氧化钒薄膜制备方法专利技术分析

论文摘要

氧化钒由于其独特的光电性能在红外探测器、光电调节器、智能窗、光存储及传感器等应用领域备受关注。对制备氧化钒薄膜采用的专利技术进行了梳理,对日后氧化钒薄膜的制备及性能优化具有很好的指导意义。

论文目录

• 1 概述
• 2 氧化钒薄膜制备方法
•   2.1 真空蒸发法
•   2.2 磁控溅射法
•   2.3 溶胶-凝胶法
•   2.4 脉冲激光沉积
•   2.5 化学气相沉积
•   2.6 离子镀
• 3 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 原霞,王衍强

关键词: 氧化钒薄膜,磁控溅射

来源: 云南化工 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心

分类号: TB383.2;TQ135.11

页码: 144-145

总页数: 2

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