微流控芯片注塑模具的微细电解加工

基于电解加工电极不损耗的优势,研究了一种微细电解加工微流控芯片注塑模具微结构的工艺,针对微小V型槽和微孔,解决微细电极在线制备和测量、微结构成形精度、群微结构加工等关键问题。加工实验结果表明:该工艺可实现曲线V型槽和群微结构加工,通过微细电解加工的模具具有较高的形状精度和表面质量。

1 模具微结构电解加工工艺

2 微结构电解加工关键工艺

2.1 电极在线检测工艺

2.2 粗精加工结合工艺

2.3 曲线槽和群微结构加工

3 模具微结构及注塑芯片测试

3.1 微结构制备与测试

3.2 微流控芯片微结构测试

4 结论

类型: 期刊论文

作者: 王志强,钟昊,李勇,佟浩,孔全存

关键词: 微流控芯片,注塑模具,微细电解加工,型槽,微孔

来源: 电加工与模具 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室,清华大学摩擦学国家重点实验室

基金: 国家自然科学基金资助项目(51775302),天津市自然科学基金重点项目(17JCZDJC32300)

分类号: TG662

页码: 33-36+60

总页数: 5

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