论文摘要
分别采用溶液法和磁控溅射法制备了TiO2薄膜。其中对采用磁控溅射法制备的样品进行了退火。用扫描电子显微镜（SEM）观察了薄膜的表面形貌,表征结果发现,与溶液法制备的TiO2薄膜相比,采用磁控溅射法制备的薄膜更加致密,表面粗糙度更低。X射线衍射（XRD）测试结果说明,溶液法制备的薄膜是多晶结构,而磁控溅射制备的薄膜是非晶结构,经过500℃退火后溅射的样品也只有一个（101）峰。在制备好的TiO2薄膜上旋涂钙钛矿层,将其制备成太阳电池,并测试其光电性能。I-V曲线表明,采用磁控溅射法制备的TiO2薄膜制备的电池具有更高的开路电压。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张倪,原玮敏,武晨晓,朱燕艳
关键词: 薄膜,太阳电池,磁控溅射法,溶液法,电流电压法
来源: 微纳电子技术 2019年12期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 电力工业
单位: 上海电力大学数理学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51672172)
分类号: TM914.4
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.12.010
页码: 1005-1009
总页数: 5
文件大小: 2772K
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