导读:本文包含了原子力显微术轮廓仪论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:原子力显微镜(AFM),步进电机,轮廓仪,纳米
原子力显微术轮廓仪论文文献综述
赵君臣,章海军,张冬仙,林晓峰[1]（2006）在《原子力显微轮廓仪系统的研究》一文中研究指出研制了原子力显微镜(AFM)轮廓仪,介绍了AFM轮廓仪的基本原理和系统设计,并展示了多孔Al2O3薄膜、MgAl2O4薄膜和TiN薄膜的表面轮廓图。跟普通光学轮廓仪相比,该系统不需要进行复杂的光路调整,避免了光学元器件带来的误差,且工作行程不受光学孔径的制约,具有操作简单、抗干扰能力强和工作行程大的优点。实验表明,该系统具有良好的重复性、稳定性,横向分辨率为1μm,纵向分辨率为1 nm。(本文来源于《光电子·激光》期刊2006年07期）
赵君臣[2]（2006）在《原子力显微术轮廓仪的新方法研究及系统研制》一文中研究指出二十世纪八十年代以来,随着扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)相继问世,纳米科技正给人类的生产生活带来深刻变革。在纳米检测方面,AFM因为它突出的分辨率、广泛的适用性,成为应用最广泛的检测仪器之一。但是AFM的扫描范围有限,一般是几微米或十几微米。由于范围太小,导致它在很多特定场合无法使用。在轮廓测量方面,各类表面台阶仪、光学轮廓仪也正广泛应用于生产和科研之中。原理各不相同,种类也是不计其数。但是它们在分辨率、稳定性等方面总是存在或多或少的问题,满足不了生产和科研的需求。针对越来越多的纳米检测需求,研制了一套全新的原子力显微术轮廓仪(AFM Profiler)系统。 AFM Profiler系统是一套新型的系统,目前国内外都很少有类似的产品。它用步进电机实现样品与针尖的相对运动,将步进电机与AFM相结合,进行大范围高精度的纳米轮廓测量。它既具有AFM纳米级测量精度,又具有步进电机长程扫描范围,系统稳定性好,操作简单,自动化程度高。 本文共分为七章。第一章介绍纳米科技、课题背景;第二章介绍AFM Profiler系统主要组成部分的工作原理;第叁章介绍了本课题的新方法;第四章讲述了AFM Profiler整个系统的研制;第五章是性能分析和系统标定;第六章是该系统的应用研究;第七章包括总结和展望。 本课题的主要研究工作内容和创新之处包括: 理论上,提出将AFM与步进电机相结合以实现大范围轮廓测量的新的系统设计思想,并将这种新的仪器系统称作AFM Profiler系统。否定了一些其它的系统设计思想,并对这种设计思想进行了可行性研究。提出轮廓和粗糙度测量新方法、膜厚测量新方法。 技术方法上,研制了一套AFM Profiler系统实验装置。系统的扫描采用等高模式,即探头不动,步进电机载着样品实现相对运动;检测方式采用光束偏转法;分析了步进电机的运动特点,设计了扫描控制电压波形;设计了步进电机的选通电路和信号处理电路;设计了连接AFM探头和步进电机的零件,将这两个部分紧密连接起来形成一个统一的整体;完成了系统软件的编写,包括扫描控制、(本文来源于《浙江大学》期刊2006-01-01）
原子力显微术轮廓仪论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
二十世纪八十年代以来,随着扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)相继问世,纳米科技正给人类的生产生活带来深刻变革。在纳米检测方面,AFM因为它突出的分辨率、广泛的适用性,成为应用最广泛的检测仪器之一。但是AFM的扫描范围有限,一般是几微米或十几微米。由于范围太小,导致它在很多特定场合无法使用。在轮廓测量方面,各类表面台阶仪、光学轮廓仪也正广泛应用于生产和科研之中。原理各不相同,种类也是不计其数。但是它们在分辨率、稳定性等方面总是存在或多或少的问题,满足不了生产和科研的需求。针对越来越多的纳米检测需求,研制了一套全新的原子力显微术轮廓仪(AFM Profiler)系统。 AFM Profiler系统是一套新型的系统,目前国内外都很少有类似的产品。它用步进电机实现样品与针尖的相对运动,将步进电机与AFM相结合,进行大范围高精度的纳米轮廓测量。它既具有AFM纳米级测量精度,又具有步进电机长程扫描范围,系统稳定性好,操作简单,自动化程度高。 本文共分为七章。第一章介绍纳米科技、课题背景;第二章介绍AFM Profiler系统主要组成部分的工作原理;第叁章介绍了本课题的新方法;第四章讲述了AFM Profiler整个系统的研制;第五章是性能分析和系统标定;第六章是该系统的应用研究;第七章包括总结和展望。 本课题的主要研究工作内容和创新之处包括: 理论上,提出将AFM与步进电机相结合以实现大范围轮廓测量的新的系统设计思想,并将这种新的仪器系统称作AFM Profiler系统。否定了一些其它的系统设计思想,并对这种设计思想进行了可行性研究。提出轮廓和粗糙度测量新方法、膜厚测量新方法。 技术方法上,研制了一套AFM Profiler系统实验装置。系统的扫描采用等高模式,即探头不动,步进电机载着样品实现相对运动;检测方式采用光束偏转法;分析了步进电机的运动特点,设计了扫描控制电压波形;设计了步进电机的选通电路和信号处理电路;设计了连接AFM探头和步进电机的零件,将这两个部分紧密连接起来形成一个统一的整体;完成了系统软件的编写,包括扫描控制、
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
原子力显微术轮廓仪论文参考文献
[1].赵君臣,章海军,张冬仙,林晓峰.原子力显微轮廓仪系统的研究[J].光电子·激光.2006
[2].赵君臣.原子力显微术轮廓仪的新方法研究及系统研制[D].浙江大学.2006
标签：原子力显微镜(AFM); 步进电机; 轮廓仪; 纳米;