导读:本文包含了压膜阻尼论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:原子力显微镜,压膜阻尼,针尖样品间距离
压膜阻尼论文文献综述
孙岩,魏征[1]（2019）在《空气压膜阻尼对原子力显微镜轻敲模式中不同类型探针振动的影响》一文中研究指出在AFM工作时,悬臂梁探针与试样表面之间的间隙非常小(几纳米到几微米),一些相关文献给出了探针振幅与针尖样品间距离关系的曲线,但都忽略了压膜阻尼的影响。为了探索空气压膜阻尼的机理,本文研究了叁种微悬臂探针:无针尖探针、轻敲模式探针和微小球探针。通过实验和理论计算分析了压膜阻尼对探针振动的影响。本文在考虑了压膜的阻尼效应,给出了修正后的探针幅值与针尖试样距离的关系曲线。此外,还讨论了压膜阻尼对AFM轻敲模式下成像的影响。(本文来源于《北京力学会第二十五届学术年会会议论文集》期刊2019-01-06）
高春晖,高世桥,金磊,刘海鹏,牛少华[2]（2017）在《微机械结构中考虑边界滑移的穿孔平板压膜阻尼分析》一文中研究指出针对微机械结构中的穿孔平板提出了一种精简的压膜阻尼计算模型,计算时考虑了气体的稀薄效应和穿孔造成的压力损失及其内壁产生的气流剪切力.分析时将穿孔平板分解为多个压力分布相同的圆环板,通过修正的雷诺方程得到每个圆环板的压力分布.考虑边界滑移解释了气体的稀薄效应,根据气体的流量守恒给出了穿孔造成的压力损失.为了验证理论模型的正确性,分别与Kwok、Veijola的理论模型和Pasquale的实验结果进行了对比.结果表明本文给出的阻尼计算模型相对于Kwok给出的阻尼计算模型计算起来更准确,相对于Veijola给出的阻尼计算模型在精度相差不大的情况计算起来更方便.(本文来源于《北京理工大学学报》期刊2017年06期）
王错,李醒飞,董九志[3]（2016）在《石英挠性加速度计的压膜阻尼分析》一文中研究指出石英挠性加速度计是导航与制导系统中常用的一种惯性元件,其表头阻尼影响加速度计的动态性能但相关研究却鲜有报道,基于此提出一种适用于石英挠性加速度计的压膜阻尼分析方法。根据石英摆片的形状和转动规律建立雷诺方程,采用时域有限差分方法在摆片上的非规则区域内求解压强分布和阻尼力矩,进而得到阻尼系数为1.69×10-4Nms/rad,对应阻尼比为12.75。计算阻尼比与系统参数辨识实验得到的阻尼比11.57相近,证明提出的压膜阻尼分析方法有效可行,该方法可以为石英挠性加速度计及类似惯性传感器中的阻尼分析与设计提供指导。(本文来源于《电子测量与仪器学报》期刊2016年02期）
张琪昌,周凡森,王炜[4]（2015）在《压膜阻尼作用下微机械谐振器动力学分析》一文中研究指出静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机械谐振器,作为表面效应的空气阻尼以及叁次非线性静电刚度会显着影响器件的动态响应特性。通过压膜阻尼理论,探究了双端固支梁在自由振动过程中由于环境压力引起的空气阻尼和叁次非线性静电刚度对微梁的运动形态、谐振响应等性能参数的影响,发现了双极板微谐振器振动特性与环境压力以及立方非线性静电刚度的关系。结果表明:环境压力的增加会使微机械谐振器的共振频率增加,振动的幅值以及共振漂移的幅度减小。微机械谐振器在小位移振动时,通过对幅频曲线的分析发现,叁次非线性静电刚度会使微机械谐振器表现出或软或硬的非线性特性且不可忽略。(本文来源于《振动与冲击》期刊2015年17期）
李葭[5]（2015）在《扭秤检验近距离牛顿反平方定律实验中的压膜阻尼影响研究》一文中研究指出引力是自然界中四种基本相互作用力之一,它是一种非常微弱的力。精密扭秤是一种优秀的弱力测量工具,它被广泛地应用于各种引力实验。随着技术的发展精密扭秤的探测灵敏度也越来越高,在这些引力实验中各种各样的噪声成为了限制实验精度的重要因素,这些影响因素有:空气阻尼、静电力、温度、磁场、振动等等。本文分析了亚毫米范围牛顿反平方定律检验实验中的压膜阻尼问题,即气体分子布朗运动产生的力矩噪声。处于真空中的扭秤会受到残余气体的碰撞而引起能量的损失,增加扭秤的噪声。本文首先定量地计算了在实验过程中处于孤立空间下扭秤受到气体分子布朗运动力矩噪声的大小。分析给出当容器中的压强值为3 105Pa??时,孤立空间下的扭秤受到气体分子布朗运动力矩噪声不占主导作用。其次,定量地计算了小空间下的扭秤受到气体分子布朗运动力矩噪声的大小。为了更加清楚地了解气体分子布朗运动的特性,对气体分子与小空间下扭秤的碰撞过程进行了数值模拟,得到气体分子布朗运动力矩噪声的模拟结果与理论结果吻合,相对偏差在0.3?4.8%范围内。当容器中的压强值为3 105 Pa??时,对于小空间下钨丝悬挂的扭秤,当扭秤与膜的间隔小于25μm时气体分子布朗运动力矩噪声大于Q值为2500的钨丝结构阻尼热噪声理论值要大。换用石英丝悬挂的扭秤时,当扭秤与膜的间隔小于150μm时气体分子布朗运动力矩噪声大于Q值为50000的石英丝结构阻尼热噪声理论值要大。这些研究工作为下一步用更高精度扭秤检验近距离牛顿反平方定律的想法提供指导。(本文来源于《华中科技大学》期刊2015-05-01）
彭泳卿,陈青松,邹江波[6]（2010）在《电容式加速度传感器的压膜阻尼分析与设计》一文中研究指出本文从工程实际出发,推导了适合于描述加速度传感器中敏感电容极板上压力分布的极坐标Reynolds方程,并给出了带阻尼孔的压膜阻尼计算公式。同时本文建立了考虑阻尼孔影响和移动极板运动过程中阻尼动态变化的力学系统分析模型,并给出了对非线性系统模型的求解方法。针对有阻尼孔的工况,本文的计算结果与ANSYS的仿真结果进行了比较验证,两者具有良好的一致性。本文给出的建模方法简单,计算耗时少,更适合于高精度电容式加速度传感器具有复杂结构的压膜阻尼设计。针对工程实际中的一种加速度传感器结构,采用该模型深入分析了各项阻尼孔参数对传感器阻尼特性的影响,并给出了具有最优频率特性的极板阻尼孔设计,同时分析了系统在各种加速度激励下的时域响应。本文提出的设计方法可推广至各类传感器和MEMS器件的阻尼优化设计。(本文来源于《2010中国仪器仪表学术、产业大会（论文集2）》期刊2010-11-10）
