全文摘要
多分量mems加速度计。本实用新型涉及一种多分量mems加速度计。所述的空心长方体（1）的上端开有方形凹槽（2），所述的方形凹槽（2）内设置转轴（3），所述的转轴（3）上开有环形缺（4），所述的环形缺（4）上套接第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8），所述的转轴（3）内开有走线槽（5），所述的走线槽（5）连通第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8）。本实用新型多个mems加速度计相互配合使用，使用更广泛，结构稳定。
主设计要求
1.一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体（1），其特征是：所述的空心长方体（1）的上端开有方形凹槽（2），所述的方形凹槽（2）内设置转轴（3），所述的转轴（3）上开有环形缺（4），所述的环形缺（4）上套接第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8），所述的转轴（3）内开有走线槽（5），所述的走线槽（5）连通第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8），所述的第一加速度计（6）上设置插口Ⅰ（9），所述的插口Ⅰ（9）的下方设置开关Ⅰ（10），所述的第二加速度计（7）上设置插口Ⅱ（13），所述的插口Ⅱ（13）的下方设置开关Ⅱ（11），所述的第三加速度计（8）上设置插口Ⅲ（14），所述的插口Ⅲ（14）的下方设置开关Ⅲ（12）；所述的转轴（3）插入空心长方体（1），所述的空心长方体（1）内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8）。
设计方案
1.一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体（1），其特征是：所述的空心长方体（1）的上端开有方形凹槽（2），所述的方形凹槽（2）内设置转轴（3），所述的转轴（3）上开有环形缺（4），所述的环形缺（4）上套接第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8），所述的转轴（3）内开有走线槽（5），所述的走线槽（5）连通第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8），
所述的第一加速度计（6）上设置插口Ⅰ（9），所述的插口Ⅰ（9）的下方设置开关Ⅰ（10），所述的第二加速度计（7）上设置插口Ⅱ（13），所述的插口Ⅱ（13）的下方设置开关Ⅱ（11），所述的第三加速度计（8）上设置插口Ⅲ（14），所述的插口Ⅲ（14）的下方设置开关Ⅲ（12）；
所述的转轴（3）插入空心长方体（1），所述的空心长方体（1）内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计（6）、第二加速度计（7）与第三加速度计（8）。
2.根据权利要求1所述的多分量mems加速度计，其特征是：所述的内部装入芯片U2，所述的芯片U2的3号端连接芯片U2的5号端、芯片U2的6号端、芯片U2的8号端、电容C5的一端与接地端，所述的芯片U2的4号端连接电容C5的另一端与工作电压VDD端，
所述的芯片U2的11号端连接芯片U2的14号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VDD端，所述的电容C4的另一端接地，所述的芯片U2的12号端连接Vy轴向，所述的芯片U2的13号端连接Vx轴向，
所述的芯片U2的2号端连接Vz轴向，所述的芯片U2的15号端连接芯片U2的16号端、电容C3的另一端与接地端。
3.根据权利要求1或2所述的多分量mems加速度计，其特征是：所述的微处理器U1的10号端串联电阻R4后接地，所述的微处理器U1的1号端串联电阻R5后连接工作电压VCC3.3，
所述的微处理器U1的24号端连接晶振Y1的一端与电容C11的一端，所述的微处理器U1的23号端连接晶振Y1的另一端与电容C12的一端，所述的电容C11的另一端连接电容C12的另一端后接地，
所述的微处理器U1的22号端连接微处理器U1的53号端、微处理器U1的63号端后接地，
所述的微处理器U1的57号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的56号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的55号端连接电阻R7的一端，所述的微处理器U1的54号端连接电阻R9的一端，
所述的电阻R6的另一端连接电阻R7的另一端、电阻R8的另一端、电阻R9的另一端后连接工作电压VCC3.3，
所述的微处理器U1的64号端连接电阻R1的一端与电容C1的一端，所述的微处理器U1的62号端连接电阻R2的一端与电容C2的一端，所述的电阻R1的另一端连接电阻R2的另一端后连接工作电压VCC3.3，
