全文摘要
本申请公开了一种新型卷绕式真空内纠偏装置，包括真空腔、真空泵、供气机构、放料辊、收料辊、纠偏辊和靶材，所述真空泵和所述供气机构均与所述真空腔连通，所述放料辊、所述收料辊、所述纠偏辊和所述靶材均放置在所述真空腔内，还包括滑轨、调整架，所述调整架包括竖直调整板和水平调整板，所述调整架上设有滑轮、通孔、旋转底座和凹槽，所述调整架通过所述滑轮与所述滑轨连接，所述通孔、所述旋转底座和所述凹槽位于所述调整架的上端面上，所述旋转底座上固定连接一凸轮。本申请通过在纠偏辊的缠绕基材的部位设置调整架，调整架的前后运动，能实时纠正基材的运输线路，进而在一定程度上达到防止基材在卷绕过程中的位置偏移。
主设计要求
1.一种新型卷绕式真空内纠偏装置，包括真空腔(1)、真空泵(2)、供气机构(3)、放料辊(4)、收料辊(5)、纠偏辊(6)和靶材(7)，所述真空泵(2)和所述供气机构(3)均与所述真空腔(1)连通，所述放料辊(4)、所述收料辊(5)、所述纠偏辊(6)和所述靶材(7)均放置在所述真空腔(1)内，所述放料辊(4)、所述收料辊(5)、所述纠偏辊(6)通过轴心穿过所述真空腔(1)的后端面，所述放料辊(4)、所述收料辊(5)、所述纠偏辊(6)与所述真空腔(1)内后端面的连接处设有密封圈，所述靶材(7)位于所述真空腔(1)内的中心轴线上，所述靶材(7)固定在所述真空腔(1)内的上端面上，其特征是：还包括滑轨(8)、调整架(9)，所述滑轨(8)的数量为四个，其中两个所述滑轨(8)位于所述真空腔(1)内侧的左端部位，另外两个所述滑轨(8)位于所述真空腔(1)内侧的右端部位，位于所述真空腔(1)内侧左端部位的两个所述滑轨(8)位于同一条直线上，位于所述真空腔(1)内侧右端部位的两个所述滑轨(8)位于同一条直线上，所述调整架(9)位于所述放料辊(4)和所述收料辊(5)之间，所述调整架(9)包括竖直调整板(10)和水平调整板(11)，所述调整架(9)的侧视为形，所述竖直调整板(10)的数量为两个，两个所述竖直调整板(10)上均设有通孔，所述纠偏辊(6)能穿过所述通孔，所述水平调整板(11)的数量为一个，两个所述竖直调整板(10)的上端面与一个所述水平调整板(11)焊接为一体成型结构，所述调整架(9)上设有滑轮(12)、通孔(13)、旋转底座(14)和凹槽(15)，所述滑轮(12)通过螺钉固定在所述调整架(9)的下端面上，所述调整架(9)通过所述滑轮(12)与所述滑轨(8)连接，所述通孔(13)、所述旋转底座(14)和所述凹槽(15)位于所述调整架(9)的上端面上，所述通孔(13)位于所述水平调整板(11)的中心部位，所述凹槽(15)的数量为两个，两个所述凹槽(15)分别位于所述水平调整板(11)的左端部位和右端部位，所述旋转底座(14)通过螺钉固定在所述凹槽(15)内，所述旋转底座(14)上固定连接一凸轮(16)。
设计方案
1.一种新型卷绕式真空内纠偏装置，包括真空腔(1)、真空泵(2)、供气机构(3)、放料辊(4)、收料辊(5)、纠偏辊(6)和靶材(7)，所述真空泵(2)和所述供气机构(3)均与所述真空腔(1)连通，所述放料辊(4)、所述收料辊(5)、所述纠偏辊(6)和所述靶材(7)均放置在所述真空腔(1)内，所述放料辊(4)、所述收料辊(5)、所述纠偏辊(6)通过轴心穿过所述真空腔(1)的后端面，所述放料辊(4)、所述收料辊(5)、所述纠偏辊(6)与所述真空腔(1)内后端面的连接处设有密封圈，所述靶材(7)位于所述真空腔(1)内的中心轴线上，所述靶材(7)固定在所述真空腔(1)内的上端面上，其特征是：还包括滑轨(8)、调整架(9)，所述滑轨(8)的数量为四个，其中两个所述滑轨(8)位于所述真空腔(1)内侧的左端部位，另外两个所述滑轨(8)位于所述真空腔(1)内侧的右端部位，位于所述真空腔(1)内侧左端部位的两个所述滑轨(8)位于同一条直线上，位于所述真空腔(1)内侧右端部位的两个所述滑轨(8)位于同一条直线上，所述调整架(9)位于所述放料辊(4)和所述收料辊(5)之间，所述调整架(9)包括竖直调整板(10)和水平调整板(11)，所述调整架(9)的侧视为设计说明书
技术领域
本公开一般涉及真空镀膜装置，具体涉及一种新型卷绕式真空内纠偏装置。
背景技术
在需要对长条器件进行真空镀膜时，在真空室内配置有以下构建的溅射装置，原料卷，成膜辊，靶材，气体供给机构和卷取辊等，经该溅射装置溅射处理后的长条膜基材通过卷取辊收集。但是在溅射过程中，由于真空室内的高温环境，卷绕基材在成膜辊上卷绕时，基材会发生位置偏移，进而影响基材内部的张力，使传输系统出现故障。而现在使用较多的纠偏装置是在位置发生偏移后，才进行纠正，这时基材内部的张力已经失去平衡，长此以往，传输系统磨损速度较快。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种新型卷绕式真空内纠偏装置。
第一方面，能在一定程度上防止基材发生位置偏移。
根据本申请实施例提供的技术方案，一种新型卷绕式真空内纠偏装置，包括真空腔、真空泵、供气机构、放料辊、收料辊、纠偏辊和靶材，所述真空泵和所述供气机构均与所述真空腔连通，所述放料辊、所述收料辊、所述纠偏辊和所述靶材均放置在所述真空腔内，所述放料辊、所述收料辊、所述纠偏辊通过轴心穿过所述真空腔的后端面，所述放料辊、所述收料辊、所述纠偏辊与所述真空腔内后端面的连接处设有密封圈，所述靶材位于所述真空腔内的中心轴线上，所述靶材固定在所述真空腔内的上端面上，还包括滑轨、调整架，所述滑轨的数量为四个，其中两个所述滑轨位于所述真空腔内侧的左端部位，另外两个所述滑轨位于所述真空腔内侧的右端部位，位于所述真空腔内侧左端部位的两个所述滑轨位于同一条直线上，位于所述真空腔内侧右端部位的两个所述滑轨位于同一条直线上，所述调整架位于所述放料辊和所述收料辊之间，所述调整架包括竖直调整板和水平调整板，所述调整架的侧视为″设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920077764.9
申请日:2019-01-17
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:37(山东)
授权编号:CN209584356U
授权时间:20191105
主分类号:C23C 14/24
专利分类号:C23C14/24;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56
范畴分类:25F;
申请人:威海斡兹真空科技有限公司
第一申请人:威海斡兹真空科技有限公司
申请人地址:264200 山东省威海市环翠区羊亭镇北小城村西
发明人:陈刚;郭江涛
第一发明人:陈刚
当前权利人:威海斡兹真空科技有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计