α-Al2O3单晶活化Mo-Mn法金属化的改进

α-Al2O3单晶活化Mo-Mn法金属化的改进

论文摘要

采用活化Mo-Mn法对α-Al2O3单晶进行了金属化,Mo-Mn层表面容易出现玻璃相,影响Mo-Mn层电镀及焊接效果。通过对α-Al2O3单晶金属化后Mo-Mn层玻璃相的成分分析,找出Mo-Mn层与α-Al2O3单晶的粘接机理,从玻璃相中析出刚玉是关键。

论文目录

  • 1 实验
  •   1.1 样品的制备
  •   1.2 性能测试
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 9#、Z-1配方在α-Al2O3单晶表面做金属化
  •   2.2 金属化粉柱玻璃相与α-Al2O3单晶反应结果
  •     2.2.1 在α-Al2O3单晶上烧结9#配方金属化粉柱
  •     2.2.2 Z-1玻璃相与α-Al2O3单晶
  •   2.3 金属化后Mo-Mn层玻璃相成分分析
  •     2.3.1 9#配方在α-Al2O3单晶上的Mo-Mn层玻璃相成分分析
  •     2.3.2 Z-1配方在α-Al2O3单晶上金属化Mo-Mn层的玻璃相成分分析
  •   2.4观察金属化后α-Al2O3单晶表面微观结构
  • 3结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 冯佳伦,周兰芬,黄亦工

    关键词: 单晶,金属,化封接强度

    来源: 真空电子技术 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 北京真空电子技术研究所

    分类号: TQ174.758.11

    DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.03.16

    页码: 67-72

    总页数: 6

    文件大小: 573K

    下载量: 59

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