导读:本文包含了深亚微米技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:探针,技术,微结构,沟道,芯片,电子束,超纯水。
深亚微米技术论文文献综述写法
钱伯章[1]（2008）在《亚微米技术实现中水重复利用》一文中研究指出多年从事亚微米分离技术研究和装置生产的河北深州市净化设备器材厂,在河北科技大学等科研院校的协助下,研制开发出高性能亚微米分离技术,并生产出亚微米净水装置,从根本上解决了工业循环水质不达标的难题,实现了中水的重复利用。采用该技术生产的净化装置具有过滤介质孔径均匀、阻力系数小、机械性能高、耐酸碱等显着特点。(本文来源于《水处理技术》期刊2008年09期）
张文杰,易万兵,吴瑾[2]（2006）在《铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战》一文中研究指出铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0·18μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.(本文来源于《物理学报》期刊2006年10期）
[3]（2006）在《产业发展同样需要深亚微米技术的另一层面》一文中研究指出半导体产业发展到如今,在“摩尔定律”的驱动下,最先进的制造工艺已经达到深亚微米,业界的确有许多设计是在深亚微米成功实现。但产业发展的另一层面是,模拟和混合信号技术的发展正在采取一种与数字技术截然不同的策略。最近在美国硅谷举办的全球电子峰会(Electro(本文来源于《电子产品世界》期刊2006年08期）
陈起[4]（2005）在《亚微米技术"以石头换石油"》一文中研究指出亚微米技术为塑料管件提供了新的复 合材料。据初步估算,如果能在300万吨塑 料管件生产中,采用此项研究成果对塑料 进行填充性改性,即可替代近百万吨的 PVC树脂,相当于节省出一座数十亿元投 资的30万吨乙烯工程。在石油资源紧缺的 目前,这项技术的推广具有重要的意义。 这项技术,就是天津市开发区某超微 新材料公司的新成果--"6000目超细重 钙在PVC管件生产中的应用"。这一成果日 前通过了天津市科委委托开发区科技局组 织的专家鉴定。 据了解,该项目的研发成功,给塑料管(本文来源于《中国石油石化》期刊2005年08期）
张晓阳[5]（2005）在《亚微米技术“以石头换石油”》一文中研究指出该技术为塑料管件提供了新的复合材料，每生产３００万吨塑料管件可替代出近百万吨的ＰＶＣ树脂，相当于节省出一座数十亿元投资的３０万吨乙烯工程。 本报讯（记者张晓阳）科技无疑是第一生产力。“初步估算，如果能在３００万吨塑料管件生产中，采用此项研究成果对塑(本文来源于《天津日报》期刊2005-04-01）
莫涛,甘学温[6]（2003）在《深亚微米技术和数字家庭网络的发展》一文中研究指出数字家庭网络的发展前景 PC技术一直在高速发展,使家用PC机不断升级,同时很多家庭还保留着旧的PC机,这就使得拥有多台PC机的家庭不断增加。另一方面,随着PC机的性能不断提高,使其新的和更强大的功能陆续被开发出来,其中很重要的一项就是多媒体应用,而且,很多应用也有了因特网支持。越来越多的多媒体内容和(本文来源于《世界产品与技术》期刊2003年10期）
王伟[7]（2002）在《亚微米技术催生绿色新品》一文中研究指出一种节能、无污染的高技术环保产品亚微米重钙、硅灰石后加工产品，近日在广东投入产业化。这项由香港伟确集团下属伟确超微新材料有限公司与华南理工大学合作的成果属于广东省“十五”科技重大专项“超细及纳米技术”项目，能为塑料、橡胶、涂料、造纸提供新的工业填充材料，(本文来源于《安全与健康》期刊2002年15期）
李锦林[8]（2002）在《亚微米技术芯片用先进测试技术》一文中研究指出进入新千年，微处理器最重要的两家供应商——Intel和IBM公司分别宣布采用0.13mmCMOS工艺生产时钟频率2GHz以上的芯片。Intel公司的CMOS器件栅极长度只有70nm和栅极氧化层厚度1.5nm，并且准备再缩小尺寸，将栅极长度减小到30nm，(本文来源于《电子产品世界》期刊2002年05期）
林耀泽[9]（2000）在《深深亚微米技术中的超纯水》一文中研究指出以我国深亚微米水平的超纯水系统的实践经验为基础,以300mm芯片厂和深深亚微米加工技术的需要为对象,推测其水质、水量的要求和费用能力,评述若干制水关键技术的现状,展望其发展。(本文来源于《洁净与空调技术》期刊2000年02期）
[10]（1997）在《深亚微米技术提高了芯片设计能力》一文中研究指出NEC Electronics公司推出了利用0.25μm图画(有效尺寸0.18μm)沟道长度CMOS技术设计的叁种ASIC新产品,用户可以在一块芯片上使用CBC-10单元基、CMOS-10门阵或EA-10嵌入式阵列(具有嵌入式单元基区块的门阵)技术设计系统。(本文来源于《电子设计技术》期刊1997年08期）
深亚微米技术论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0·18μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
深亚微米技术论文参考文献
[1].钱伯章.亚微米技术实现中水重复利用[J].水处理技术.2008
[2].张文杰,易万兵,吴瑾.铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战[J].物理学报.2006
[3]..产业发展同样需要深亚微米技术的另一层面[J].电子产品世界.2006
[4].陈起.亚微米技术"以石头换石油"[J].中国石油石化.2005
[5].张晓阳.亚微米技术“以石头换石油”[N].天津日报.2005
[6].莫涛,甘学温.深亚微米技术和数字家庭网络的发展[J].世界产品与技术.2003
[7].王伟.亚微米技术催生绿色新品[J].安全与健康.2002
[8].李锦林.亚微米技术芯片用先进测试技术[J].电子产品世界.2002
[9].林耀泽.深深亚微米技术中的超纯水[J].洁净与空调技术.2000
[10]..深亚微米技术提高了芯片设计能力[J].电子设计技术.1997