导读:本文包含了二维工作台论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:工作台,误差,测量,角度,机电,纳米,干涉仪。
二维工作台论文文献综述
张芮,黄强先,伍婷婷,张连生,陈丽娟[1]（2018）在《二维工作台角度误差实时补偿研究》一文中研究指出为减小二维工作台在运动过程中俯仰角、偏摆角对其定位、测量及加工精度的影响,提出一种实时补偿二维工作台角度误差的方法。将激光测量系统作为角度反馈装置,基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计出的六自由度微动工作台作为补偿机构,通过软件控制微动台中压电陶瓷的输入电压,达到补偿工作台角度误差的目的。实验结果表明:二维工作台在50 mm的运动范围内,角度误差实时补偿后,向X方向运动的角度基本可以控制在±3″内,向Y方向运动的角度基本可以控制在±2″内。该方法能够实现对二维工作台角度误差的实时补偿,对提高工作台的定位精度有参考价值。(本文来源于《中国测试》期刊2018年08期）
卢红,毛尔东,范维[2]（2018）在《数控双驱二维工作台的控制方法与联合仿真研究》一文中研究指出文章针对双驱二维工作台的同步控制方法进行研究,建立并分析了基于扰动补偿的改进交叉耦合双驱同步控制策略;结合ADAMS软件和Matlab软件,建立了数控双驱二维工作台的机械系统和控制系统模型,研究讨论多种数控双驱二维工作台的同步控制方法,利用机电联合仿真技术对不同双驱同步控制系统方案进行仿真,并将联合仿真结果与传统伺服系统仿真的结果进行对比分析;最后进行双驱同步进给实验,实验结果表明:基于扰动补偿的改进交叉耦合的双驱同步控制比传统交叉耦合控制的同步精度更高,并且采用的机电联合仿真能够更加准确地分析工作台进给系统的动态特性,为双驱二维工作台的同步控制方法研究提供了更加可靠的依据。(本文来源于《组合机床与自动化加工技术》期刊2018年04期）
伍婷婷[3]（2018）在《二维工作台多自由度同时测量系统的研制及实验研究》一文中研究指出在先进加工制造领域中,精密工作台和精密导轨是保证机床制造精度和仪器测量精度的重要运动部件。工作台和导轨的准确装配和调节,以及在几何空间的静止形态与运行状态的探测和操纵等,都必须对其多个自由度误差进行在线实时检测。本文将激光干涉仪和自准直仪统一于同一个激光测量系统中,实现了对二维工作台进行多自由度同时测量。本文主要完成了以下工作:(1)对多自由度同时测量方法进行深入研究,介绍了激光多自由度同时测量系统的测量原理。基于整体式光路布局和偏振干涉技术,完善了激光测量光路,提高了系统的稳定性。(2)为得到高质量的电压输出信号,针对位移测量光路和角度测量光路的输出光信号的不同,分别设计了各自的信号处理电路,并进行电路的调试和制板,从而获得高质量的信号。(3)在VC++6.0环境下,改进并完善数据采集与处理系统软件程序,实现测量数据的实时采集、显示和存储。(4)搭建并调试二维工作台多自由度同时测量系统,基于实验室已研制出来的二维定位工作台,对测量系统进行整体性能测试,比如角度标定、静态漂移测试、分辨力测试以及比对实验,从而验证了系统的有效性和可行性。实验结果表明:位移测量系统的分辨力为0.8 nm,角度测量系统的分辨力为0.2″;位移测量范围可达50 mm,角度测量范围可达±50″。定位工作台在50 mm的运动行程内,本多自由度同时测量系统和雷尼绍XL-80测量仪器的定位偏差优于100 nm。在角度测量范围内,本多自由度同时测量系统和雷尼绍XL-80测量仪器的偏摆角和俯仰角的最大测量偏差分别为0.4″,0.5″。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2018-04-01）
