静电致动微梁论文_牛凯,叶雄英,周兆英,冯焱颖

导读:本文包含了静电致动微梁论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:等离子体,电感,建模,图像处理,静电,工艺,模态。

静电致动微梁论文文献综述

牛凯,叶雄英,周兆英,冯焱颖^[1]（2005）在《M EM S微梁静电致动器的力学特性研究》一文中研究指出采用降阶建模法对多晶硅/氮化硅复合悬臂梁静电致动器的多物理场耦合问题进行了仿真计算。悬臂梁在氮化硅残余应力的作用下弯曲翘起。在微梁和基底间施加电压后,微梁受到向下电场力的作用,当电压超过阈值后微梁就会被吸到基底上。通过提取系统的各阶模态及其对系统的贡献,对各阶模态进行组合来取代该结构的耦合域,从而达到对耦合问题降阶的目的。采用该方法算得微梁的翘起高度、1阶固有频率和吸下的阈值电压与实验测得的结果吻合较好。(本文来源于《压电与声光》期刊2005年05期）

李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳^[2]（2003）在《基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析》一文中研究指出介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺。对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法。加工过程中采用分步加工的办法控制蚀刻时间,成功的释放了宽6μm,厚60μm,等效长度达5470μm的悬臂梁型微夹持臂。研制出一种良好性能的具有S形柔性结构夹持臂的梳状静电致动微夹持器。(本文来源于《光学精密工程》期刊2003年02期）

李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳^[3]（2003）在《体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究》一文中研究指出对一种梳状静电致动微夹持器的特性进行了测试。采用显微镜 -CCD -微机测试方案 ,微夹持器的状态信息通过数据采集及图像处理获取 ,得到“电压 -位移”特性曲线并建立了数学方程。对特性方程的分析表明理论设计与试验结果的一致性与合理性。并分析了从设计、加工到测试过程中引起理论设计与实际器件性能差异的主要因素 ,表明现有的微机械设计理论与加工水平存在一定的不足。由试验结果中获取了相关微机械器件的设计经验。(本文来源于《光学精密工程》期刊2003年01期）

静电致动微梁论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺。对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法。加工过程中采用分步加工的办法控制蚀刻时间,成功的释放了宽6μm,厚60μm,等效长度达5470μm的悬臂梁型微夹持臂。研制出一种良好性能的具有S形柔性结构夹持臂的梳状静电致动微夹持器。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。