全文摘要
本实用新型涉及镀膜机领域,具体涉及一种真空镀膜机，具有外仓以及舱门，外仓内设有镀膜室、控制室，所述镀膜室内设有上下两托盘，所述托盘上还设有架杆孔，所述托盘之间设有带动其转动的转轴，所述的镀膜室内部还设有靶材板和抽气口以及出料口；所述靶材板上缠绕有线圈；该镀膜机整机安装，各个部件均在同一仓体内，镀膜室除了与舱门之间与外界有联通外，其余各个部件均不与外界有相通，密封性能好；同时，本镀膜机能适应各种型号的工件进行镀膜，采用磁控溅射技术，镀膜效果好、效率高。
主设计要求
1.一种真空镀膜机，具有外仓以及舱门(12)，其特征在于，外仓内设有镀膜室(1)、控制室(8)，所述镀膜室(1)内设有上下两托盘(2)，所述托盘(2)上还设有架杆孔(21)，所述托盘(2)之间设有带动其转动的转轴(4)，所述的镀膜室(1)内部还设有靶材板(14)和抽气口(6)以及出料口(7)；所述靶材板(14)上缠绕有线圈(5)，所述线圈(5)与控制室(8)内的电控柜(11)电连接，所述抽气口(6)通过管道与分子泵(9)相通；所述舱门(12)上设有控制板(123)，所述控制板(123)与电控柜(11)电连接。
设计方案
1.一种真空镀膜机，具有外仓以及舱门(12)，其特征在于，外仓内设有镀膜室(1)、控制室(8)，所述镀膜室(1)内设有上下两托盘(2)，所述托盘(2)上还设有架杆孔(21)，所述托盘(2)之间设有带动其转动的转轴(4)，所述的镀膜室(1)内部还设有靶材板(14)和抽气口(6)以及出料口(7)；所述靶材板(14)上缠绕有线圈(5)，所述线圈(5)与控制室(8)内的电控柜(11)电连接，所述抽气口(6)通过管道与分子泵(9)相通；所述舱门(12)上设有控制板(123)，所述控制板(123)与电控柜(11)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜机还具有设置在上下架杆孔(21)之间的可拆卸的上料架(13)，所述上料架(13)上设有安装等待镀膜的工件的枝杈(131)。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述转轴(4)由镀膜室(1)底部的电机(3)驱动。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述舱门(12)上还设有观察窗(122)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述舱门(12)在与镀膜室(1)接触的面上设有密封胶条(121)。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及镀膜机领域,具体涉及一种真空镀膜机。
背景技术
为工件镀膜不仅可以给工件表面镀上鲜亮的颜色，同时也能极大的保护工件，延长其工作寿命，传统镀膜机为了能一次镀膜更多的工件，往往体积非常庞大，在体积庞大的同时，传统镀膜机的的各个部件很散乱，导致其密封性能不佳。
实用新型内容
为了解决上述存在的技术问题，本实用新型提供一种一体化且密封性能良好的真空镀膜机。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：一种真空镀膜机，具有外仓以及舱门，外仓内设有镀膜室、控制室，所述镀膜室内设有上下两托盘，所述托盘上还设有架杆孔，所述托盘之间设有带动其转动的转轴，所述的镀膜室内部还设有靶材板和抽气口以及出料口；所述靶材板上缠绕有线圈；所述线圈与控制室内的电控柜电连接，所述抽气口通过管道与分子泵相通，所述舱门上设有控制板，所述控制板与电控柜电连接。
在上述的真空镀膜机中，镀膜室、控制室都在同一外仓内，保证其各个部件不会散乱分开，并保证其密封性良好。可转动的托盘可以使托盘上的待镀膜的工件均匀旋转，使其镀膜均匀。抽气口与分子泵相连接，可以将镀膜室内空气抽出，线圈内通电可产生磁场，另一方面也可以起到为镀膜室加温的作用。待镀膜室内部冷却后，取出工件，完成镀膜工序。
作为本实用新型进一步的改进，所述真空镀膜机还具有设置在上下架杆孔之间的可拆卸的上料架，所述上料架上设有安装等待镀膜的工件的枝杈。
在上述的上料架中，待镀膜的工件可以架设在各个枝杈上，上料架架设在托盘的架杆孔中，可随托盘一起转动，从而方便待镀膜工件能均匀的被喷涂到每一个角落。
作为本实用新型进一步的改进，所述转轴由镀膜室底部的电机驱动。电机能输出稳定均匀的转动，亦可根据不同型号的需求，输出不同的转速。
