一种多晶硅加工铸锭设备论文和设计

全文摘要

本实用新型公开了一种多晶硅加工铸锭设备，包括传送带和液压泵，所述传送带的外表面固定设置有入料槽，且传送带的内部设置有旋转电机，所述传送带的右下方安装有装置本体，且装置本体的右侧安装有压缩板，所述压缩板的上方固定安装有连接杆，且连接杆的外表面固定安装有外齿，所述外齿的右侧啮合连接有辊齿，且辊齿的内部固定安装有旋转辊，所述单向控制阀的下方连接有风机组，且风机组的下方连接有高热仓，所述单向控制阀的右下方连接有耐高温水管，且耐高温水管的下方连接有水箱。该多晶硅加工铸锭设备的主要特点是可以实现铸锭炉的上下移动，实现入料的同时避免对高空坠物对铸锭炉内涂层的损坏，且将液态的硅液除杂，增加铸锭质量保证。

主设计要求

1.一种多晶硅加工铸锭设备，包括传送带(1)和液压泵(17)，其特征在于：所述传送带(1)的外表面固定设置有入料槽(2)，且传送带(1)的内部设置有旋转电机(3)，所述传送带(1)的右下方安装有装置本体(4)，且装置本体(4)的右侧安装有压缩板(5)，所述压缩板(5)的上方固定安装有连接杆(6)，且连接杆(6)的外表面固定安装有外齿(7)，所述连接杆(6)的上端口套接有外杆(8)，所述外齿(7)的右侧啮合连接有辊齿(9)，且辊齿(9)的内部固定安装有旋转辊(10)，所述压缩板(5)的下方设置有铸锭炉(11)，且铸锭炉(11)的内表面设置有漏液孔(12)，所述漏液孔(12)的下方连接有滤网(13)，且滤网(13)的下方连接有长晶退火仓(14)，所述长晶退火仓(14)的左右两侧均设置有真空泵(15)，且长晶退火仓(14)的内侧设置有液压杆(16)，所述液压泵(17)安装于液压杆(16)的下方，且液压泵(17)的左右两侧均设置有单向控制阀(18)，所述单向控制阀(18)的下方连接有风机组(19)，且风机组(19)的下方连接有高热仓(20)，所述单向控制阀(18)的右下方连接有耐高温水管(22)，且耐高温水管(22)的下方连接有水箱(21)。

设计方案

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅加工铸锭设备，其特征在于：所述入料槽(2)通过装置本体(4)与旋转电机(3)之间构成转动结构，且入料槽(2)的外形结构为弧形结构，并且传送带(1)关于装置本体(4)的竖直中心线对称分布设置有2组。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅加工铸锭设备，其特征在于：所述压缩板(5)与铸锭炉(11)位于同一竖直方向上，且连接杆(6)与外杆(8)之间的连接方式为套接连接，并且外齿(7)与辊齿(9)之间的连接方式为啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅加工铸锭设备，其特征在于：所述漏液孔(12)贯穿于铸锭炉(11)的内表面，且漏液孔(12)通过滤网(13)于长晶退火仓(14)之间构成连通结构。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅加工铸锭设备，其特征在于：所述液压杆(16)通过铸锭炉(11)与液压泵(17)之间构成伸缩结构，且液压杆(16)与铸锭炉(11)的下表面之间的连接方式为固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅加工铸锭设备，其特征在于：所述风机组(19)贯穿于装置本体(4)的下表面，且风机组(19)通过高热仓(20)与单向控制阀(18)之间构成连通结构。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅加工铸锭设备，其特征在于：所述单向控制阀(18)通过水箱(21)与耐高温水管(22)之间构成联通结构，且水箱(21)与液压泵(17)位于同一水平方向上。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅检验技术领域，具体为一种多晶硅加工铸锭设备。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态，多晶硅的制作流程大致分为装炉，抽真空，熔化，长晶退火和冷却等，需要注意的是在冷却阶段需要缓慢增加铸锭炉内的压强，使压力逐渐上升，并且在铸锭完成后需要对多晶硅进行质量的检测。

