全文摘要
本实用新型公开了一种PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，包括与PECVD设备连接的通气固定底座，通气固定底座的中心轴向上延伸一段并向外展开形成有伞型锥状支撑体，伞型锥状支撑体上端连接有分散座与多个分散片，多个分散片均匀分散连接在分散座的外表面，通气固定底座上在中心轴外周围设置有多个通气孔，分散座内为中空的并通过连接片连接设置在分散座中心的中心通孔座，多个分散片的底部倾斜角度设置为分散片与分散座的中心轴线方向呈5‑35度。本实用新型通过伞型锥状支撑体和多个分散片的设置，有益气体快速有效分散进入真空腔蒸汽，确保工件表面纳米防水膜均匀分布，该分散装置可以长期耐180℃高温环境工作，结构设计紧凑合理，方便拆装与维护。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920096195.2
申请日:2019-01-21
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:44(广东)
授权编号:CN209873098U
授权时间:20191231
主分类号:C23C16/50
专利分类号:C23C16/50;C23C16/455
范畴分类:25F;
申请人:东莞市和域战士纳米科技有限公司
第一申请人:东莞市和域战士纳米科技有限公司
申请人地址:523000 广东省东莞市塘厦镇宏业北路99A16号
发明人:杨福年;郑锡文
第一发明人:杨福年
当前权利人:东莞市和域战士纳米科技有限公司
代理人:韩绍君
代理机构:44351
代理机构编号:深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：真空环境论文;