氟化非晶态碳膜论文_姚志强,杨萍,孙鸿,黄楠

导读:本文包含了氟化非晶态碳膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:氟化,晶态,等离子体,光谱,疏水,偏压,基体。

氟化非晶态碳膜论文文献综述

姚志强,杨萍,孙鸿,黄楠^[1]（2004）在《氟化非晶态碳膜(a-C∶F)的制备与表征》一文中研究指出采用等离子体浸没与离子注入装置,以CF4和CH4作为源气体,在Si(100)基片上制备了含氟量不同的一系列氟化非晶态碳膜。通过XPS、FTIR和Raman对其结构进行了表征。采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量。XPS和FTIR结果表明存在C—CF、C—Fx基团和少量的氧。我们认为薄膜中存在的氧元素是由于薄膜在正常存放时发生了时效过程,其中的悬挂键发生化学吸附反应引起的。Raman和接触角测量结果表明,随着氟元素含量的逐渐增加,薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构,接触角逐渐增大。纳米压痕测量结果表明,氟元素的加入使得薄膜的硬度有很大程度的降低。(本文来源于《功能材料》期刊2004年02期）

姚志强^[2]（2004）在《氟化非晶态碳膜的制备及其性能研究》一文中研究指出随着现代材料科学、生命科学以及医学科学的迅猛发展，生物材料在临床医学领域中的应用已日趋广泛。等离子体表面改性技术现已成为生物材料研究的一个热点问题。其中，增强材料表面的疏水性能已成为现代生物医用材料设计的一个发展方向。类金刚石膜和非晶态碳基薄膜由于具有化学惰性、低摩擦系数、高耐磨性和优异的生物相容性而将成为发展前景广阔的新型生物医用薄膜材料。氟化非晶态碳膜(a-C：F)由于还具有高疏水性、防水性、抗菌性和相对优良的机械性能等已经成功应用在电外科手术等医疗领域。氟化非晶态碳膜随着薄膜氟化程度的不同，其结构从类金刚石状到聚合物状过渡，疏水性从中等到超疏水性变化，因此对氟化非晶态碳膜的结构和性能等进行系统性研究对开发和设计新一代生物医用材料具有很重要的指导意义。本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ-D)工艺，合成出了氟碳比不同的叁个系列氟化非晶态碳膜。使用X射线光电子能谱(XPS)、衰减全反射傅立叶变换红外光谱(ATR-FTIR)、激光拉曼(Raman)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕、纳米划痕、接触角、禁带宽度、血小板粘附试验等对薄膜的结构和性能进行了表征。重点研究了推进气中CF_4含量百分比、基体偏压和CF_4流量对薄膜结构和性能的影响。 XPS和Raman结果表明，等离子体增强化学气相沉积时，随着推进气中CF_4含量百分比的增加，薄膜的氟化程度逐渐增强，薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构；随着基体负偏压绝对值的增加，薄膜的氟化程度降低，从聚合物状结构逐渐转变为类金刚石结构；等离子体浸没离子注入与沉积时，随着CF_4流量的增加，薄膜的氟化程度先增强后减弱，薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构。接触角测量结果表明，随着薄膜氟化程度的增加，在薄膜表面形成疏水西南交通大学硕士研究生学位论文第日页性的~CFx(x=l，2，3)基团，使薄膜的疏水性能得到提高，与双蒸水之间的最大接触角为105。，接近于聚四氟乙烯(PTFE，1100);但低偏压范围内，单纯地依靠调节偏压并不能显着地提高薄膜的疏水性能。禁带宽度测量结果表明，a-C:F薄膜的光学带隙与薄膜中键合的F含量和C=C含量有关，F含量越高，F与C结合形成。键，而使。一。*的带边态密度得到提高，光学带隙增大:C=C含量越高，光学带隙越小。纳米压痕和划痕结果表明，氟元素的引入破坏了薄膜固有的C(交联结构，使得薄膜的硬度有很大程度的降低;采用等离子体浸没离子注入与沉积工艺合成的薄膜，较等离子体增强化学气相沉积工艺合成的薄膜具有较良好的机械性能。体外血小板粘附实验表明，氟搀杂薄膜表面未变形血小板百分比与热解碳相当，但粘附的数量明显高于未搀杂的薄膜和热解碳;等离子体增强化学气相沉积合成的薄膜在氟化程度较大且具有类金刚石状结构时，薄膜具有相对良好的血液相容性:等离子体浸没离子注入与沉积工艺合成的超疏水性薄膜血小板变形较热解炭严重。(本文来源于《西南交通大学》期刊2004-03-01）