作为本实用新型进一步的改进，所述舱门上还设有观察窗。观察窗方便技术人员能快速有效的了解镀膜室内的情况，能根据不同的情况做出及时的判断和处理。
作为本实用新型进一步的改进，所述舱门在与镀膜室接触的面上设有密封胶条。密封胶条一方面起到密封舱门与镀膜室的作用，另一方面，由于舱门与镀膜室均为金属材料构成，关门时易产生碰撞从而损坏舱门和镀膜室，故而密封胶条还起到关门时缓冲的作用。
本实用新型的有益效果是：该镀膜机整机安装，各个部件均在同一仓体内，镀膜室除了与舱门之间与外界有联通外，其余各个部件均不与外界有相通，密封性能好；同时，本镀膜机能适应各种型号的工件进行镀膜，采用磁控溅射技术，镀膜效果好、效率高。
附图说明
通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
图1为本实用新型的侧面剖视图；
图2为本实用新型的上料机结构示意图。
其中：1.镀膜室，2.托盘，21.架杆孔，3.电机，4.槽边，5. 线圈，6.抽气口，8.控制室，9.分子泵，11.电控柜，12.舱门，121. 密封胶条，122.观察窗，13.上料架，131.枝杈，14.靶材板。
具体实施方式
下面将参照附图对本实用新型的优选实施方式进行描述。提供以下参照附图的描述，以帮助对由权利要求所限定的本实用新型实施方式的理解。其包括帮助理解的各种具体细节，但它们只能被看作是示例性的。因此，本领域技术人员将认识到，可对这里描述的实施方式进行各种改变和修改，而不脱离本实用新型的范围和精神。而且，为了使说明书更加清楚简洁，将省略对本领域熟知功能和构造的详细描述。
下面结合图1到2本实用新型进行进一步地说明：一种真空镀膜机，具有外仓以及舱门12，外仓内设有镀膜室1、控制室8，镀膜室 1的上顶板和下底板上均固定有托盘2，托盘2上还设有架杆孔21。上下托盘2之间设有带动其转动的转轴4；所述转轴4有镀膜室1底部的电机3驱动。架杆孔21上架设有上料杆13，将待镀膜的工件架设在上料杆13的枝杈131上。待镀膜的工件可以架设在各个枝杈131 上，上料架13架设在托盘2的架杆孔21中，可随托盘2一起转动，从而方便待镀膜工件能均匀的被喷涂到每一个面。
镀膜室1内部还设有靶材板14和抽气口6以及出料口7；所述靶材板14上缠绕有线圈5，所述线圈5与控制室8内的电控柜11电连接，所述抽气口6通过管道与分子泵9相通，所述舱门12上设有控制板123，所述控制板123与电控柜11电连接。
进一步地，所述舱门12上还设有观察窗122。观察窗122方便技术人员能快速有效的了解镀膜室1内的情况，能根据不同的情况做出及时的判断和处理。
进一步地，所述舱门12在与镀膜室1接触的面上设有密封胶条 121。密封胶条121一方面起到密封舱门12与镀膜室1的作用，另一方面，由于舱门12与镀膜室1均为金属材料构成，关门时易产生碰撞从而损坏舱门12和镀膜室1，故而密封胶条121还起到关门时缓冲的作用。
本实用新型工作原理：溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向基体表面，在基体表面形成镀层。
首先将分子泵9将镀膜室1内的气压抽至10-1Pa，并给线圈5 通上不同频率和相位的电，由于电感效应，线圈5中产生变化的磁场，此时会产生电场，电离出的等离子体轰击靶材板5，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向待镀膜的工件表面，在工件表面形成镀层。上料杆13随托盘2一起转动，溅射出来的粒子不断地射向待镀膜的工件的各个面，从而使待镀膜工件表面能均匀的镀上镀层。等待镀膜室 1内完全冷却后，取出已经镀好镀层的工件。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920308689.2
申请日:2019-03-12
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209702847U
授权时间:20191129
主分类号:C23C14/35
专利分类号:C23C14/35
范畴分类:25F;
申请人:常州市乐萌压力容器有限公司
第一申请人:常州市乐萌压力容器有限公司
申请人地址:213000 江苏省常州市新北区孟河镇港西大道16号
发明人:潘燕萍;朱海军
第一发明人:潘燕萍
当前权利人:常州市乐萌压力容器有限公司
代理人:何学成
代理机构:32294
代理机构编号:常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计