张芮[4]（2018）在《二维工作台定位与角度误差实时补偿系统研制》一文中研究指出随着纳米光刻、MEMS制造、生物工程等领域的发展,对工作台的定位精度要求也越来越高。在测量系统中,工作台的角度运动误差会影响其定位精度,因此,为实现纳米级精度的定位目标,本文提出了一种补偿二维工作台角度运动误差与直线定位误差的方法。激光测量系统作为角度反馈装置,对工作台在运动过程中X、Y两个方向的偏摆角、俯仰角和位移进行检测,基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计出的六自由度微动工作台作为补偿机构,通过软件控制微动台中压电陶瓷的输入电压,达到补偿工作台角度运动误差和直线定位误差的目的。主要工作如下:1.将计算机、二维多自由度激光测量系统与具有角度修正功能的二维纳米定位工作台结合起来,构成一个二维工作台定位与角度误差实时补偿系统。2.根据宏微驱动的思想提出补偿方案,配合使用微动台中的压电陶瓷,压电陶瓷产生微小位移会使微动台偏转或平移,从而实现对整个工作台的角度运动误差与直线定位误差的补偿。3.将软件程序编写分为四个模块:角度测量、长度测量、角度补偿、长度定位,各个模块既相互独立又相互联系。4.通过实验验证角度运动误差与直线定位误差补偿的可行性。实验结果表明,工作台在50 mm×50 mm的运动范围内,角度补偿后,二维工作台的角度误差基本可以控制在±3″内;长度定位后,激光测量系统测得直线定位误差小于30 nm。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2018-04-01）
陈立杉,赵培东[5]（2017）在《精密数控双驱二维工作台动态性能研究》一文中研究指出在海军装备制造业中,高效率、高性能的进给驱动技术是实现高速高精数控加工的关键。精密数控双驱二维工作台,在结构方面使用双电机双丝杠配合结构,有效地减小了传动惯性与机床的振动,论文通过参数化建模进行基于ANSYS的有限元分析对其动力学性能进行分析验证并进行优化设计。在控制系统方面论文搭建了模拟硬件系统平台,并对叁种不同的双驱同步控制策略进行了机电联合仿真,最终选取系统响应能力最好的交叉耦合控制算法作为工作台控制系统的控制策略。从制造加工装备上提高海工制造的精度与效率的可控性。(本文来源于《中国造船工程学会电子技术学术委员会2017年装备技术发展论坛论文集》期刊2017-10-20）
曹瑞珉,郝丽娜,高金海[6]（2017）在《一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计》一文中研究指出针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大机构变形的主要因素;对直圆柔性铰链、平行板柔性铰链和倒圆角直梁型柔性铰链进行刚度计算;采用能量法和位移矩阵得出平行四边形位移放大机构输出力和载物台运动位移的计算公式;优化平台尺寸,并对优化后的结果进行有限元仿真和实验分析。实验后得到设计平台的工作空间尺寸为143.7μm×142.1μm,工作空间密度可达2.521μm~2/mm~2,与同类型平台相比,能够实现较大的工作空间密度。(本文来源于《中国机械工程》期刊2017年09期）
刘兆武,李文昊,巴音贺希格,宋莹,姜珊[7]（2017）在《扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测》一文中研究指出为了提高二维工作台的定位精度,提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜,利用叁路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息,对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析了零点误差对工作台测量镜面形误差检测的影响,并提出了相应的校正方案。对所提出的方法进行了理论推导和实验验证,结果表明,所提方法的检测重复精度优于2.6521nm,验证了该方法对工作台测量镜面形误差检测的正确性,并且可对工作台x轴测量镜的面形误差进行实时补偿。(本文来源于《中国激光》期刊2017年01期）
刘兆武,李文昊,王敬开,姜珊,宋莹[8]（2016）在《纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测》一文中研究指出针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用叁路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。(本文来源于《光学精密工程》期刊2016年09期）
