全文摘要
一种电子束扫描测量仪的取片手臂，解决了传统机械手臂不支持真空取片，同时弥补普通真空手臂非金属材质的易碎性、周期长、成本高的问题，其包括取片手臂本体，所述取片手臂本体的一端设有手臂根部，手臂根部的一侧连接有手臂连杆，手臂连杆的一端连接有手臂端部，手臂根部上均匀开设有紧固螺孔，手臂根部中部的一侧开设有定位销孔，手臂根部的中部开设有第一真空孔，手臂端部的中部开设有第二真空孔，取片手臂本体的中部开设有真空通道，真空通道的一端与第一真空孔连接，本实用新型结构简单、成本低、重量轻、生产周期短，且手臂无材质限制，手臂不易磨损，降低了手臂破碎对晶片和设备的损伤风险，且取片吸附牢固，不易脱落。
主设计要求
1.一种电子束扫描测量仪的取片手臂，包括取片手臂本体(1)，其特征在于，所述取片手臂本体(1)的一端设有手臂根部(2)，手臂根部(2)的一侧连接有手臂连杆(3)，手臂根部(2)与手臂连杆(3)连接处设有过度台阶(14)，手臂连杆(3)的一端连接有手臂端部(4)，手臂根部(2)上均匀开设有紧固螺孔(5)，手臂根部(2)中部的一侧开设有定位销孔(6)，手臂根部(2)的中部开设有第一真空孔(7)，手臂端部(4)的中部开设有第二真空孔(8)，取片手臂本体(1)的中部开设有真空通道(9)，真空通道(9)的一端与第一真空孔(7)连接，真空通道(9)的另一端与第二真空孔(8)连接，第二真空孔(8)的两侧均开设有真空槽(10)，手臂端部(4)的一侧涂有特氟龙涂层(11)，手臂端部(4)的一端设有对称的手臂齿部(12)，手臂端部(4)的一侧的中部设有凹弧(13)，特氟龙涂层(11)的一侧设有吸水层(15)，吸水层(15)的一侧设有金属芯层(16)，金属芯层(16)的一侧设有耐腐蚀涂层(17)。
设计方案
1.一种电子束扫描测量仪的取片手臂，包括取片手臂本体(1)，其特征在于，所述取片手臂本体(1)的一端设有手臂根部(2)，手臂根部(2)的一侧连接有手臂连杆(3)，手臂根部(2)与手臂连杆(3)连接处设有过度台阶(14)，手臂连杆(3)的一端连接有手臂端部(4)，手臂根部(2)上均匀开设有紧固螺孔(5)，手臂根部(2)中部的一侧开设有定位销孔(6)，手臂根部(2)的中部开设有第一真空孔(7)，手臂端部(4)的中部开设有第二真空孔(8)，取片手臂本体(1)的中部开设有真空通道(9)，真空通道(9)的一端与第一真空孔(7)连接，真空通道(9)的另一端与第二真空孔(8)连接，第二真空孔(8)的两侧均开设有真空槽(10)，手臂端部(4)的一侧涂有特氟龙涂层(11)，手臂端部(4)的一端设有对称的手臂齿部(12)，手臂端部(4)的一侧的中部设有凹弧(13)，特氟龙涂层(11)的一侧设有吸水层(15)，吸水层(15)的一侧设有金属芯层(16)，金属芯层(16)的一侧设有耐腐蚀涂层(17)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的取片手臂，其特征在于，所述第一真空孔(7)与电子束扫描测量仪的抽真空管道连通。
3.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的取片手臂，其特征在于，所述耐腐蚀涂层(17)为一层电镀成的防腐漆。
4.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的取片手臂，其特征在于，所述紧固螺孔(5)开设的数量为六个，且为对称布置。
5.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的取片手臂，其特征在于，所述手臂根部(2)、手臂连杆(3)和手臂端部(4)为一体铸造。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及电子束扫描测量仪技术领域，尤其是涉及一种电子束扫描测量仪的取片手臂。
背景技术
电子束扫描测量仪是一种在半导体制程中用于测量晶片上图案及其关键尺寸的仪器，其工作原理为:从电子枪照射出的高能电子束，通过线圈偏转和汇聚后，照射到试样表面，通过探测激发出的二次电子获得试样表面的图像，以清晰的表面图像为基础，高精度的测量关键尺寸。
取片手臂用于将晶片从晶片承载装置取出，移送至校准装置，晶片校准后，需要将校准后的晶片移送至承载托盘。电子束扫描测量仪采用真空的方式抓取晶片，传统机械手臂并不支持真空抓取功能，由于晶片对接触材质的要求，普通的真空手臂不能采用金属材质，导致其生产周期长、价格昂贵，并且容易破碎，对机器和晶片产生损伤。
实用新型内容
