论文摘要
针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时的干涉光强表征模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解参考板倾斜时干涉光强的积分表达形式,通过数值计算定量分析参考板倾斜度对干涉条纹包络、对比度的影响,并采用宽带光八步移相算法进行三维形貌复原,据此确定参考板倾斜误差的容限。设计了50×Mirau型干涉显微物镜的参考板倾斜验证结构,通过实验测量了标准台阶板,验证了仿真分析模型的准确性,确定了50×干涉显微物镜中参考板倾斜误差容限为1.5°。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 胡捷,袁群,于颢彪,王帅,孙一峰,高志山
关键词: 显微,干涉显微物镜,色散,倾斜,装配误差,误差容限
来源: 中国激光 2019年09期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 物理学,仪器仪表工业
单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院
基金: 国家重大仪器专项(2013YQ150829),中央高校基本科研业务专项(30917011107,30918014115-004)
分类号: TH742;O436.1
页码: 154-160
总页数: 7
文件大小: 1871K
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