袁钰,卞亚魁,陈晨[9]（2015）在《跨尺度二维工作台系统研制》一文中研究指出为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,宏动台高速移动实现粗定位,通过微动台与宏动台的循环配合工作,最终实现二维工作台系统的纳米级定位精度。实验结果表明,200mm×200mm二维工作台的定位精度在0.6μm左右,该工作台系统具备了大行程、定位时间快、智能化等优点。(本文来源于《工具技术》期刊2015年09期）
韩彬[10]（2015）在《二维工作台叁维角度误差检测及补偿系统研制》一文中研究指出为了减小二维工作台在运行中的叁维角度误差,提高其定位精度,本课题提出了一种基于DVD光学头和二维工作台的工作台叁维角度误差检测及补偿系统。该系统可以在工作台工作时对其偏摆角、俯仰角及滚转角误差进行测量,并通过调整微动台对由宏动台运动引起的工作台角度误差进行补偿。本论文主要完成了以下工作：(1)对微小角度测量方法的研究学习,并分析了使用DVD光学头进行角度测量的可行性；(2)角度测量装置信号处理电路的设计,包括差动放大电路、除法电路、滤波电路等电路的设计；(3)角度测量装置数据采集程序的编写；(4)工作台角度反馈补偿控制程序的编写,利用角度检测装置作为反馈系统对工作台角度误差进行检测,当工作台角度误差大于设定值时,通过DA卡控制高压电源驱动压电陶瓷进行伸缩,从而推动工作台进行角运动,对工作台角度误差进行补偿。(5)搭建实验系统,对DVD光学头角度测量装置和误差补偿系统进行实验测试。实验结果证明：DVD光学读取头二维角度测量装置具有小型化、紧凑化、高精度、低成本等特点,其测量范围为±110”,平均分辨率达到0.2”,重复性误差为2”。并且,角度误差补偿系统可以实现对工作台角度误差的补偿、修正,误差补偿后工作台角度误差基本上达到3”以内。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2015-04-01）
二维工作台论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
文章针对双驱二维工作台的同步控制方法进行研究,建立并分析了基于扰动补偿的改进交叉耦合双驱同步控制策略;结合ADAMS软件和Matlab软件,建立了数控双驱二维工作台的机械系统和控制系统模型,研究讨论多种数控双驱二维工作台的同步控制方法,利用机电联合仿真技术对不同双驱同步控制系统方案进行仿真,并将联合仿真结果与传统伺服系统仿真的结果进行对比分析;最后进行双驱同步进给实验,实验结果表明:基于扰动补偿的改进交叉耦合的双驱同步控制比传统交叉耦合控制的同步精度更高,并且采用的机电联合仿真能够更加准确地分析工作台进给系统的动态特性,为双驱二维工作台的同步控制方法研究提供了更加可靠的依据。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
二维工作台论文参考文献
[1].张芮,黄强先,伍婷婷,张连生,陈丽娟.二维工作台角度误差实时补偿研究[J].中国测试.2018
[2].卢红,毛尔东,范维.数控双驱二维工作台的控制方法与联合仿真研究[J].组合机床与自动化加工技术.2018
[3].伍婷婷.二维工作台多自由度同时测量系统的研制及实验研究[D].合肥工业大学.2018
[4].张芮.二维工作台定位与角度误差实时补偿系统研制[D].合肥工业大学.2018
[5].陈立杉,赵培东.精密数控双驱二维工作台动态性能研究[C].中国造船工程学会电子技术学术委员会2017年装备技术发展论坛论文集.2017
[6].曹瑞珉,郝丽娜,高金海.一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计[J].中国机械工程.2017
[7].刘兆武,李文昊,巴音贺希格,宋莹,姜珊.扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测[J].中国激光.2017
[8].刘兆武,李文昊,王敬开,姜珊,宋莹.纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J].光学精密工程.2016
[9].袁钰,卞亚魁,陈晨.跨尺度二维工作台系统研制[J].工具技术.2015
[10].韩彬.二维工作台叁维角度误差检测及补偿系统研制[D].合肥工业大学.2015
论文知识图
