气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量

论文摘要

建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法。采用双通道气相色谱仪,DB-1毛细管色谱柱进行分离,用单丝热导检测器进行检测。

论文目录

• 1 尾气组分存在问题及解决措施
• 2 试验部分
•   2.1 仪器
•   2.2 试剂耗材
•   2.3 试验方法
•     2.3.1 Ⅰ通道色谱操作条件
•     2.3.2 Ⅱ通道色谱操作条件
•     2.3.3 氢气、氯化氢标准曲线的绘制
•     2.3.4 组分含量的测定
• 3 结果与讨论
•   3.1 氢气、氯化氢的标准曲线
•   3.2 水浴加热温度及时间的确定
•     3.2.1 加热温度对各组分结果的影响
•     3.2.2 加热时间对各组分结果的影响
•   3.3 准确度的测定
•   3.4 精密度的测定
• 4 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 杨红燕,毛智慧,陶明,任国杨

关键词: 气相色谱,毛细管柱,氢化尾气,多晶硅

来源: 中国氯碱 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 化学,环境科学与资源利用

单位: 云南省光电子硅材料制备技术重点实验室

分类号: X831;O657.71

页码: 27-30

总页数: 4

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