论文摘要
为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件对Al2O3薄膜性能的影响。在蓝宝石窗口上用ZnS和Al2O3作为高、低折射率材料,设计并制备了电视（600～900 nm）和中红外（3.4～4.8mm）双波段高效减反射薄膜,测试结果表明,薄膜的减反射效果良好,具有较强的环境适应性,适合于作为光学窗口薄膜。而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8～3.5mm波段的吸收,以及蓝宝石基片在4.0mm之后的吸收是造成透射率较低的主要原因。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 米高园,杨崇民,张建付,王松林,刘青龙,朱筱群,李明伟
关键词: 离子束溅射,薄膜,光学窗口,环境适应性
来源: 红外技术 2019年10期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备
单位: 西安应用光学研究所
基金: 国防基础科研计划资助
分类号: TB383.2;TQ133.1
页码: 902-907
总页数: 6
文件大小: 659K
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