CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征

论文摘要

采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片（100）基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。结果表明,该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-（Cr,Al）相,结构致密,与基体的结合力可达25 N。

论文目录

• 1 试验部分
•   1.1 仪器设备与实验材料
•   1.2 试验步骤
•     1.2.1 Al-Cr-Si-N涂层的制备
•     1.2.2 组织结构表征和力学性能测试
• 2 实验结果分析
•   2.1 CrAlSiN纳米复合涂层相组成
•   2.2 显微结构及其成分
•   2.3 CrAlSiN纳米复合涂层的力学性能
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王志超,王政权,孙帅,王菁,范其香

关键词: 高功率脉冲磁控溅射技术,纳米复合涂层,相结构,力学性能

来源: 科技与创新 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 天津职业技术师范大学机械工程学院

基金: 国家级大学生创新创业项目资助(项目编号:201710066031)

分类号: TG174.4

DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2019.02.059

页码: 59+62-63

总页数: 3

文件大小: 1534K

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