高质量纳米ZnO薄膜的制备技术及应用现状

论文摘要

纳米ZnO具有许多优异的光学性质和物理化学特性而受到广大科研者的广泛关注,而高质量纳米ZnO薄膜具有非常广泛的用途和应用前景。根据最新国内外研究现状,本文重点研究高质量纳米ZnO薄膜的制备方法:溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、分子束外延法、激光脉冲沉积法和溅射法;并比较几种制备方法的优缺点,分析高质量纳米ZnO薄膜在太阳能电池、气敏元件、压电元件和压敏元件等方面的应用。

论文目录

• 1 前言
• 2 ZnO薄膜的制备方法
•   2.1 溶胶-凝胶法（Sol-Gel）
•   2.2 化学气相沉积（CVD）
•   2.3 分子束外延（MBE）
•   2.4 激光脉冲沉积法（PLD）
•   2.5 溅射法
• 3 ZnO薄膜的应用
•   3.1 太阳能电池
•   3.2 气敏元件
•   3.3 压电器件
•   3.4 压敏器件
• 4 前景展望

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 倪佳苗,沈红成

关键词: 纳米薄膜,制备方法,应用,发展

来源: 湖北第二师范学院学报 2019年08期

年度: 2019

分类: 社会科学Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 湖北第二师范学院建筑与材料工程学院,湖北第二师范学院材料科学研究院

基金: 湖北省自然科学面上基金(2014CFB563)

分类号: TB383.2;TQ132.41

页码: 32-36

总页数: 5

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