论文摘要
探索了一种准确测量过冷度的实验方法,并在此基础上,利用光学显微镜、傅里叶红外透射光谱仪、台阶仪、白光干涉仪等测试手段分析了过冷度对Hg Cd Te薄膜厚度均匀性的影响.研究结果表明,过冷度小于2℃,薄膜容易出现中心凹陷、四周凸起的现象;过冷度大于3℃,薄膜中心将会明显凸起,出现宽度为毫米级的周期性起伏,并伴随有crosshatch线产生.当过冷度为2. 5℃时,薄膜厚度极差可缩小至0. 5μm,0. 5 mm×0. 5 mm范围内薄膜相对于衬底的粗糙度增加量为9. 07 nm.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 陆骏,李东升,吴军,万志远,宋林伟,李沛,张阳,孔金丞
关键词: 碲镉汞,过冷度,厚度均匀性,液相外延
来源: 红外与毫米波学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 材料科学,无线电电子学
单位: 昆明物理研究所
基金: 973项目(613230)~~
分类号: TN21;TB34
页码: 165-170
总页数: 6
文件大小: 2085K
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