针尖-样品距离对近场扫描微波显微镜空间分辨率的影响

论文摘要

根据近场微波测试原理搭建了一套近场扫描微波显微镜系统,在不同针尖-样品距离情况下,测试了宽度分别为260μm和470μm的NiFe薄膜在宽度方向的轮廓,研究结果表明,随着针尖-样品距离的增加,测试的空间分辨率降低.通过对扫描得到的轮廓曲线进行分析,发现测试得到的薄膜线宽随针尖-样品距离的增大而线性增加.结合近场微波领域的基本理论,提出了一种获得薄膜真实线宽的测试方法,为近场扫描微波显微镜的进一步研究奠定了基础.

论文目录

• 0 引言
• 1 系统构成及实验方法
• 2 实验结果与讨论
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 鞠量,彭斌,黄和,曾慧中,张万里

关键词: 近场扫描微波显微镜,针尖样品距离,空间分辨率,线宽

来源: 测试技术学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技

专业: 仪器仪表工业

单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

基金: 国家重点研发计划资助(2017YFB0406400)

分类号: TH742

页码: 365-368

总页数: 4

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