传统的多晶硅铸锭使用隔热笼进行隔热，在冷却时候释放大量的热，极大的增加了温室效应，且该部分热量仍可继续利用，造成了能源的浪费，并且铸锭炉固定安装在装置内部，在倒入硅体的同时由于高度过高会将氮化硅图层损坏，并且无法排出熔化后的晶体内部的杂质，为此我们提出一种多晶硅加工铸锭设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅加工铸锭设备，以解决上述背景技术中提出的传统的多晶硅铸锭使用隔热笼进行隔热，在冷却时候释放大量的热，极大的增加了温室效应，且该部分热量仍可继续利用，造成了能源的浪费，并且铸锭炉固定安装在装置内部，在倒入硅体的同时由于高度过高会将氮化硅图层损坏，并且无法排出熔化后的晶体内部的杂质等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅加工铸锭设备，包括传送带和液压泵，所述传送带的外表面固定设置有入料槽，且传送带的内部设置有旋转电机，所述传送带的右下方安装有装置本体，且装置本体的右侧安装有压缩板，所述压缩板的上方固定安装有连接杆，且连接杆的外表面固定安装有外齿，所述连接杆的上端口套接有外杆，所述外齿的右侧啮合连接有辊齿，且辊齿的内部固定安装有旋转辊，所述压缩板的下方设置有铸锭炉，且铸锭炉的内表面设置有漏液孔，所述漏液孔的下方连接有滤网，且滤网的下方连接有长晶退火仓，所述长晶退火仓的左右两侧均设置有真空泵，且长晶退火仓的内侧设置有液压杆，所述液压泵安装于液压杆的下方，且液压泵的左右两侧均设置有单向控制阀，所述单向控制阀的下方连接有风机组，且风机组的下方连接有高热仓，所述单向控制阀的右下方连接有耐高温水管，且耐高温水管的下方连接有水箱。

优选的，所述入料槽通过装置本体与旋转电机之间构成转动结构，且入料槽的外形结构为弧形结构，并且传送带关于装置本体的竖直中心线对称分布设置有2组。

优选的，所述压缩板与铸锭炉位于同一竖直方向上，且连接杆与外杆之间的连接方式为套接连接，并且外齿与辊齿之间的连接方式为啮合连接。

优选的，所述漏液孔贯穿于铸锭炉的内表面，且漏液孔通过滤网于长晶退火仓之间构成连通结构。

优选的，所述液压杆通过铸锭炉与液压泵之间构成伸缩结构，且液压杆与铸锭炉的下表面之间的连接方式为固定连接。

优选的，所述风机组贯穿于装置本体的下表面，且风机组通过高热仓与单向控制阀之间构成连通结构。

优选的，所述单向控制阀通过水箱与耐高温水管之间构成联通结构，且水箱与液压泵位于同一水平方向上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.设置的入料槽呈倒勾状，便于晶体的储存，通过旋转电机的带动下将晶体平稳的导入铸锭炉底部，避免高空坠落对铸锭炉内涂层造成损坏，降低经济损失，延长该铸锭炉的使用寿命和铸锭效率，设置的压缩板的目的是可以将装置本体的入料口进行密封，减少热量的损坏，且通过连接杆的上下移动增加铸锭炉内部的压强，便于进行排杂。

2.设置的漏液孔的目的是可以流通液态的晶体，便于滤网对杂物的过滤，使得长晶退火仓内部的多晶硅更加纯净，提高该设备的生产质量，设置的液压杆通过液压泵的带动下可以将铸锭炉进行上下的移动，便于配合入料，且方便后期对铸锭炉的散热和清洁，便于使用。

3.设置的风机组的目的是可以加快内部热量流入高热仓内，实现热量的收集，进而可以进行热量的二次使用，极大的减少了能源的浪费，减少经济支出，设置的水箱可以将最终无用的热量进行冷却后排出，减少温室效应的产生。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型外杆处侧视结构示意图；

