论文摘要
压电陶瓷驱动平台的迟滞非线性影响其定位精度,并降低原子力显微镜等微纳操纵系统对微纳米尺度样品的扫描成像质量。采用最小二乘法对压电陶瓷驱动平台的迟滞特性进行建模,避免了繁琐的迟滞模型求取过程;提出前馈控制与自抗扰控制相结合的复合控制方法,通过设定扩张观测器的带宽及系统控制带宽达到消除迟滞、提高平台定位精度的目的。实验结果表明,该复合控制方法在保证系统稳定性的前提下能有效地提高系统定位控制精度。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 赵庆旭,王一帆,吴文鹏,胡贞
关键词: 压电陶瓷驱动平台,迟滞,定位精度,自抗扰控制,复合控制
来源: 电光与控制 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 电力工业,自动化技术
单位: 长春理工大学
基金: 吉林省自然科学基金(201554)
分类号: TP273.3;TM282
页码: 80-84+105
总页数: 6
文件大小: 2136K
下载量: 372
相关论文文献
标签:压电陶瓷驱动平台论文; 迟滞论文; 定位精度论文; 自抗扰控制论文; 复合控制论文;