磁控溅射制备Cu-Al合金薄膜及光吸收性能研究

论文摘要

为使沉积态Cu-Al合金薄膜有显著的表面等离子体共振（SPR）吸收峰,采用磁控溅射法分别制备了纯Cu、纯Al和Cu-Al合金薄膜,并采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计对其物相和光吸收性能进行了测试。结果表明,不连续的较薄Cu膜在沉积态下可观察到540 nm处的吸收峰,较厚的Cu膜通过在400℃下进行1 h热处理可在400 nm处获得微弱的吸收峰。沉积态的Al膜在可见光范围内无吸收峰,在热处理后,不连续的较薄Al膜可获得580 nm处的吸收峰,而较厚Al膜通过长时间热处理后可获得730 nm处的吸收峰。共溅射制得的较薄Cu-Al合金薄膜无须经过热处理,即可在可见光范围内获得吸收峰。

论文目录

• 1 实验
• 2 结果与讨论
•   2.1 Cu膜
•   2.2 Al膜
•   2.3 Cu-Al合金薄膜
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王明腾,宋娟,高宇浩,张力,侯贵华,关荣锋,杨子润

关键词: 合金薄膜,表面等离子体共振,纳米颗粒,热处理

来源: 盐城工学院学报(自然科学版) 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 盐城工学院材料科学与工程学院,江苏省新型环保重点实验室

基金: 盐城工学院2018年大学生创新创业训练计划项目(2018146)

分类号: TB383.2

DOI: 10.16018/j.cnki.cn32-1650/n.201901002

页码: 6-11

总页数: 6

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