论文摘要
研究了等离子体镀膜加工衍生的一个工艺问题,即寻找最好的公转、自转速度比例,使得按照该速度比旋转的长方体工件的每个面在镀膜加工过程中接收密度尽可能接近的等离子沉积.通过分析长方体旋转时各点的运动轨迹,将该问题转化为两个含参三角函数的积分的计算问题.给出了用Maple软件计算该积分的的程序.通过较多数值计算试验,建立了最佳公转、自转速度比的经验值.文章还讨论多个长方体工件、多面体、凸曲面工件的情形,并给出了一种对静止长方体工件进行烤羊肉串式等离子体镀膜加工的最佳位置.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 曾振柄,鲁健,曾小伟
关键词: 等离子溅射镀膜,长方体,转动,投影,自动积分
来源: 系统科学与数学 2019年12期
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 数学,物理学
单位: 上海大学数学系,中国科学院上海生命科学研究院计算生物学伙伴研究所
基金: 国家自然科学基金(11471209)资助课题
分类号: O224;O53
页码: 1925-1943
总页数: 19
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