全文摘要
本实用新型提供一种蚀刻化学槽，包括槽体、槽盖和动力模块，槽体设置有开口，槽体外侧面设置有闭环密封槽，且闭环密封槽沿着开口周侧闭环设置，闭环密封槽内设置有密封圈，动力模块用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启；当槽盖封盖与开口时，密封圈位于槽盖与槽体之间。在槽体上开设一个开口，并通过动力模块将槽盖封盖在该开口上。同时，沿着开口的轮廓开设一个闭环密封槽，并在该闭环密封槽内放置一个密封圈，使得槽体与槽盖之间在封盖时可以达到密封，避免槽体内的化学药液的挥发，提高蚀刻化学槽的整体装置的使用寿命和安全性。
主设计要求
1.一种蚀刻化学槽，其特征在于：包括槽体、槽盖和动力模块，所述槽体设置有开口，所述槽体外侧面设置有闭环密封槽，且闭环密封槽沿着开口周侧闭环设置，所述闭环密封槽内设置有密封圈，动力模块用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启；当槽盖封盖与开口时，密封圈位于槽盖与槽体之间。
设计方案
1.一种蚀刻化学槽，其特征在于：包括槽体、槽盖和动力模块，所述槽体设置有开口，所述槽体外侧面设置有闭环密封槽，且闭环密封槽沿着开口周侧闭环设置，所述闭环密封槽内设置有密封圈，动力模块用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启；
当槽盖封盖与开口时，密封圈位于槽盖与槽体之间。
2.根据权利要求1所述的一种蚀刻化学槽，其特征在于：所述动力模块包括固定架和第一动力单元，所述第一动力单元的输出端设置在槽盖上，且第一动力单元用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启。
3.根据权利要求2所述的一种蚀刻化学槽，其特征在于：所述动力模块还包括第二动力单元，所述第二动力单元设置在固定架与第一动力单元之间，且第二动力单元的输出端朝向开口设置在第一动力单元上。
4.根据权利要求3所述的一种蚀刻化学槽，其特征在于：所述第一动力单元与第二动力单元为气缸、液压缸或直线电机。
5.根据权利要求1所述的一种蚀刻化学槽，其特征在于：还包括液体泵，所述液体泵与槽体的底部之间管连接。
6.根据权利要求1所述的一种蚀刻化学槽，其特征在于：所述槽盖为透明槽盖。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及晶圆蚀刻装置领域，尤其涉及一种蚀刻化学槽。
背景技术
现有的蚀刻槽的为敞开式，而槽盖为门式结构，因此会使得槽体与槽盖之间具有缝隙，甚至该缝隙还会较大。由于存在缝隙，加上槽体外的局部排气等扰动因素，因此容易影响槽内化学溶液的流场。同时，槽盖频繁的开关，容易使得化学溶液通过挥发由缝隙进入机台内部，造成机台的电路等控制元件锈蚀损坏。现有技术中的蚀刻槽在蚀刻时，蚀刻的人员观察槽内的蚀刻现象，若将槽盖打开进行观察，则会具有安全隐患。
实用新型内容
为此，需要提供一种蚀刻化学槽，用于解决现有的蚀刻槽密封性差，且安全性较低的问题。
为实现上述目的，发明人提供了一种蚀刻化学槽，包括槽体、槽盖和动力模块，所述槽体设置有开口，所述槽体外侧面设置有闭环密封槽，且闭环密封槽沿着开口周侧闭环设置，所述闭环密封槽内设置有密封圈，动力模块用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启；当槽盖封盖与开口时，密封圈位于槽盖与槽体之间。
进一步地，所述动力模块包括固定架和第一动力单元，所述第一动力单元的输出端设置在槽盖上，且第一动力单元用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启。
进一步地，所述动力模块还包括第二动力单元，所述第二动力单元设置在固定架与第一动力单元之间，且第二动力单元的输出端朝向开口设置在第一动力单元上。
进一步地，所述第一动力单元与第二动力单元为气缸、液压缸或直线电机。
进一步地，还包括液体泵，所述液体泵与槽体的底部之间管连接。
进一步地，所述槽盖为透明槽盖。
