导读:本文包含了二维定位误差论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:二维工作台,角度运动误差,直线定位误差,压电陶瓷致动器
二维定位误差论文文献综述
张芮[1]（2018）在《二维工作台定位与角度误差实时补偿系统研制》一文中研究指出随着纳米光刻、MEMS制造、生物工程等领域的发展,对工作台的定位精度要求也越来越高。在测量系统中,工作台的角度运动误差会影响其定位精度,因此,为实现纳米级精度的定位目标,本文提出了一种补偿二维工作台角度运动误差与直线定位误差的方法。激光测量系统作为角度反馈装置,对工作台在运动过程中X、Y两个方向的偏摆角、俯仰角和位移进行检测,基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计出的六自由度微动工作台作为补偿机构,通过软件控制微动台中压电陶瓷的输入电压,达到补偿工作台角度运动误差和直线定位误差的目的。主要工作如下:1.将计算机、二维多自由度激光测量系统与具有角度修正功能的二维纳米定位工作台结合起来,构成一个二维工作台定位与角度误差实时补偿系统。2.根据宏微驱动的思想提出补偿方案,配合使用微动台中的压电陶瓷,压电陶瓷产生微小位移会使微动台偏转或平移,从而实现对整个工作台的角度运动误差与直线定位误差的补偿。3.将软件程序编写分为四个模块:角度测量、长度测量、角度补偿、长度定位,各个模块既相互独立又相互联系。4.通过实验验证角度运动误差与直线定位误差补偿的可行性。实验结果表明,工作台在50 mm×50 mm的运动范围内,角度补偿后,二维工作台的角度误差基本可以控制在±3″内;长度定位后,激光测量系统测得直线定位误差小于30 nm。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2018-04-01）
王丹颖[2]（2014）在《二维转鼓加工精密转台定位误差分析与研究》一文中研究指出二维光学转鼓作为超精密加工中的典型零件在激光打印机等仪器中得到越来越多的应用,需求量也在逐年增加。而作为二维转鼓加工的装夹工艺装置——二维精密转台,它的定位精度对光学转鼓的形状精度、面型精度和表面加工质量都有很大影响。根据所要研究的二维转台结构及工作原理,重点分析了影响转台精度的误差来源、误差种类以及误差的传递关系。针对影响转台定位的随机误差,通过采用空间坐标变换的方法,分别推导出二维转台在无误差的理想情况下和存在误差时,从横滚轴坐标系到转台底座坐标系的坐标变换矩阵以及位置方程。利用蒙特卡洛法和MATLAB软件进行计算仿真,得到二维转台的定位误差,根据误差单独作用的原则,对影响二维转台的各项误差进行敏感性分析,仿真表明二维转鼓加工精密转台的横滚轴倾斜误差、横滚轴的晃动误差和方位轴的晃动误差对二维转台的定位精度有比较大的影响。(本文来源于《长春理工大学》期刊2014-12-01）
林杰俊,李东升,沈小燕[3]（2013）在《二维微动工作台的定位误差补偿实验》一文中研究指出随着科学技术的发展,超精密定位技术在各领域得到了广泛应用,它的研究对MEMS技术的发展具有重要的意义。对具有纳米定位精度的二维微动工作台的定位误差进行研究。首先,对分辨率为0.15 nm的双频激光干涉仪进行了测量误差分析,其标定二维微动工作台时的测量精度为14.4 nm;利用该激光干涉仪标定时温漂的近线性关系去除了定位误差中的综合误差,采用反相补偿法对定位误差中的系统误差进行了补偿。测得该工作台补偿前的定位误差在250~300 nm之间,在空气弹簧隔振平台上进行了误差补偿实验,测得补偿后两轴的定位误差分别为20 nm和25 nm左右。实验证明了该种方法用于补偿纳米定位系统的可行性。(本文来源于《机床与液压》期刊2013年21期）
