论文摘要
文章主要介绍了如何通过碱液淋洗工艺对于在硅烷流化床法生产多晶硅的过程中所产生的硅烷废气进行无害化处理以满足环保要求。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 唐伟博,徐李强,王飞行
关键词: 多晶硅,硅烷流化床法,硅烷废气,碱液淋洗,环保
来源: 化工管理 2019年26期
年度: 2019
分类: 经济与管理科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,环境科学与资源利用
单位: 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
分类号: X78;TQ127.2
页码: 59-60
总页数: 2
文件大小: 3372K
下载量: 55
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