全文摘要
本实用新型公开一种离子束设备用双灯丝中和器，包括法兰、支杆、支架、灯丝A、灯丝B、导线A、导线B、四个电极组成。由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，灯丝材料原子不易污染真空室和工件，安装维护方便。
主设计要求
1.一种离子束设备用双灯丝中和器，其特征在于，包括：法兰（1），一种金属钢材料制成，用于固定支杆（2）和穿孔密封安装电极A（11）和电极B（12）；支架（3），一种金属钢材料制成，用于穿孔固定所述支杆（2）和穿孔安装电极C（13）和电极D（14）；灯丝A（4），一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆（2）的支杆上端部（21）位置，另一端固定在所述电极D（14）上端；灯丝B（5），一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆（2）的支杆上端部（21）位置，另一端固定在所述电极C（13）上端；导线A（6），可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极A（11）的上端部，另一端连接在所述电极C（13）的下端部；导线B（7），可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极B（12）的上端部，另一端连接在所述电极D（14）的下端部。
设计方案
1.一种离子束设备用双灯丝中和器，其特征在于，包括：
法兰（1），一种金属钢材料制成，用于固定支杆（2）和穿孔密封安装电极A（11）和电极B（12）；
支架（3），一种金属钢材料制成，用于穿孔固定所述支杆（2）和穿孔安装电极C（13）和电极D（14）；
灯丝A（4），一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆（2）的支杆上端部（21）位置，另一端固定在所述电极D（14）上端；
灯丝B（5），一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆（2）的支杆上端部（21）位置，另一端固定在所述电极C（13）上端；
导线A（6），可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极A（11）的上端部，另一端连接在所述电极C（13）的下端部；
导线B（7），可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极B（12）的上端部，另一端连接在所述电极D（14）的下端部。
2.根据权利要求1所述的离子束设备用双灯丝中和器，其特征在于，所述灯丝A（4）和灯丝B（5）是直径Ø0.2mm至Ø1.2mm的金属丝。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及离子束技术领域，尤其涉及一种离子束设备用双灯丝中和器。
背景技术
离子束溅射镀膜或刻蚀技术为科学研究与生产提供了新工艺、新技术，为当今迅速发展的薄膜集成电路、薄膜传感器、磁性薄膜器件、高温合金导体薄膜等广泛的应用领域提供了新的技术手段。
然而现在这类离子束溅射镀膜或刻蚀设备，离子源中和器仍然用单根灯丝安装在离子源正前方，这种设计好处是中和器完全浸没在离子束中，中和效率高，但中和器灯丝受离子束强烈轰击，灯丝很快变细并最终烧断，寿命大大缩短；没有第二根灯丝备份，在第一根灯丝烧断的情况下不能迅速切换到第二根灯丝，容易中断镀膜或刻蚀工作。同时灯丝材料原子容易污染真空室，影响镀膜或刻蚀效果。另外，中和器灯丝安装在离子源前部，更换灯丝时需要将离子源一同从真空室中取出，操作时间长，难度大。
因此，开发一种独立离子源的双灯丝中和器及其重要。
发明内容
本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种离子束设备用双灯丝中和器，所述中和器和离子源分开安装，且有二根灯丝，中和效果好、安装维护方便、工作时间长。
为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案是：
一种离子束设备用双灯丝中和器，包括：
法兰，一种金属钢材料制成，用于固定支杆和穿孔密封安装电极A和电极B；
支架，一种金属钢材料制成，用于穿孔固定所述支杆和穿孔安装电极C和电极D；
灯丝A，一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆的支杆上端部位置，另一端固定在所述电极D上端；
灯丝B，一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆的支杆上端部位置，另一端固定在所述电极C上端；
导线A，可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极A的上端部，另一端连接在所述电极C的下端部；
导线B，可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极B的上端部，另一端连接在所述电极D的下端部。
