论文摘要
在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有效光刻距离区间以及最佳光刻距离,总结出成熟的非透明基底上光刻微结构的方法,分别在2种不透明基底上光刻二维和三维立体图案,清晰的图案说明在非透明基底上光刻方法有效可行.研究结果可为诸多双光子聚合设备在非透明基底上光刻提供参考,并有助于双光子聚合在光学微器件、微机电系统、生物组织工程等领域发挥更大的作用.
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 胡绪瑞,陈达,王刚,陶卫东
关键词: 飞秒激光,双光子聚合,非透明基底,光刻,微结构
来源: 宁波大学学报(理工版) 2019年05期
年度: 2019
分类: 基础科学,信息科技
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 宁波大学物理科学与技术学院
基金: 国家自然科学基金(11704204,61604084),浙江省新苗人才计划(2018R405065)
分类号: TN249
页码: 85-90
总页数: 6
文件大小: 3016K
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