用于小角散射原位加载测试的单晶金刚石窗口制备工艺研究

论文摘要

根据小角散射原位加载测试的应用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 kW穹顶式微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置进行高质量单晶金刚石窗口的制备,对晶托结构进行改进,并系统研究了沉积温度对单晶金刚石生长速率、表面形貌、结晶质量、X射线透过率的影响。实验结果表明,新型晶托结构使籽晶表面温度分布均匀,有利于提升单晶金刚石结晶质量;沉积温度1000℃下制备单晶金刚石样品表面形貌、拉曼曲线半峰宽、摇摆曲线半峰宽、X射线透过率均优于其它温度的样品,并最终在该温度下制备出Φ7×0. 5 mm2的单晶金刚石窗口。经测试,样品生长速率可达11. 6μm/h,厚度偏差小于±2%,其Raman半峰宽为2. 08 cm-1,XRD摇摆曲线半峰宽为28arcsec,PL谱中未出现与氮相关的杂质峰,X射线透过率超过80%且窗口耐压达到27 MPa,所有性能均满足小角散射原位加载测试的应用需求。

论文目录

• 1 引言
• 2 实验
•   2.1 晶托结构改进
•   2.2 实验过程
•   2.3 表征方法
• 3 结果与讨论
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘晓晨,葛新岗,李义锋,姜龙,安晓明,郭辉

关键词: 小角散射,单晶金刚石

来源: 人工晶体学报 2019年11期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 河北省激光研究所

基金: 河北省高新区科技计划项目(18121015C)

分类号: TQ163

DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.11.003

页码: 1992-1998

总页数: 7

文件大小: 492K

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