姚志强,杨萍,孙鸿,王进,黄楠^[3]（2004）在《基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响》一文中研究指出为了研究基体负的低偏压Vb 对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响 ,采用等离子体浸没与离子注入装置 ,CF4和CH4作为气源 ,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜。使用XPS、ATR FTIR和Raman谱对其成份和结构进行了表征。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量 ,采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角来评价其疏水性能。XPS和FTIR结果表明薄膜中存在C CF、C Fx基团。Raman谱结果表明 :随着基体偏压的增加 ,薄膜从类聚合物状结构逐渐转变为类金刚石结构 ,薄膜的硬度逐渐增加。接触角测量结果表明 :在低偏压范围内 ,单纯地依靠调节偏压并不能显着地提高薄膜的疏水性能(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2004年01期）

氟化非晶态碳膜论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

随着现代材料科学、生命科学以及医学科学的迅猛发展，生物材料在临床医学领域中的应用已日趋广泛。等离子体表面改性技术现已成为生物材料研究的一个热点问题。其中，增强材料表面的疏水性能已成为现代生物医用材料设计的一个发展方向。类金刚石膜和非晶态碳基薄膜由于具有化学惰性、低摩擦系数、高耐磨性和优异的生物相容性而将成为发展前景广阔的新型生物医用薄膜材料。氟化非晶态碳膜(a-C：F)由于还具有高疏水性、防水性、抗菌性和相对优良的机械性能等已经成功应用在电外科手术等医疗领域。氟化非晶态碳膜随着薄膜氟化程度的不同，其结构从类金刚石状到聚合物状过渡，疏水性从中等到超疏水性变化，因此对氟化非晶态碳膜的结构和性能等进行系统性研究对开发和设计新一代生物医用材料具有很重要的指导意义。本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ-D)工艺，合成出了氟碳比不同的叁个系列氟化非晶态碳膜。使用X射线光电子能谱(XPS)、衰减全反射傅立叶变换红外光谱(ATR-FTIR)、激光拉曼(Raman)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕、纳米划痕、接触角、禁带宽度、血小板粘附试验等对薄膜的结构和性能进行了表征。重点研究了推进气中CF_4含量百分比、基体偏压和CF_4流量对薄膜结构和性能的影响。 XPS和Raman结果表明，等离子体增强化学气相沉积时，随着推进气中CF_4含量百分比的增加，薄膜的氟化程度逐渐增强，薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构；随着基体负偏压绝对值的增加，薄膜的氟化程度降低，从聚合物状结构逐渐转变为类金刚石结构；等离子体浸没离子注入与沉积时，随着CF_4流量的增加，薄膜的氟化程度先增强后减弱，薄膜从典型的类金刚石状结构逐渐转化为类聚合物状结构。接触角测量结果表明，随着薄膜氟化程度的增加，在薄膜表面形成疏水西南交通大学硕士研究生学位论文第日页性的~CFx(x=l，2，3)基团，使薄膜的疏水性能得到提高，与双蒸水之间的最大接触角为105。，接近于聚四氟乙烯(PTFE，1100);但低偏压范围内，单纯地依靠调节偏压并不能显着地提高薄膜的疏水性能。禁带宽度测量结果表明，a-C:F薄膜的光学带隙与薄膜中键合的F含量和C=C含量有关，F含量越高，F与C结合形成。键，而使。一。*的带边态密度得到提高，光学带隙增大:C=C含量越高，光学带隙越小。纳米压痕和划痕结果表明，氟元素的引入破坏了薄膜固有的C(交联结构，使得薄膜的硬度有很大程度的降低;采用等离子体浸没离子注入与沉积工艺合成的薄膜，较等离子体增强化学气相沉积工艺合成的薄膜具有较良好的机械性能。体外血小板粘附实验表明，氟搀杂薄膜表面未变形血小板百分比与热解碳相当，但粘附的数量明显高于未搀杂的薄膜和热解碳;等离子体增强化学气相沉积合成的薄膜在氟化程度较大且具有类金刚石状结构时，薄膜具有相对良好的血液相容性:等离子体浸没离子注入与沉积工艺合成的超疏水性薄膜血小板变形较热解炭严重。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。