所述的电容C1的另一端接地，所述的电容C2的另一端接地，
所述的微处理器U1的21号端连接微处理器U1的52号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VCC3.3，所述的电容C3的另一端连接电容C4的另一端后接地；
微处理器U1的型号是ATMEGA128L。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及一种多分量mems加速度计。
背景技术
传统的加速度计抗过载能力差，且其与高精度陀螺仪配合使用体积大结构复杂，容易引起故障，使用效率低。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种多分量mems加速度计，多个mems加速度计相互配合使用，使用更广泛，结构稳定。
上述的目的通过以下的技术方案实现：
一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴的上端开有方形凹槽转轴2转轴，所述的方形凹槽转轴2转轴内设置转轴转轴3转轴，所述的转轴转轴3转轴上开有环形缺转轴4转轴，所述的环形缺转轴4转轴上套接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，所述的转轴转轴3转轴内开有走线槽转轴5转轴，所述的走线槽转轴5转轴连通第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，
所述的第一加速度计转轴6转轴上设置插口Ⅰ转轴9转轴，所述的插口Ⅰ转轴9转轴的下方设置开关Ⅰ转轴10转轴，所述的第二加速度计转轴7转轴上设置插口Ⅱ转轴13转轴，所述的插口Ⅱ转轴13转轴的下方设置开关Ⅱ转轴11转轴，所述的第三加速度计转轴8转轴上设置插口Ⅲ转轴14转轴，所述的插口Ⅲ转轴14转轴的下方设置开关Ⅲ转轴12转轴；
所述的转轴转轴3转轴插入空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴。
进一步的，所述的内部装入芯片U2，所述的芯片U2的3号端连接芯片U2的5号端、芯片U2的6号端、芯片U2的8号端、电容C5的一端与接地端，所述的芯片U2的4号端连接电容C5的另一端与工作电压VDD端，
所述的芯片U2的11号端连接芯片U2的14号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VDD端，所述的电容C4的另一端接地，所述的芯片U2的12号端连接Vy轴向，所述的芯片U2的13号端连接Vx轴向，
所述的芯片U2的2号端连接Vz轴向，所述的芯片U2的15号端连接芯片U2的16号端、电容C3的另一端与接地端。
进一步的，所述的微处理器U1的10号端串联电阻R4后接地，所述的微处理器U1的1号端串联电阻R5后连接工作电压VCC3.3，
所述的微处理器U1的24号端连接晶振Y1的一端与电容C11的一端，所述的微处理器U1的23号端连接晶振Y1的另一端与电容C12的一端，所述的电容C11的另一端连接电容C12的另一端后接地，
所述的微处理器U1的22号端连接微处理器U1的53号端、微处理器U1的63号端后接地，
所述的微处理器U1的57号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的56号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的55号端连接电阻R7的一端，所述的微处理器U1的54号端连接电阻R9的一端，
所述的电阻R6的另一端连接电阻R7的另一端、电阻R8的另一端、电阻R9的另一端后连接工作电压VCC3.3，
所述的微处理器U1的64号端连接电阻R1的一端与电容C1的一端，所述的微处理器U1的62号端连接电阻R2的一端与电容C2的一端，所述的电阻R1的另一端连接电阻R2的另一端后连接工作电压VCC3.3，
所述的电容C1的另一端接地，所述的电容C2的另一端接地，
所述的微处理器U1的21号端连接微处理器U1的52号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VCC3.3，所述的电容C3的另一端连接电容C4的另一端后接地；
微处理器U1的型号是ATMEGA128L。
有益效果：
1.本实用新型的集成多个mems加速度计，可同时作用在不同的部位，通过一个微处理器控制，使用方便，操作简单。
2.本实用新型的微处理器U1可同时连接多个mems加速度计，扩展需求，满足特定条件。
3.本实用新型具有X、Y、Z三轴，空间测量定位更准确，测量更精准，适用范围广。
附图说明：
附图1是本实用新型的结构示意图。
附图2是附图1的俯视图。
附图3是本实用新型的mems加速度计的结构剖视图。
附图4是本实用新型的第一加速度计的俯视图。
附图5是本实用新型的mems加速度计的外围电路图。
附图6是本实用新型的微处理器电路图。
具体实施方式：
实施例1
