论文摘要
以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案。研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参数对PEO溶液的直写微图案宽度的影响。结果表明在使用质量分数3%的PEO溶液在进行直写时,喷嘴与基底之间的工作电压从1.1 kV增大到2.6 kV,PEO微图案的平均宽度从35.61μm下降到23.3μm,并且图案宽度的工艺误差从8.24μm下降到2.21μm。随着工作电压的增大,喷嘴处的射流形态变化依次为:液滴状、弯液面、稳定射流、多股射流。同时研究发现,通过降低直写高度和增加PEO溶液的质量分数,能进一步减小微图案的宽度,并且能够提高微图案宽度的均匀性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李鹏,吴婷,张礼兵,陈建洲,冯孝为,黄风立,左春柽
关键词: 电流体动力学,近场直写,微图案,聚氧化乙烯,柔性绝缘基板
来源: 微纳电子技术 2019年01期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 力学
单位: 嘉兴学院机电工程学院
基金: 国家自然科学基金项目面上资助项目(51775242),浙江省基础公益研究计划资助项目(LGG18E050016),2018年度浙江省大学生科技创新活动计划暨新苗人才计划资助项目(2018R417036),2018年度嘉兴学院大学生科研训练计划(SRT)项目重点B类项目(SRT2018B009)
分类号: O361.4
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.011
页码: 65-70
总页数: 6
文件大小: 1287K
下载量: 119
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