导读:本文包含了微差压压力传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:压力传感器,系数,传感器,膜片,微电子,效应,电容式。
微差压压力传感器论文文献综述
侯智昊,赵雪莹,王增智[1]（2019）在《电容式MEMS差压压力传感器的设计与制造》一文中研究指出基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利用在Pyrex玻璃上淀积Au薄膜作为固定电极,通过硅-玻璃阳极键合工艺实现硅结构与玻璃的键合。在键合过程中实现Pryex玻璃上的pad与硅可动电极的互联,实现MEMS电容式差压压力传感器功能。所设计的MEMS差压压力传感器的量程范围为0～40kPa,其电容变化范围为5.4～7.3pF,电容变化量率达到了35%。利用二次曲线拟合,满量程误差小于0.4%FS,可满足大部分应用场合的需求。(本文来源于《微处理机》期刊2019年02期）
岛田芳夫,宫心喜[2]（1985）在《利用光纤维的全光式差压-压力传感器》一文中研究指出一、应用光学计测传感器利用光纤维计测是一种新的计测技术,它具有能够实现高速度、高密度和高可靠性的数据传输等优点,可使传感器实现全光化。在考虑应用光纤维传感器时,最重要的问题是传感器输出信号的形态问题。一般,把光(本文来源于《国外计量》期刊1985年05期）
周丽芳,牛德芳,胡静山[3]（1981）在《低差压硅集成压力传感器》一文中研究指出硅扩散型力敏器件是一种新型半导体器件。本文从设计要求及理论角度介绍低差压硅集成压力传感器。(本文来源于《化工自动化及仪表》期刊1981年05期）
牛德芳,周丽芳,胡静山,赵培文[4]（1980）在《CGJY-7702型低差压式硅集成压力传感器的研制》一文中研究指出本文是在ＣＧＪＹ－７７０２型低差压硅集成压力传感器研制的基础上，结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案，对高稳定低差压传感器的实现，在主要工艺参数的选择上作了详细分析，并对非线性产生原因进行了讨论。(本文来源于《大连工学院学报》期刊1980年04期）
微差压压力传感器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
一、应用光学计测传感器利用光纤维计测是一种新的计测技术,它具有能够实现高速度、高密度和高可靠性的数据传输等优点,可使传感器实现全光化。在考虑应用光纤维传感器时,最重要的问题是传感器输出信号的形态问题。一般,把光
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微差压压力传感器论文参考文献
[1].侯智昊,赵雪莹,王增智.电容式MEMS差压压力传感器的设计与制造[J].微处理机.2019
[2].岛田芳夫,宫心喜.利用光纤维的全光式差压-压力传感器[J].国外计量.1985
[3].周丽芳,牛德芳,胡静山.低差压硅集成压力传感器[J].化工自动化及仪表.1981
[4].牛德芳,周丽芳,胡静山,赵培文.CGJY-7702型低差压式硅集成压力传感器的研制[J].大连工学院学报.1980
论文知识图