周镇威,杨卓青,蔡豪刚,丁桂甫[7]（2010）在《带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析》一文中研究指出针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性,得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的,从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性。(本文来源于《传感技术学报》期刊2010年05期）
应法明,肖奇军,崔峰,陈文元,张卫平[8]（2010）在《静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性》一文中研究指出空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学,构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将微陀螺内部气膜分成了13个分区,推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数。根据微陀螺的结构参数进行仿真,结果表明:轴向压膜阻尼系数对微陀螺支承系统的动态特性影响最大,而压膜阻尼系数与气体的温度,压强呈线性关系,与振动幅值呈抛物线型关系;在低频段系统呈现阻尼力,而到高频段,系统呈现弹性力。利用Simulink进行了微陀螺的系统建模,得出压膜阻尼系数Cz对PID参数的选取,尤其是Kd参数,起着重要作用,同时对系统的稳定性也有一定的影响。(本文来源于《中国惯性技术学报》期刊2010年02期）
冯闯[9]（2009）在《压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析》一文中研究指出微梁谐振器是微机电系统中常用的一种谐振器。基于修正雷诺方程和梁的振动理论,通过求解微梁的控制方程,得到了压膜阻尼对有孔微梁梁振动特性的影响,可以为器件的优化设计提供参考。(本文来源于《湖南农机》期刊2009年01期）
董林玺,刘国华,钱忺[10]（2007）在《孔的形状和排列方式对厚孔板微结构压膜空气阻尼的影响分析》一文中研究指出本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该结论的正确性.结果还表明孔数对恒定尺寸微结构空气阻尼的影响随着结构厚度和孔数的增加而变得更加明显.分析结果对比表明在同样的尺寸条件下,孔方形排列微结构的空气阻尼小于孔蜂窝式排列微结构的空气阻尼,该现象随着孔单元面积的增加变得越明显,但是随着孔单元接近微结构的边界,阻尼之间的差距减小.研究结果可以用在高精度MEMS器件如MEMS地震检波器、MEMS光开关和MEMS红外光传感器等的优化设计中去.(本文来源于《传感技术学报》期刊2007年06期）
压膜阻尼论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对微机械结构中的穿孔平板提出了一种精简的压膜阻尼计算模型,计算时考虑了气体的稀薄效应和穿孔造成的压力损失及其内壁产生的气流剪切力.分析时将穿孔平板分解为多个压力分布相同的圆环板,通过修正的雷诺方程得到每个圆环板的压力分布.考虑边界滑移解释了气体的稀薄效应,根据气体的流量守恒给出了穿孔造成的压力损失.为了验证理论模型的正确性,分别与Kwok、Veijola的理论模型和Pasquale的实验结果进行了对比.结果表明本文给出的阻尼计算模型相对于Kwok给出的阻尼计算模型计算起来更准确,相对于Veijola给出的阻尼计算模型在精度相差不大的情况计算起来更方便.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
压膜阻尼论文参考文献
[1].孙岩,魏征.空气压膜阻尼对原子力显微镜轻敲模式中不同类型探针振动的影响[C].北京力学会第二十五届学术年会会议论文集.2019
[2].高春晖,高世桥,金磊,刘海鹏,牛少华.微机械结构中考虑边界滑移的穿孔平板压膜阻尼分析[J].北京理工大学学报.2017
[3].王错,李醒飞,董九志.石英挠性加速度计的压膜阻尼分析[J].电子测量与仪器学报.2016
[4].张琪昌,周凡森,王炜.压膜阻尼作用下微机械谐振器动力学分析[J].振动与冲击.2015
[5].李葭.扭秤检验近距离牛顿反平方定律实验中的压膜阻尼影响研究[D].华中科技大学.2015
[6].彭泳卿,陈青松,邹江波.电容式加速度传感器的压膜阻尼分析与设计[C].2010中国仪器仪表学术、产业大会（论文集2）.2010
[7].周镇威,杨卓青,蔡豪刚,丁桂甫.带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析[J].传感技术学报.2010
[8].应法明,肖奇军,崔峰,陈文元,张卫平.静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性[J].中国惯性技术学报.2010
[9].冯闯.压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析[J].湖南农机.2009
[10].董林玺,刘国华,钱忺.孔的形状和排列方式对厚孔板微结构压膜空气阻尼的影响分析[J].传感技术学报.2007