区别于现有技术，上述技术方案在槽体上开设一个开口，并通过动力模块将槽盖封盖在该开口上。同时，沿着开口的轮廓开设一个闭环密封槽，并在该闭环密封槽内放置一个密封圈，使得槽体与槽盖之间在封盖时可以达到密封，避免槽体内的化学药液的挥发，提高蚀刻化学槽的整体装置的使用寿命和安全性。
附图说明
图1为背景技术所述的示意图；
图2为具体实施方式所述的蚀刻化学槽的示意图；
图3为具体实施方式所述的蚀刻化学槽的局部图。
附图标记说明：
10、槽体；101、开口；102、闭环密封槽；103、密封圈；
20、槽盖；
30、动力模块；301、固定架；302、第一动力单元；
303、第二动力单元；
40、液体泵；
具体实施方式
为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
请参阅图1至图3，本实施例提供一种蚀刻化学槽，包括槽体10、槽盖20和动力模块30，槽体设置有开口101，槽体外侧面设置有闭环密封槽102，且闭环密封槽沿着开口周侧闭环设置，闭环密封槽内设置有密封圈103，动力模块用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启；当槽盖封盖与开口时，密封圈位于槽盖与槽体之间。开口位于槽体的一侧面上，且开口的面积小于该开口所在槽体侧面的面积，因此槽体的开口相对于现有敞开式的槽体的槽口，该开口面积减小，所以在对槽体进行清洗时，可以降低液体溅出槽外的概率，增加了人员清洗操作的安全性。
本实施例中的动力模块可以提供直线上的动能，因此在对槽体进行封盖时，通过动力模块推送槽盖至槽体的开口处，并通过开口周侧的闭环密封槽上的密封圈进行密封，达到了将槽体密封的效果，避免蚀刻化学槽在进行蚀刻时，化学液体的挥发导致其整体的装置使用寿命降低，同时也避免挥发的化学液体被人体吸收造成伤害，提高了蚀刻化学槽的安全性。
具体的，本实施例中的动力模块包括固定架301、第一动力单元302和第二动力单元303，第二动力单元通过固定架进行固定，而第一动力单元则固定在第二动力单元的输出轴上，槽盖则固定在第一动力单元的输出轴上，第一动力单元与第二动力单元为气缸、液压缸或直线电机。本实施例中第一动力单元与第二动力单元为气缸，第一动力单元的输出轴朝向与开口所在的槽体侧面平行，第二动力单元的输出轴朝向与开口所在的槽体侧面垂直。因此在对槽体的开口进行封盖时，通过第一动力单元推动槽盖至槽体的开口处，并使得密封圈为槽盖与槽体之间，再通过第二动力单元对第一动力单元和槽盖整体朝向槽体的开口推动，使得槽盖紧贴于槽体的开口处，并达到密封圈密封的效果。同时，通过气缸推动封盖的形式，有效的避开了现有门式结构的封盖结构，从而提高蚀刻化学槽的使用寿命。
本实施例中还包括液体泵40，液体泵与槽体的底部之间管连接。液体泵的进水口与槽体之间进行管连接，而液体泵的出水口则与蚀刻化学槽的槽底管连接，因此可以将槽体溢流出的化学药液再抽送回蚀刻化学槽的槽底，有效的避免化学液体溢流出槽体外，提高蚀刻化学槽的安全性。
本实施例中槽盖为透明槽盖。透明的槽盖可以为亚克力板、透明塑料板或玻璃板等等，因此蚀刻的人员可以通过槽盖对槽体内部进行观察，进而可以清楚的知晓槽体内蚀刻的情况，提高了安全性，同时也便于人员工作。
需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920108149.X
申请日:2019-01-22
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:35(福建)
授权编号:CN209344042U
授权时间:20190903
主分类号:H01L 21/67
专利分类号:H01L21/67
范畴分类:38F;23E;
申请人:福建省福联集成电路有限公司
第一申请人:福建省福联集成电路有限公司
申请人地址:351117 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
发明人:王嘉伟;黄建顺
第一发明人:王嘉伟
当前权利人:福建省福联集成电路有限公司
代理人:徐剑兵;林祥翔
代理机构:35219
代理机构编号:福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计