导读:本文包含了微型压力传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:压力传感器,光纤,膜片,光栅,布拉格,应变力,弹性模量。
微型压力传感器论文文献综述
许高斌,陈诚,陈兴,马渊明,于永强[1]（2019）在《一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器》一文中研究指出微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改变而变化的原理,设计了一种静电激励/电容检测的谐振式压力传感器。本设计采用的谐振器结构与现有研究不同,通过在谐振梁的两边设计了两根侧梁用于抑制谐振器的Z向位移,提高了传感器的稳定性,并且双面梳齿结构和复合温敏梁可进一步优化传感器检测灵敏度等性能。在ANSYS WORKBENCH仿真平台下对其进行分析与验证,结果表明:侧梁可有效地抑制谐振器的Z向位移,在0～100 MPa范围内谐振器具有良好的正向应力特性;传感器基础谐振频率为29.834 kHz,在0～120 kPa范围内灵敏度可达29.6Hz/kPa,且最大过压1.5×FS时仍具备频率稳定性,这表明该传感器可应用于对灵敏度、抗过压等性能有更高要求的复杂环境中。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2019年11期）
王俊杰,刘劲,傅正义,褚程雷,杨明红[2]（2019）在《超微型全石英光纤Fizeau腔水下激波压力传感器》一文中研究指出介绍了一种制作在光纤端头的超微型Fizeau腔水下激波压力传感器,给出了传感器的基本理论和制作工艺;采用被动零差解调技术对该光纤Fizeau腔在冲击压力波作用下的瞬态速变干涉相位进行解调;采用活塞式压力计和聚焦式电磁冲击波源进行静态和动态定标实验。在0～60 MPa压力量程范围内,系统的定标结果如下:满量程时的线性度、重复性、回程误差和基本误差分别为3.26%、0.01153%、0.07%和3.407%,动态响应时间小于0.75μs。(本文来源于《光学学报》期刊2019年02期）
田耕耘,杨海洋[3]（2018）在《微型压力传感器薄膜弹性模量和厚度的研究》一文中研究指出基于薄壳弹性理论,将微型传感器的敏感部件(即变形薄膜)视为韧性板,建立变形薄膜的应变数学模型,并利用Matlab对数学模型进行仿真,分析不同压强下的变形量。将薄膜模片的叁维模型,导入ANSYS Workbench进行有限元分析,得到薄膜的变形量。使用光电全息显微镜对薄膜的变形量进行测量。对比叁种变形量,证明理论分析与实验结果相结合的方法来研究薄膜的弹性模量和厚度是可行的。根据分析结果对薄膜的加工工艺进行改进,可以提高微型传感器的性能。(本文来源于《科技视界》期刊2018年30期）
马彦华,刘倩,刘仪琳,徐琳,李丽君[4]（2018）在《一种微型光纤光栅压力传感器》一文中研究指出设计并实现了一种新型光纤光栅压力传感器。该传感器以光纤布拉格光栅(FBG)为敏感元件,通过菱形钢结构,将压力转换为膜片横向应变,通过将光纤光栅粘于工形膜片中心轴线上,可将压力转换为光纤光栅轴向应变,通过解调光栅的中心波长漂移即可得到压力大小。传感器外壳采用圆柱体刚性封装,外高为13mm,直径为33mm。对设计的传感器进行了压力标定测试,得出传感器的线性拟合度为0.993 5,量程为0~0.234MPa,灵敏度为3.341nm/MPa。(本文来源于《半导体光电》期刊2018年02期）
王永洪,张明义,高强,王鹏[5]（2017）在《微型硅压阻式压力传感器研制》一文中研究指出结合多晶硅材料的压力敏感特性,通过在硅膜片上沉淀多晶硅压敏电阻及精密的微型化封装工艺,设计了微型硅压阻式土压力和孔隙水压力传感器。传感器通过将硅膜片在压力下的电阻值变化转换为电信号输出,通过标定实验得出:传感器的零点输出小,动态频响高,线性拟合度高,且适用于监测精度要求高的实际工程及受尺寸限制的室内模型试验。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2017年11期）
李连祥,符庆宏,张海平[6]（2017）在《微型土压力传感器标定方法研究》一文中研究指出离心模型试验常用微型土压力传感器测量地基或土与结构接触边界上的土压力。传感器使用之前应进行标定。传统的液标或气标方法不能准确反映传感器埋置过程对土体的扰动或传感器周围人为土拱边界条件形成,导致测试结果不甚理想。故针对试验条件,设计制作一套标定微型土压力传感器的方法和装置,以水、粉质黏土和福建标准砂为标定介质,考虑有无刚性靠背两种工作状态对多个传感器进行室内标定,得到标定系数。结果表明:水标未出现卸载滞后,砂标和土标均出现卸载滞后,且表现为非线性;引入滞后比R评价微型土压力传感器的滞后性,认为标定介质和传感器类型是影响滞后比的两个主要因素;传感器自身材料特性和几何特性、地基土的制备和传感器放置、加载预压和加卸载循环等对土体密实度、土体强度等的改变、工作介质和状态等对标定结果有影响。建议尽量模拟试验工作介质和工作状态,逐个标定传感器,以得到更准确的土压力测量值。(本文来源于《地震工程学报》期刊2017年04期）
