真空泵微小抽速测试方法研究进展与分析

论文摘要

基于真空泵发展的实际需求,本文对真空泵微小抽速测试方法的研究现状与进展进行全面论述。首先,从三种常用的测试方法（流量计法、定容法和动态流导法）具体展开。通过回顾国内外学者的典型应用案例,分别介绍其测试原理与特点;接下来,讨论微小抽速的测试方法的难点及其应对策略,并对这几种测试方法进行对比分析,最后,就不同压力条件与测试方法的选用关系给出建议。同时,本文也提出未来可在真空泵极小抽速(<10-5m3/s)的精确测试和拓展测试气体的种类两方面开展进一步研究,以推动真空计量基础科研的跨越式发展。

论文目录

• 1 测试方法
•   1.1 流量计法
•   1.2 定容法
•   1.3 动态流导法
• 2 讨论与分析
•   2.1 测试方法的难点分析
•   2.2 测试方法的对比分析
•     2.2.1 测试范围及装置
•     2.2.2 不确定度
• 3 总结与展望

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李海涛,郭美如,张世伟,成永军,任正宜,吴成耀

关键词: 真空泵,微小抽速,测试方法,研究进展

来源: 真空科学与技术学报 2019年12期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 工业通用技术及设备

单位: 东北大学机械工程与自动化学院,兰州空间技术物理研究所

基金: 国家自然科学基金项目(61671226),甘肃省自然科学基金项目(18JR3RA012)

分类号: TB752

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.02

页码: 1054-1060

总页数: 7

文件大小: 1039K

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