一种多分量mems加速度计，其组成包括：空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴的上端开有方形凹槽转轴2转轴，所述的方形凹槽转轴2转轴内设置转轴转轴3转轴，所述的转轴转轴3转轴上开有环形缺转轴4转轴，所述的环形缺转轴4转轴上套接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，所述的转轴转轴3转轴内开有走线槽转轴5转轴，所述的走线槽转轴5转轴连通第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴，
所述的第一加速度计转轴6转轴上设置插口Ⅰ转轴9转轴，所述的插口Ⅰ转轴9转轴的下方设置开关Ⅰ转轴10转轴，所述的第二加速度计转轴7转轴上设置插口Ⅱ转轴13转轴，所述的插口Ⅱ转轴13转轴的下方设置开关Ⅱ转轴11转轴，所述的第三加速度计转轴8转轴上设置插口Ⅲ转轴14转轴，所述的插口Ⅲ转轴14转轴的下方设置开关Ⅲ转轴12转轴；
所述的转轴转轴3转轴插入空心长方体转轴1转轴，所述的空心长方体转轴1转轴内装入微处理器U1，所述的微处理器U1连接第一加速度计转轴6转轴、第二加速度计转轴7转轴与第三加速度计转轴8转轴。
进一步的，所述的内部装入芯片U2，所述的芯片U2的3号端连接芯片U2的5号端、芯片U2的6号端、芯片U2的8号端、电容C5的一端与接地端，所述的芯片U2的4号端连接电容C5的另一端与工作电压VDD端，
所述的芯片U2的11号端连接芯片U2的14号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VDD端，所述的电容C4的另一端接地，所述的芯片U2的12号端连接Vy轴向，所述的芯片U2的13号端连接Vx轴向，
所述的芯片U2的2号端连接Vz轴向，所述的芯片U2的15号端连接芯片U2的16号端、电容C3的另一端与接地端。
MXR9500M具有-1.5g到+1.5g的量程，其灵敏度典型值为500mV\/g，抗冲击能力为50000g，由于采用了MEMS技术，其使用相当简单，电路如图5所示，可以看出外围仅需要3个电容，用于电源去耦，且无需外部滤波电路。
进一步的，所述的微处理器U1的10号端串联电阻R4后接地，所述的微处理器U1的1号端串联电阻R5后连接工作电压VCC3.3，
所述的微处理器U1的24号端连接晶振Y1的一端与电容C11的一端，所述的微处理器U1的23号端连接晶振Y1的另一端与电容C12的一端，所述的电容C11的另一端连接电容C12的另一端后接地，
所述的微处理器U1的22号端连接微处理器U1的53号端、微处理器U1的63号端后接地，
所述的微处理器U1的57号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的56号端连接电阻R6的一端，所述的微处理器U1的55号端连接电阻R7的一端，所述的微处理器U1的54号端连接电阻R9的一端，
所述的电阻R6的另一端连接电阻R7的另一端、电阻R8的另一端、电阻R9的另一端后连接工作电压VCC3.3，
所述的微处理器U1的64号端连接电阻R1的一端与电容C1的一端，所述的微处理器U1的62号端连接电阻R2的一端与电容C2的一端，所述的电阻R1的另一端连接电阻R2的另一端后连接工作电压VCC3.3，
所述的电容C1的另一端接地，所述的电容C2的另一端接地，
所述的微处理器U1的21号端连接微处理器U1的52号端、电容C3的一端、电容C4的一端与工作电压VCC3.3，所述的电容C3的另一端连接电容C4的另一端后接地；
微处理器U1的型号是ATMEGA128L。
ATMEGA128L满足外形小，处理能力强，低功耗，容易开发，片上资源丰富。U1上共设置六个中端口，其中INT0、INT1、INT5、INT6、INT7引脚用于对多个加速度计X轴的PWM信号进行采集，INT4用于一个加速度计Y轴的PWM信号的采集。
在通过ATMEGA128L上的35-42引脚或44-51引脚任意引脚连接上位机或存储器进行数据导出。
当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920121173.7
申请日:2019-01-18
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:93(哈尔滨)
授权编号:CN209198490U
授权时间:20190802
主分类号:G01P 15/08
专利分类号:G01P15/08
范畴分类:31D;
申请人:中国地震局工程力学研究所
第一申请人:中国地震局工程力学研究所
申请人地址:150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路29号
发明人:孙志远
第一发明人:孙志远
当前权利人:中国地震局工程力学研究所
代理人:高媛
代理机构:23206
代理机构编号:哈尔滨龙科专利代理有限公司
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计