乔彦超[7]（2017）在《单片机联合微型压力传感器的弹体表面压力测试系统设计》一文中研究指出现代弹药研发过程中,弹体表面压力测试的准确性对控制弹体飞行路径有重要的影响。由于集成电路具有小体积、低成本、低能耗、构造简单的特点,在武器弹药的研制中备受亲睐。在现有研究的前提下,本文开展了对测量弹体表面压力的研究,应用单片机C8051F380联合微型压力传感器组成了可以准确测量弹体表面压力值的系统,该系统整体结构与软件程序相对简单,使用中较为灵活方便,可以在实际弹体表面压力测试过程中投入使用。(本文来源于《自动化与仪器仪表》期刊2017年07期）
高峰,赵建立,李静文[8]（2016）在《SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现》一文中研究指出该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理;其次,通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究,设计了基于MEMS的SOI宽温区微型智能压力传感器的工艺技术;第叁,详细介绍南京盛业达公司研制SOI宽温区微型智能压力传感器的结构和性能。结果表明,该产品具有宽温度工作范围、精度高、稳定性好、结构紧凑、外形美观等优良特性。(本文来源于《自动化与仪表》期刊2016年12期）
孙搏,隋青美,王静,曹帅帅,王宁[9]（2016）在《微型布拉格光栅土压力传感器的设计与试验》一文中研究指出基于金属膜片受压径向拉伸特性。依据土压力传感器与土介质的匹配原则,设计了一种微型布拉格光栅土压力传感器。传感器充分利用金属膜片受到外界压力而产生的最大应变。传感器理论压力灵敏度为2.337 6 nm/MPa。用ANSYS建立金属膜片有限元模型,提取膜片中心点径向位移,得到仿真灵敏度为2.332 0 nm/MPa。用台式气压源、光纤光栅解调仪等设备组建气压标定平台,对传感器进行标定试验。试验表明,在0.3~1.0 MPa范围内,压力灵敏度为1.962 9 nm/MPa,较裸光栅提高654倍,线性度为99.4,具有低啁啾、稳定性高的特点。(本文来源于《仪表技术与传感器》期刊2016年10期）
刘家贵,赵跃堂[10]（2016）在《用于Hopkinson压杆式压力传感器的微型杆装置》一文中研究指出介绍一种用于研究Hopkinson压杆式压力传感器的直径4mm的微型Hopkinson杆装置,通过加速水与压杆间碰撞来模拟炸药爆炸冲击波与压杆之间的相互作用。进一步,在叁维圆形截面杆中传播规律的基础上讨论压杆直径与传感器极限频率之间的关系,即极限频率为(1250)/a Hz,应变片尺寸带来的误差为e≈1/6((πLf)/C_0)~2,提出通过子弹与压杆的对称碰撞来标定数据采集系统的方法。(本文来源于《第九届全国爆炸力学实验技术学术会议摘要集》期刊2016-08-16）
微型压力传感器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
介绍了一种制作在光纤端头的超微型Fizeau腔水下激波压力传感器,给出了传感器的基本理论和制作工艺;采用被动零差解调技术对该光纤Fizeau腔在冲击压力波作用下的瞬态速变干涉相位进行解调;采用活塞式压力计和聚焦式电磁冲击波源进行静态和动态定标实验。在0～60 MPa压力量程范围内,系统的定标结果如下:满量程时的线性度、重复性、回程误差和基本误差分别为3.26%、0.01153%、0.07%和3.407%,动态响应时间小于0.75μs。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微型压力传感器论文参考文献
[1].许高斌,陈诚,陈兴,马渊明,于永强.一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器[J].真空科学与技术学报.2019
[2].王俊杰,刘劲,傅正义,褚程雷,杨明红.超微型全石英光纤Fizeau腔水下激波压力传感器[J].光学学报.2019
[3].田耕耘,杨海洋.微型压力传感器薄膜弹性模量和厚度的研究[J].科技视界.2018
[4].马彦华,刘倩,刘仪琳,徐琳,李丽君.一种微型光纤光栅压力传感器[J].半导体光电.2018
[5].王永洪,张明义,高强,王鹏.微型硅压阻式压力传感器研制[J].传感器与微系统.2017
[6].李连祥,符庆宏,张海平.微型土压力传感器标定方法研究[J].地震工程学报.2017
[7].乔彦超.单片机联合微型压力传感器的弹体表面压力测试系统设计[J].自动化与仪器仪表.2017
[8].高峰,赵建立,李静文.SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现[J].自动化与仪表.2016
[9].孙搏,隋青美,王静,曹帅帅,王宁.微型布拉格光栅土压力传感器的设计与试验[J].仪表技术与传感器.2016
[10].刘家贵,赵跃堂.用于Hopkinson压杆式压力传感器的微型杆装置[C].第九届全国爆炸力学实验技术学术会议摘要集.2016
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