不同氪离子束参数下的蓝宝石辐照实验

论文摘要

在不同氪（Kr）离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr+离子束的入射角度、离子束能量、束流密度、作用时间对辐照后蓝宝石表面结构的影响规律,研究了离子束参数与蓝宝石表面粗糙度、刻蚀速率的关系。实验结果表明:当离子束入射角度为60°、能量为600eV、束流密度为239μA·cm-2、作用时间为90min时,样品表面的粗糙度最大,且形成的表面形貌具有明显的点状结构;在同样的离子束入射角度、能量和束流密度下,作用时间为30min时,刻蚀速率最大,表面形貌点状结构密集。利用最优参数组合可得到良好的点状纳米结构、最优的粗糙度和刻蚀速率。

论文目录

• 1 引言
• 2 实验条件及参数
•   2.1 实验条件
•   2.2 实验设计
• 3 实验结果及分析
•   3.1 表面粗糙度和刻蚀速率的极差与方差分析
•   3.2 表面纳米结构的测量结果与分析
•   3.3 最佳实验参数的验证实验
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘雨昭,陈智利,费芒芒,惠迎雪,刘卫国

关键词: 材料,低能离子束刻蚀,自组织纳米结构,粗糙度,刻蚀速率,表面形貌

来源: 激光与光电子学进展 2019年12期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学,材料科学

单位: 西安工业大学光电工程学院

基金: 陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6082),陕西省科技厅重点基金(2016JZ025)

分类号: TB383.1;O786

页码: 170-175

总页数: 6

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