低能X射线显微成像靶材的优化设计

论文摘要

基于扫描电子显微镜(SEM)的X射线显微成像是利用SEM的微聚焦电子束轰击金属靶材产生的低能X射线对样品进行投影成像,可为低原子序数材料提供的一种无损检测手段。其中,靶材是影响着X射线成像质量的一个重要因素。本文利用蒙特卡罗方法模拟计算了靶材的材料和靶材与电子束作用面的倾角与探测器接收到的X射线强度的关系,仿真结果表明靶材作用面在与水平面倾角为60°时有最佳的X射线出射率;此外,在该倾角下的靶材产生的X射线强度分布均匀;实验结果也验证了这些结论。最后,使用不同材质的靶材对杨树叶样品进行成像实验,结果表明钨靶材具有较好的亮度和对比度,更适合X射线显微成像。

论文目录

• 1 基于SEM的X射线显微成像系统工作原理
• 2 仿真与实验结果
•   2.1 靶材与电子束的作用模型
•   2.2 实验结果
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 牛耕,赵伟霞,刘俊标,韩立,马玉田

关键词: 低能,显微成像,金属靶材,射线,蒙特卡罗

来源: 电子显微学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 信息科技,基础科学

专业: 物理学,无线电电子学,计算机软件及计算机应用

单位: 中国科学院电工研究所,中国科学院大学

基金: 中国科学院关键技术研发团队项目(No.GJJSTD20170005),中国科学院科研装备研制项目(No.YZ201410)

分类号: O434.1;TP391.41;TN16

页码: 384-388

总页数: 5

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