导读:本文包含了移相干涉论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:干涉仪,测量,移相器,导波,外差,测向,光刻。
移相干涉论文文献综述
王灵威,刘长军[1]（2019）在《单通道干涉仪测向系统中的高精度数字移相技术研究》一文中研究指出为解决单通道干涉仪测向系统中传统数字移相器对参考天线输出信号移相时移相精度不高的问题,基于直接数字频率合成技术(DDS)和混频技术,提出了一种新的数字移相技术。该技术采用两级混频结构,分别进行下变频和上变频。两级混频器的本振信号均由DDS信号发生器产生,通过调节本振信号的相位差,实现对一定频率范围内的输入信号进行0°～360°相位偏移。采用FPGA评估板、DAC FMC子卡、混频器、滤波器等模块制作了输入频率范围为432～434 MHz的移相器样机,对该方法进行了验证,实现了输入信号的0°～360°移相,移相步进小于0.09°,实测误差的均方根(RMS)小于0.8°。(本文来源于《应用科技》期刊2019年06期）
张成悌,付天坤,龚柯安[2]（2019）在《再论立式移相平面干涉仪》一文中研究指出文章首先指出移相平面干涉仪普遍存在的问题,即该仪器测量平面度时存在量值不统一的问题,其测量不确定度与其测量重复度极不相匹配,主要是该仪器给不出其标准平晶在相应各点的多截面平面度偏差,无法进行修正,而是用控制标准平晶的平面度的峰谷值小于1/10或1/20个干涉条纹来保证其质量;文章还指出一种新开发的立式移相平面干涉仪与一般的移相平面干涉仪同样存在标准平晶的平面度偏差不能进行修正的问题;文章最后提出该仪器提高测量不确定度的改进方法。(本文来源于《计量技术》期刊2019年08期）
刘致远,陈磊,朱文华,丁煜,马云[3]（2019）在《变倾角移相斜入射动态干涉仪》一文中研究指出为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量。在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm。实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。(本文来源于《光电工程》期刊2019年08期）
王磊杰,张鸣,朱煜,鲁森,杨开明[4]（2019）在《扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统》一文中研究指出扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式光栅位移测量干涉仪的基础上,阐述了扫描干涉光刻机的新型移相锁定系统原理。针对新型的移相锁定系统原理,构建了移相锁定控制系统实验装置。最后,基于移相锁定控制实验装置,针对移相锁定定位性能,开展了移相锁定定位控制实验以及影响控制精度的因素分析,实现了±3.27nm (3σ,Λ=251nm)的定位控制精度;针对移相跟踪控制性能,在移相跟踪控制精度实验分析的基础上,利用陷阱滤波&PID控制实现了±4.17nm(3σ,Λ=251nm)的跟踪控制精度。(本文来源于《光学精密工程》期刊2019年08期）
郝寅雷,丁君珂,陈浩,蒋建光,孟浩然[5]（2019）在《集成光学移相干涉仪的研制与性能表征》一文中研究指出干涉仪是综孔径望远镜的核心器件,与传统的分立元件干涉仪相比,集成光学移相干涉仪结构紧凑,用于构建综合孔径望远镜能显着优化望远镜结构并提高系统稳定性。文中报道了二氧化硅基集成光学移相干涉仪的设计和制作,并给出了对这种器件主要性能的表征结果。研究结果表明,集成光波导制作技术可以保证干涉仪芯片上两个方向耦合器的耦合特性的一致性;器件的插入损耗优于1.8 dB,插入损耗均匀性优于0.1 dB;通过对MZ干涉仪插入损耗的测量估计了移相器的偏差,结果显示干涉仪中90°移相器的偏差大约为1.5°。分析表明,二氧化硅基光波导技术用于综合孔径望远镜用光干涉仪制作具有显着的优势。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2019年04期）
刘乾,何建国,岳晓斌[6]（2019）在《任意正弦调制的正弦移相干涉波面测量方法》一文中研究指出针对正弦移相干涉(SinPSI)中位相调制无法精确控制的问题,提出了一种从时域频谱提取波面信息的任意正弦调制SinPSI方法(ASM-SinPSI)。首先,根据SinPSI信号频谱的第一、叁个谱峰强度关系确定调制幅度,并采用空间随机点的方法避免了分母零值的问题,然后从SinPSI信号的前叁个谱峰中获得波面位相的正切数值与符号信息,最后以反正切计算波面位相。数值仿真表明:在未知调制信息情况下,ASM-SinPSI的波面位相提取误差为0.016 rad。在调制幅度为1.6、2、2.5、3 rad时的测量实验中,ASM-SinPSI均可精确提取波面位相,与真实波面偏差的最大值为0.058 7 rad。在1.5～3.5 rad区间内的任意调制幅度下,ASM-SinPSI无需精确预知调制信息即可高精度提取波面位相,放宽了对移相器的严苛要求。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2019年03期）
鹿丽华,胡摇,王劭溥,郝群,李林[7]（2018）在《数字莫尔移相干涉仪误差多点标定与修正研究》一文中研究指出干涉测量在现有的光学元件面形检测方法中具有测量精度高的优势,应用相对广泛。但干涉仪元件的加工和装调误差会降低面形检测精度。提出一种利用夏克哈特曼波前传感器对实际干涉仪系统进行多点标定的方法,利用波前标定数据在光学设计软件ZEMAX中实现对虚拟干涉仪系统的修正,结合数字莫尔移相算法,消除实际干涉仪加工和装调误差的影响。选取平面镜和可变形镜作为待测镜分别进行面形测量实验,结果表明,标定和修正后的数字莫尔移相干涉仪系统检测精度提高,与Zygo干涉仪的检测结果相比,面形趋势保持一致且峰谷值(PV)值误差相差在0.07λ(λ=532 nm)以内。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2018年10期）