沈小燕,林杰俊,李加福,尹建龙,李东升[4]（2013）在《超精密二维测量定位系统评定及误差分析》一文中研究指出超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统应用于二维尺寸的测量,分析了测量误差,并进行了测量不确定度的评定,试验获得该测量系统X、Y方向的测量不确定度分别为89 nm和87 nm.研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果。(本文来源于《仪表技术与传感器》期刊2013年06期）
陆毅华,张宪民[5]（2009）在《二维精密定位系统的误差分析与补偿》一文中研究指出针对所设计的基于运动控制卡的精密定位平台,提出了一种测量系统总体误差状况的方法,通过对精密定位系统中宏动平台进行定位误差的测量和分析,根据测量的误差情况提出了误差补偿的方法,采用闭环控制对系统的误差进行补偿,使其定位精度得到了大幅的提高。(本文来源于《机械设计》期刊2009年01期）
杨林,周一宇,徐晖,孙仲康[6]（1998）在《利用叁站TDOA及辅助高度信息的空间目标二维定位方法及误差分析》一文中研究指出本文推导了利用叁站到达时差信息及辅助高度信息对空间辐射源二维定位的非线性方程组求解方法，给出了该定位方法的误差分析，最后给出了在具体布站条件下的探测区域内的误差分布。(本文来源于《电子学报》期刊1998年12期）
高峰[7]（1996）在《二维图象中二阶导数滤波器边缘定位误差的理论分析》一文中研究指出本文从理论上讨论了低通滤波后二维图象中弯曲边缘的定位误差问题.边缘位置通常由二阶导数算子的零交叉点定义.研究表明:梯度方向上的二阶导数算子(secondderivativein gradient direction SDGD)产生向心的、可预测的边缘偏移;而线性拉普拉斯算子(LaplacianOperator)产生相反方向(离心)的可预测位置偏移.由此可推断:两者之和——称之为PLUS,将产生比其组成成份(SDGD 和 Laplace)更为精确的边缘定位算子.文章讨论了常用的低通滤波器(如 Gaussian 滤波器及 Tepee 滤波器)对边缘定位精度的影响.(本文来源于《光子学报》期刊1996年03期）
二维定位误差论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
二维光学转鼓作为超精密加工中的典型零件在激光打印机等仪器中得到越来越多的应用,需求量也在逐年增加。而作为二维转鼓加工的装夹工艺装置——二维精密转台,它的定位精度对光学转鼓的形状精度、面型精度和表面加工质量都有很大影响。根据所要研究的二维转台结构及工作原理,重点分析了影响转台精度的误差来源、误差种类以及误差的传递关系。针对影响转台定位的随机误差,通过采用空间坐标变换的方法,分别推导出二维转台在无误差的理想情况下和存在误差时,从横滚轴坐标系到转台底座坐标系的坐标变换矩阵以及位置方程。利用蒙特卡洛法和MATLAB软件进行计算仿真,得到二维转台的定位误差,根据误差单独作用的原则,对影响二维转台的各项误差进行敏感性分析,仿真表明二维转鼓加工精密转台的横滚轴倾斜误差、横滚轴的晃动误差和方位轴的晃动误差对二维转台的定位精度有比较大的影响。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
二维定位误差论文参考文献
[1].张芮.二维工作台定位与角度误差实时补偿系统研制[D].合肥工业大学.2018
[2].王丹颖.二维转鼓加工精密转台定位误差分析与研究[D].长春理工大学.2014
[3].林杰俊,李东升,沈小燕.二维微动工作台的定位误差补偿实验[J].机床与液压.2013
[4].沈小燕,林杰俊,李加福,尹建龙,李东升.超精密二维测量定位系统评定及误差分析[J].仪表技术与传感器.2013
[5].陆毅华,张宪民.二维精密定位系统的误差分析与补偿[J].机械设计.2009
[6].杨林,周一宇,徐晖,孙仲康.利用叁站TDOA及辅助高度信息的空间目标二维定位方法及误差分析[J].电子学报.1998
[7].高峰.二维图象中二阶导数滤波器边缘定位误差的理论分析[J].光子学报.1996