图3为本实用新型铸锭炉处俯视结构示意图。

图中：1、传送带；2、入料槽；3、旋转电机；4、装置本体；5、压缩板；6、连接杆；7、外齿；8、外杆；9、辊齿；10、旋转辊；11、铸锭炉；12、漏液孔；13、滤网；14、长晶退火仓；15、真空泵；16、液压杆；17、液压泵；18、单向控制阀；19、风机组；20、高热仓；21、水箱；22、耐高温水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅加工铸锭设备，包括传送带1和液压泵17，传送带1的外表面固定设置有入料槽2，且传送带1的内部设置有旋转电机3，传送带1的右下方安装有装置本体4，且装置本体4的右侧安装有压缩板5，压缩板5的上方固定安装有连接杆6，且连接杆6的外表面固定安装有外齿7，连接杆6的上端口套接有外杆8，外齿7的右侧啮合连接有辊齿9，且辊齿9的内部固定安装有旋转辊10，压缩板5的下方设置有铸锭炉11，且铸锭炉11的内表面设置有漏液孔12，漏液孔12的下方连接有滤网13，且滤网13的下方连接有长晶退火仓14，长晶退火仓14的左右两侧均设置有真空泵15，且长晶退火仓14的内侧设置有液压杆16，液压泵17安装于液压杆16的下方，且液压泵17的左右两侧均设置有单向控制阀18，单向控制阀18的下方连接有风机组19，且风机组19的下方连接有高热仓20，单向控制阀18的右下方连接有耐高温水管22，且耐高温水管22的下方连接有水箱21，入料槽2通过装置本体4与旋转电机3之间构成转动结构，且入料槽2的外形结构为弧形结构，并且传送带1关于装置本体4的竖直中心线对称分布设置有2组，其作用是设置的入料槽2呈倒勾状，便于晶体的储存，通过旋转电机3的带动下将晶体平稳的导入铸锭炉11底部，避免高空坠落对铸锭炉11内涂层造成损坏，降低经济损失，延长该铸锭炉11的使用寿命和铸锭效率，压缩板5与铸锭炉11位于同一竖直方向上，且连接杆6与外杆8之间的连接方式为套接连接，并且外齿7与辊齿9之间的连接方式为啮合连接，其作用是设置的压缩板5的目的是可以将装置本体4的入料口进行密封，减少热量的损坏，且通过连接杆6的上下移动增加铸锭炉11内部的压强，便于进行排杂，漏液孔12贯穿于铸锭炉11的内表面，且漏液孔12通过滤网13于长晶退火仓14之间构成连通结构，其作用是设置的漏液孔12的目的是可以流通液态的晶体，便于滤网13对杂物的过滤，使得长晶退火仓14内部的多晶硅更加纯净，提高该设备的生产质量，液压杆16通过铸锭炉11与液压泵17之间构成伸缩结构，且液压杆16与铸锭炉11的下表面之间的连接方式为固定连接，其作用是设置的液压杆16通过液压泵17的带动下可以将铸锭炉11进行上下的移动，便于配合入料，且方便后期对铸锭炉11的散热和清洁，便于使用，风机组19贯穿于装置本体4的下表面，且风机组19通过高热仓20与单向控制阀18之间构成连通结构，其作用是设置的风机组19的目的是可以加快内部热量流入高热仓20内，实现热量的收集，进而可以进行热量的二次使用，极大的减少了能源的浪费，减少经济支出，单向控制阀18通过水箱21与耐高温水管22之间构成联通结构，且水箱21与液压泵17位于同一水平方向上，其作用是设置的水箱21可以将最终无用的热量进行冷却后排出，减少温室效应的产生。

工作原理：该装置主要由传送带1和液压泵17组成，使用该装置时，首先将该装置接通电源，然后启动液压泵17，使得液压杆16拖动顶部固定连接的铸锭炉11上升，直到上升至装置本体4的入料口处，此时两组传送带1的端口进入到铸锭炉11的内部，然后将所需铸锭的晶体放入传送带1上，在启动传送带1处的旋转电机3，使得晶体向铸锭炉11方向移动，在竖直方向上，为了防止晶体直接落入铸锭炉11内对涂层造成损坏，入料槽2采用倒勾状，使得晶体可以移动到铸锭炉11底部，当铸锭炉11内部晶体足够时，即可回收液压杆16，将外侧的压缩板5通过底部的滑动轮推入装置本体4内部，使得压缩板5闭合装置本体4的入料口，实现密封，然后启动真空泵15将内部空气抽出后，开始加热内部的铸锭炉11，直至将晶体熔化为硅液，然后开始长晶退火等操作，但是在硅液内很可能含有其他为溶解的杂质，为此启动辊齿9处的旋转电机3，使得辊齿9带动啮合连接的外齿7和连接杆6向下移动，进而实现压缩板5向下移动压缩铸锭炉11内部的空气，再次增加铸锭炉11内部的压强，使得硅液通过漏液孔12并穿过滤网13到达长晶退火仓14在进行长晶退火处理，杂质则存留在铸锭炉11内部，后期启动液压泵17将铸锭炉11升高进行清洁散热即可，为了减少能源的浪费，可以开启左侧的单向控制阀18和风机组19，并通过真空泵15释放外界空气，使得内部的热量流入到高热仓20内，实现后期的再次利用，如果无需使用的热量即可开启右侧的单向控制阀18，使得热量经过耐高温水管22流入水箱21内，快速冷却，减少温室效应的产生，这就是该设备的使用流程和工作原理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

设计图

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主设计要求

设计方案

设计说明书

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