导读:本文包含了叉指式微加速度计论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:加速度计,效应,有限元,微机,刚度,系统,灵敏度。
叉指式微加速度计论文文献综述
蓝洪芳[1]（2016）在《基于电容边缘效应的叉指式微加速度计性能分析》一文中研究指出MEMS微加速度计广泛应用于汽车安全气囊、智能手机等日常生活的消费产品中。其中叉指式微加速度计凭借成本低、检测精度高、温度敏感性小、噪声特性好等优点已成为MEMS微加速度计中备受关注的研究对象。在叉指式微加速度计的设计过程中,电容值的计算大多采用理想电容计算公式,而忽略了由于电容极板的边缘效应的存在而产生的附加电容,这会导致电容值在理论计算与实际使用过程之间存在差异。这种由电容边缘效应产生的实际电容值与理论结果间的误差将影响叉指式微加速度计的输出精度。所以,研究电容极板的边缘效应对微加速度计电容值的影响对于提高其精度具有重要帮助。目前,国内外对于电容边缘效应的研究主要集中在对电容值计算公式的理论推导上,而电容的边缘效应对叉指式微加速度计输出性能的影响很少被人提及。因此,本文推导了考虑电容边缘效应的电容值计算公式,由此分析了电容边缘效应对叉指式微加速度计的非线性度、静电刚度和灵敏度性能方面的影响,并利用仿真进行验证。首先对现有考虑电容边缘效应的电容值计算公式进行对比与总结,并在此基础上推导出考虑电容边缘效应情况下微加速度计中叉指电容的电容值计算公式;然后分析电容边缘效应对叉指电容的电容值的影响,并分析能够减小该影响的叉指电容的结构参数;最后基于本文中推导所得叉指电容的电容值计算公式,推导出叉指式微加速度计相应的静电刚度、灵敏度和非线性度关于电容的表达式,并分析电容的边缘效应对这些参数产生的影响。经过有限元仿真的验证,结果表明本文推导的叉指电容的电容值公式可以很准确的计算出叉指电容在考虑边缘效应情况下的电容值;理论分析表明,在叉指电容的结构参数中,极板宽度的增加、极板间距的减小、极板厚度的减小以及极板对数的增加都会减小电容边缘效应对叉指电容的电容值的影响;在叉指式微加速度计的理论推导中,电容的边缘效应会使得敏感质量块所受的静电力增大,静电刚度变大,降低微加速度计输出的灵敏度,增大微加速度计输出的非线性度。(本文来源于《电子科技大学》期刊2016-03-28）
郑英彬,许献国,高杨[2]（2008）在《叉指式微加速度计敏感芯片的辐射效应分析》一文中研究指出电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷,该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力,研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷面密度时的附加静电力以及绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响。(本文来源于《第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（下册）》期刊2008-07-01）
郑英彬,许献国,高杨[3]（2008）在《叉指式微加速度计敏感芯片的辐射效应分析》一文中研究指出电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷,该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力,研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷面密度时的附加静电力以及绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响。(本文来源于《第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（2）》期刊2008-07-01）
徐洪强,陈花玲[4]（2004）在《叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析》一文中研究指出为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场,提出了一种近似分析方法。作为实例,分析了一种新型微加速度计的机 电耦合场对灵敏度的影响,所得结果与理论值比较一致,且计算精度接近于有限元分析方法,进一步计算表明:将该近似方法与有限元方法结合,不仅可以提高求解速度,还可以达到较高的精度。(本文来源于《传感器技术》期刊2004年07期）
刘宗林,吴学忠,李圣怡[5]（2003）在《叉指式微硅加速度计的参数化设计》一文中研究指出详细阐述了微硅加速度计的原理 ,根据材料力学以及结构动力学原理 ,分析了叉指式驱动 /检测结构的动力学模型 ,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型 ,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系 ,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导 ,实现了最优化设计和仿真(本文来源于《微纳电子技术》期刊2003年Z1期）