所述灯丝A和灯丝B是直径Ø0.2mm至Ø1.2mm的金属丝。
与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为：由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，灯丝材料原子不易污染真空室和工件，安装维护方便。
附图说明
图1为本实用新型的离子束设备用双灯丝中和器示意图。
图2为本实用新型的离子束设备用双灯丝中和器和离子源的安装位置示意图。
图3为现有技术的离子源和中和器安装位置示意图。
图中：1、法兰；2、支杆；3、支架 ；4、灯丝A；5、灯丝B；6、导线A；7、导线B；11、电极A；12、电极B；13、电极C；14、电极D；21、支杆上端部；31、真空室；32、双灯丝中和器；33、离子源；34、离子束、35、传统中和器。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
如图1所示，一种离子束设备用双灯丝中和器32，包括法兰1、支杆2、支架3、灯丝A4、灯丝B 5、导线A 6、导线B 7、电极A 11、电极B 12、电极C 13、电极D 14组成。
所述法兰1是一种金属钢材料制成的，用于固定所述支杆2和穿孔密封
安装所述电极A 11和电极B 12。所述电极A 11和电极B 12与所述法兰1互相绝
缘密封焊接。
所述支架3是一种金属钢材料制成的，用于穿孔固定所述支杆2和穿孔安装所述电极C 13和电极D 14。所述电极C 13和电极D 14与的述支架3互相之间是绝缘的。
所述灯丝A 4是一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆2的支杆上端部21位置，另一端固定在所述电极D 14上端。
所述灯丝B 5是一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆2的支杆上端部21位置，另一端固定在所述电极C 13上端。
所述灯丝A 4和灯丝B 5是直径Ø0.2mm至Ø1.2mm的金属丝。
所述导线A 6是可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极A 11的上端部，另一端连接在所述电极C 13的下端部。
所述导线B 7是可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极B 12的上端部，另一端连接在所述电极D 14的下端部。
如图2所示，所述离子束设备用双灯丝中和器32安装在真空室31内，位于离子源33的侧位。所述离子束设备用双灯丝中和器32的法兰1与真空室31的真空壁相连并牢固接地，而所述电极A 11或电极B 12接电源的负极，电源正极接所述法兰1，使得所述灯丝A 4或灯丝B 5（图2中仅示出了一根灯丝）处于负电位，提高灯丝电子发射效率。当电源接通时，所述灯丝A 4或灯丝B 5发射电子，电子吸引到离子束34中，中和离子束中的正电荷，达到有效中和的目的。
使用一段时间后，灯丝慢慢变细，最终烧断。当一根灯丝烧断后系统迅速自动切换到另一根灯丝工作，这样不会因为烧断灯丝而停止工作，提高生产效率。
如图3所示，传统中和器35安装在离子源33的正前方，所述传统中和器35完全浸没在离子束34中，中和效率高，但传统中和器35灯丝受离子束34强烈轰击，灯丝很快变细并最终烧断，寿命大大缩短。没有第二根灯丝备份，在第一根灯丝烧断的情况下不能迅速切换到第二根灯丝，容易中断镀膜或刻蚀工作。同时灯丝材料原子容易污染真空室和工件，影响镀膜或刻蚀效果。另外，中和器灯丝安装在离子源33前部，更换灯丝时需要将离子源33一同从真空室31中取出，操作时间长，难度大。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施方式，不应被视为对本实用新型范围的限制，而且本实用新型所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本实用新型所披露的技术内容，可轻易思及的等效变化，均应落入本实用新型的保护范围内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920032271.3
申请日:2019-01-09
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:授权编号:CN209619443U
授权时间:20191112
主分类号:C23C 14/46
专利分类号:C23C14/46;H01J37/30;H01J37/305
范畴分类:25F;
申请人:伟业智芯（北京）科技有限公司
第一申请人:伟业智芯（北京）科技有限公司
申请人地址:102101北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路8号院26号楼
发明人:不公告发明人
第一发明人:不公告发明人
当前权利人:伟业智芯（北京）科技有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：离子源论文;