
  • 2 过程能力指数在多晶硅金刚线切片过程的应用
  •   2.1 多晶硅金刚线切片不良质量因子分析
  •   2.2 不良质量因子正态性分析
  •   2.3 不良质量因子Cpk指数控制选择
  •   2.4 各不良质量因子控制能力分析
  •   2.5 提高过程质量控制能力的措施
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 白杨丰,于丽君,李亚明

    关键词: 过程能力指数,金刚线多晶切片,质量因素

    来源: 电子工业专用设备 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 中国电子科技集团公司第二研究所

    分类号: TG48

    页码: 24-28

    总页数: 5

    文件大小: 1535K

    下载量: 105

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