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种电子束扫描测量仪的取片手臂，有效的解决了传统机械手臂不支持真空取片，同时弥补普通真空手臂非金属材质的易碎性、周期长、成本高的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括取片手臂本体，所述取片手臂本体的一端设有手臂根部，手臂根部的一侧连接有手臂连杆，手臂根部与手臂连杆连接处设有过度台阶，手臂连杆的一端连接有手臂端部，手臂根部上均匀开设有紧固螺孔，手臂根部中部的一侧开设有定位销孔，手臂根部的中部开设有第一真空孔，手臂端部的中部开设有第二真空孔，取片手臂本体的中部开设有真空通道，真空通道的一端与第一真空孔连接，真空通道的另一端与第二真空孔连接，第二真空孔的两侧均开设有真空槽，手臂端部的一侧涂有特氟龙涂层，手臂端部的一端设有对称的手臂齿部，手臂端部的一侧的中部设有凹弧，特氟龙涂层的一侧设有吸水层，吸水层的一侧设有金属芯层，金属芯层的一侧设有耐腐蚀涂层。
优选的，所述第一真空孔与电子束扫描测量仪的抽真空管道连通。
优选的，所述耐腐蚀涂层为一层电镀成的防腐漆。
优选的，所述紧固螺孔开设的数量为六个，且为对称布置。
优选的，所述手臂根部、手臂连杆和手臂端部为一体铸造。
本实用新型结构新颖，构思巧妙，结构简单、成本低、重量轻、生产周期短，且手臂无材质限制，降低手臂磨损程度，降低了手臂破碎对晶片和设备的损伤风险，且取片吸附牢固，不易脱落。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
在附图中：
图1是本实用新型仰视结构示意图；
图2是本实用新型俯视图；
图3是本实用新型手臂端部剖视图；
图中标记为：1、取片手臂本体；2、手臂根部；3、手臂连杆；4、手臂端部；5、紧固螺孔；6、定位销孔；7、第一真空孔；8、第二真空孔；9、真空通道；10、真空槽；11、特氟龙涂层；12、手臂齿部；13、凹弧；14、过度台阶；15、吸水层；16、金属芯层；17、耐腐蚀涂层。
具体实施方式
下面结合附图1-3对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。
实施例一，由图1、图2和图3给出，本实用新型包括取片手臂本体1，取片手臂本体1的一端设有手臂根部2，手臂根部2的一侧连接有手臂连杆3，手臂根部2与手臂连杆3连接处设有过度台阶14，手臂连杆3的一端连接有手臂端部4，手臂根部2上均匀开设有紧固螺孔5，手臂根部2中部的一侧开设有定位销孔6，手臂根部2的中部开设有第一真空孔7，手臂端部4的中部开设有第二真空孔8，取片手臂本体1的中部开设有真空通道9，真空通道9的一端与第一真空孔7连接，真空通道9的另一端与第二真空孔8连接，第二真空孔8的两侧均开设有真空槽10，手臂端部4的一侧涂有特氟龙涂层11，手臂端部4的一端设有对称的手臂齿部12，手臂端部4的一侧的中部设有凹弧13，特氟龙涂层11的一侧设有吸水层15，吸水层15的一侧设有金属芯层16，金属芯层16的一侧设有耐腐蚀涂层17。
实施例二，在实施例一的基础上，第一真空孔7与电子束扫描测量仪的抽真空管道连通，便于使用时电子束扫描测量仪通过第一真空孔7进行抽气。
实施例三，在实施例一的基础上，耐腐蚀涂层17为一层电镀成的防腐漆，可使得手臂端部4具有较好的耐腐蚀性能。
实施例四，在实施例一的基础上，由图1和图2给出，紧固螺孔5开设的数量为六个，且为对称布置，便于手臂根部2的固定以及固定后的稳定性。
实施例五，在实施例一的基础上，手臂根部2、手臂连杆3和手臂端部4为一体铸造，一方面可保证取片手臂本体1的整体物理强度，另一方面也可便于进行加工生产。
工作原理：本实用新型使用时，取片手臂本体1通过紧固螺孔5固定在移动台上面，第一真空孔7与电子束扫描测量仪的抽真空管道连通，经过真空通道9导入真空，再经过手臂端部4的第二真空孔8将真空槽10中的空气抽走，从而将晶片吸附在取片手臂端部4上面，实现晶片抓取和传送，同时，真空槽10的设置可以增大吸附面积，增强吸附牢度，凹弧13的设置可以减小手臂体积，并降低端部重量，手臂端部4表面设有特氟龙涂层11，提高手臂耐磨性，并对手臂金属材质和晶片间进行隔离，对晶片进行保护。
本实用新型结构新颖，构思巧妙，结构简单、成本低、重量轻、生产周期短，且手臂无材质限制，降低手臂磨损程度，降低了手臂破碎对晶片和设备的损伤风险，且取片吸附牢固，不易脱落。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920069193.4
申请日:2019-01-15
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209298094U
授权时间:20190823
主分类号:H01L 21/687
专利分类号:H01L21/687
范畴分类:38F;23E;
申请人:无锡卓海科技有限公司
第一申请人:无锡卓海科技有限公司
申请人地址:214000 江苏省无锡市天山路6-2407
发明人:相宇阳
第一发明人:相宇阳
当前权利人:无锡卓海科技有限公司
代理人:冯智文
代理机构:32228
代理机构编号:无锡华源专利商标事务所（普通合伙）
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：特氟龙论文;