靶材用氧化铌粉体的制备及表征

论文摘要

采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试。结果表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96%(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm~3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3%,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性。

论文目录

• 1 实验
• 2 结果与讨论
•   2.1 氢氧化铌煅烧过程的差热分析
•   2.2 铌氧化物的粒度分布及振实密度
•   2.3 透视电镜 （TEM） 表征
•   2.4 XRD表征
•   2.5 铌氧化物纯度及氧含量分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 高远,彭能,金明亚,唐仁衡,肖世文,王亮亮

关键词: 高纯氧化铌,氢化脱氧,振实密度,靶材

来源: 粉末冶金工业 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 广东省稀有金属研究所广东省稀土开发及应用重点实验室,广州市尤特新材料有限公司

基金: 广州市科技创新委员会产学研协同创新重大专项(201604016099),广东省省级科技计划项目(2017A010103012)

分类号: TB383.3;TQ135.12

DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20170131

页码: 16-20

总页数: 5

文件大小: 1331K

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