可穿戴柔性电子的快速制备与医疗应用

论文摘要

为更好实现可穿戴柔性电子的初期设计和试验验证,提出了一种基于"切割和粘贴"的柔性电子快速制备方法。首先,通过对比光刻工艺与喷墨打印工艺,提出了一种基于激光切割的微纳图案化工艺;接着,利用调节聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体的黏附力来控制能量释放率,将带图案的薄膜结构转印到弹性基底;然后,为保证金属电极与柔性基体间紧密贴合,采用PDMS对整体结构进行了封装;最后,搭建了多通道生理信号采集系统,对所加工柔性电极进行电生理测试与医疗探索。实验结果表明:与传统柔性电子加工工艺相比,文章提出的工艺效率较高,成本较低,可在10min内完成整套工艺,同时制备的电子传感器件可以与皮肤保形接触且输出稳定信号,可为柔性电子的初期设计及后续产业化应用打下基础。

论文目录

• 1 引言
• 2 可穿戴柔性传感器制备方法
•   （1） 硅片准备
•   （2） 供体/受体基体制备
•     a.聚二甲基硅氧烷 （PDMS） 溶液制备
•     b.旋涂
•   （3） 金属沉积和薄膜制备
•   （4） 图案化与转印
•   （5） 封装
• 3 柔性心电传感电极构成及工作原理
•   3.1 传感器电极构成
•   3.2 传感器工作原理
• 4 试验与结果
•   4.1 试验
•   4.2 结果与讨论
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张森浩,邱东海,衣宁,程寰宇,张莹莹,杨洪波

关键词: 可穿戴,快速转印,可调黏附力,柔性电子,心电图

来源: 光学精密工程 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技

专业: 仪器仪表工业,计算机硬件技术

单位: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,中国科学技术大学,宾夕法尼亚州立大学

基金: 江苏省科技计划重点项目资助(No.BE2016010-4),吉林省与中国科学院科技合作高新技术产业化专项资金资助项目(No.2018SYHZ0022),苏州市科技计划重点产业技术创新前瞻性应用研究项目资助(No.SYG201824)

分类号: TH789;TP368.33

页码: 1362-1369

总页数: 8

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