论文摘要
参考硅谐振式压力传感器设计了一种以石墨烯材料为梁的谐振子,对谐振子进行了理论分析及有限元仿真,揭示了其工作机理,探究了谐振子的结构参数对灵敏度的影响规律.仿真结果表明,灵敏度随着硅膜厚度、梁长度的增加而降低,随凹槽边长、深度的增加而提高;并进一步介绍了石墨烯的制备、转移及吸附与石墨烯的高精度剪裁等谐振子加工工艺.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 樊尚春,张津,朱黎明
关键词: 石墨烯,谐振器,敏感结构,加工工艺,有限元法
来源: 郑州大学学报(工学版) 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 无机化工,自动化技术
单位: 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(61773045),长江学者和创新团队发展计划资助(IRT_16R02)
分类号: TQ127.11;TP212
DOI: 10.13705/j.issn.1671-6833.2019.06.011
页码: 47-52
总页数: 6
文件大小: 356K
下载量: 332
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