厚度误差对THz-TDS的测量不确定度分析

论文摘要

阐述了基于菲涅尔公式的透射式太赫兹时域光谱系统提取样品光学常数的方法和原理,分析了样品厚度误差对THz-TDS测量不确定度的影响,并建立了相应的不确定度模型。进行太赫兹时域光谱测量实验,提取硅片在太赫兹波段的折射率,并计算了误差对提取样品折射率的影响。结果表明,随着厚度误差的增大,系统测量偏差也随之增大。对于较厚样品,相同厚度误差对其测量结果影响较小。样品厚度为994μm时,在厚度存在1μm的测量误差情况下,系统测量折射率的偏差为0.001 2,接近模型的仿真值。实验结果验证了厚度误差对测量不确定度模型的有效性,了解了厚度误差对系统测量结果的影响情况,对测量过程及结果分析具有一定的指导意义。

论文目录

• 1 引 言
• 2 基于菲涅尔公式的THz-TDS光学常数提取方法
• 3 厚度误差对透射式THz-TDS测量过程的分析与仿真计算
•   3.1 厚度误差对透射式THz-TDS测量的不确定度分析
•   3.2 厚度误差对透射式THz-TDS测量的不确定度模型仿真
• 4 厚度误差对THz-TDS测量实验
•   4.1 实验准备
•   4.2 实验过程
• 5 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 董海龙,汪家春,刘瑞煌,马冬晓,赵大鹏

关键词: 太赫兹时域光谱系统,光学常数,厚度误差,不确定度,单晶硅

来源: 发光学报 2019年03期

年度: 2019

分类: 基础科学

专业: 物理学

单位: 国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室

基金: 脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金(SKL2016ZR05),十三五计划预研项目(HJJ2017-0671)资助~~

分类号: O433.1

页码: 382-388

总页数: 7

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