论文摘要
颅内压力的监测对颅内疾病的诊断和治疗有重要的作用,基于硅的压阻效应,设计了一种可用于人体颅内压力监测的植入式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了颅压传感器力学结构和电学性能的设计,然后采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并提出了一种具有生物兼容性的绝缘封装结构。同时搭建了绝缘性测试平台和性能测试平台,通过测试证明封装后的传感器具有良好的绝缘性和抗渗透能力,且其灵敏度可达到1.608 mV/kPa,可对颅压的变化做出响应,为颅压传感器的批量化生产奠定了研究基础。
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类型: 期刊论文
作者: 王文涛,梁庭,杨娇燕,雷程,李志强,单存良,薛胜方
关键词: 微电子机械系统,传感器,颅压,压阻效应,薄板变形
来源: 微纳电子技术 2019年10期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业,自动化技术
单位: 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,动态测试技术山西省重点实验室
基金: 山西省自然科学基金资助项目(201801D121157&201801D221203)
分类号: TH77;TP212
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.10.007
页码: 811-816+851
总页数: 7
文件大小: 2741K
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