陈铭,高志山,袁群,朱丹,陈露[8]（2018）在《同步移相动态显微干涉在流速检测中的应用》一文中研究指出人眼眼底血管血流速度监测对人体重大疾病的预警和诊断具有重要的科学意义。目前眼底血流速度的主流检测方法多基于多普勒效应,对眼底微血管慢速血流信号的探测灵敏度较低。理论上,血细胞运动造成局部光程的改变会带来光场相位的变化,采用相位信息来映射血流信息,具有原理简单、检测灵敏度高的优点。同步移相动态干涉成像,具有极高的位相探测灵敏度,受外界干扰小,可以探测到运动红细胞与细胞周围静态组织之间产生的相位差,基于运动红细胞与血流速度之间成线性关系,运用映射血流速度的动静相位差分算法可以检测出眼底微血管慢速血流速度。本文搭建Linnik型同步移相动态显微干涉光路,对微血管仿真样品进行测试,探测模拟红细胞在微血管仿真样品中引起的相位变化,计算出模拟血流速度。在不同理论速度下进行模拟血流速度标定,实现慢流速的精确测量。验证了同步移相动态显微干涉成像对眼底微血管血流速度检测的可行性,为后续研究提供理论、实验指导。(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
刘致远,陈磊,郑东晖,王冲,吴志飞[9]（2018）在《基于变倾角移相的棱镜掠入射干涉仪》一文中研究指出为实现平整度误差达数十微米量级的表面面形检测,提出一种基于变倾角移相的棱镜掠入射干涉仪方案。精心设计了等腰棱镜,使其能传递近掠入射的准直光束到待测面。基于棱镜掠入射干涉仪的主光路系统,利用光纤生成点光源,通过精确控制点光源的垂轴偏移量,改变出射准直波前在干涉腔的入射倾角,在干涉图中引入移相,通过CCD上采集多幅移相干涉图,根据移相干涉术,恢复被测波面。用该干涉仪测量了ipad背面苹果logo面形,采集单幅移相干涉图如图1(a)所(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
孔璐,陈磊,王云涛,杨光[10]（2018）在《变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪》一文中研究指出为实现光学元件透射波前的测量,研究了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪。点光源经物镜准直后,通过一倾角可调的反射镜,入射到马赫-曾德尔干涉光路。该反射镜作为移相器,调节其倾角,可以改变入射到干涉光路中的准直光的倾角。在参考光路中,以直角棱镜作为反射镜折转光路,同时会在参考光与测试光之间引入光程差,进而实现移相。通过调整移相器的倾角,改变入射到干涉模块中的光束倾角,从而改变参考光与测试光之间的光程差,可以在采集到的系列干涉图中引入不同移相量,采用随机移相算法可以恢复待测相位。(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
移相干涉论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
文章首先指出移相平面干涉仪普遍存在的问题,即该仪器测量平面度时存在量值不统一的问题,其测量不确定度与其测量重复度极不相匹配,主要是该仪器给不出其标准平晶在相应各点的多截面平面度偏差,无法进行修正,而是用控制标准平晶的平面度的峰谷值小于1/10或1/20个干涉条纹来保证其质量;文章还指出一种新开发的立式移相平面干涉仪与一般的移相平面干涉仪同样存在标准平晶的平面度偏差不能进行修正的问题;文章最后提出该仪器提高测量不确定度的改进方法。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
移相干涉论文参考文献
[1].王灵威,刘长军.单通道干涉仪测向系统中的高精度数字移相技术研究[J].应用科技.2019
[2].张成悌,付天坤,龚柯安.再论立式移相平面干涉仪[J].计量技术.2019
[3].刘致远,陈磊,朱文华,丁煜,马云.变倾角移相斜入射动态干涉仪[J].光电工程.2019
[4].王磊杰,张鸣,朱煜,鲁森,杨开明.扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统[J].光学精密工程.2019
[5].郝寅雷,丁君珂,陈浩,蒋建光,孟浩然.集成光学移相干涉仪的研制与性能表征[J].红外与激光工程.2019
[6].刘乾,何建国,岳晓斌.任意正弦调制的正弦移相干涉波面测量方法[J].红外与激光工程.2019
[7].鹿丽华,胡摇,王劭溥,郝群,李林.数字莫尔移相干涉仪误差多点标定与修正研究[J].仪器仪表学报.2018
[8].陈铭,高志山,袁群,朱丹,陈露.同步移相动态显微干涉在流速检测中的应用[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[9].刘致远,陈磊,郑东晖,王冲,吴志飞.基于变倾角移相的棱镜掠入射干涉仪[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[10].孔璐,陈磊,王云涛,杨光.变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
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