寇剑菊[6]（2003）在《叉指式微加速度计的系统仿真分析》一文中研究指出叉指式微加速度计是一种典型的微机电系统产品，由于它的高灵敏度、好的直流响应、低噪声、低漂移、对温度的敏感性低、低能耗、结构简单的优点，使其有着广泛的应用前景，也是目前国内外攻关的热点之一。 微加速度计涉及到多学科领域的相互作用，如何用模型来较为准确地反映各个领域间的相互作用关系以及如何实现机电混合系统的接口，是设计的关键，一直是比较难于解决的问题。论文采用了一种新的建模仿真法，即原理级描述仿真法，建立了叉指式微加速度计的参数化机电混合系统模型，对其进行分析研究。 本文研究了弹性梁参数对加速度计结构谐振频率、灵敏度、交叉耦合误差的影响趋势，在此基础上给出了一组优化了的弹性梁参数；分别研究了开环和闭环系统检测方式下静电力作用对加速度计性能的影响、吸附现象及弹簧的静电软化现象，在此基础上给出了偏置电压、检测激励信号的取值规则；研究了叉指式微加速度计的动态响应特性，在此基础上优化了电路结构及参数。论文的主要研究结论与实验结果一致。(本文来源于《中国工程物理研究院北京研究生部》期刊2003-03-03）
郑英彬,苏伟,何晓平[7]（2002）在《叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析》一文中研究指出为了对微加速度计进行静电 -机械耦合场分析 ,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析。作为实例 ,选择一种尺寸的叉指式微加速度计 ,分析了它的灵敏度 ,其结果同理论值基本一致。(本文来源于《传感器技术》期刊2002年05期）
郑英彬[8]（2002）在《叉指式微加速度计的耦合场分析》一文中研究指出静电伺服微加速度计的工作原理实际上是基于静电反馈力矩和弹性梁的弹性力矩与惯性力矩的平衡，精确的设计有必要建立静电与机械的耦合分析方法，对实体模型进行耦合场分析。 论文研究了一种叉指式结构微加速度计，使用通用有限元软件ANSYS，建立了一种静电与机械的耦合分析方法，并利用APDL语言编写了分析程序。这个程序可以计算静电力使结构发生的变形，可以计算加速度作用时微加速度计的输出电压。 本文利用上述程序进行研究计算，并且结合理论分析，得出了以下结论： (1)叉指的结构参数η(η／=d_b/d_a)应该大于或者等于3。 (2)加速度所引起的叉指变形可以忽略；静电力会使叉指发生较大的变形，但不会使叉指发生接触(吸附)。为了减小叉指的变形，需要增加它的宽度。 (3)分析了弹性梁参数对模态频率的影响，其中w_(bl)对第一模态频率的影响最大，l_(b2)对第一模态频率影响很小。 (4)计算了微加速度计的前六阶模态频率和振型，在敏感方向，主要是第一阶模态起作用。 (5)选择了两种结构尺寸的微加速度计，计算了它们的量程、灵敏度以及最小可测加速度。 有限元计算结果和理论分析结果非常接近。这说明，文中所采用的计算方法是正确的，该方法也可以作为其它微电子机械系统的分析参考。(本文来源于《中国工程物理研究院北京研究生部》期刊2002-02-28）
叉指式微加速度计论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷,该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力,研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷面密度时的附加静电力以及绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
叉指式微加速度计论文参考文献
[1].蓝洪芳.基于电容边缘效应的叉指式微加速度计性能分析[D].电子科技大学.2016
[2].郑英彬,许献国,高杨.叉指式微加速度计敏感芯片的辐射效应分析[C].第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（下册）.2008
[3].郑英彬,许献国,高杨.叉指式微加速度计敏感芯片的辐射效应分析[C].第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（2）.2008
[4].徐洪强,陈花玲.叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析[J].传感器技术.2004
[5].刘宗林,吴学忠,李圣怡.叉指式微硅加速度计的参数化设计[J].微纳电子技术.2003
[6].寇剑菊.叉指式微加速度计的系统仿真分析[D].中国工程物理研究院北京研究生部.2003
[7].郑英彬,苏伟,何晓平.叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析[J].传感器技术.2002
[8].郑英彬.叉指式微加速度计的耦合场分析[D].中国工程物理研究院北京研究生部.2002
论文知识图
