全文摘要
本实用新型公开了一种真空系统尾气分析设备，调节机构一侧设置有若干进气接头，调节机构另一侧设置有出气接头，调节机构内部设置有调节腔，调节旋钮活动设置于调节腔内，调节腔一侧通过若干进气通道与进气接头相连，调节腔另一侧与若干出气通道相连，出气通道远离调节腔一端均与出气总通道一端相连，出气总通道另一端与出气接头相连，出气接头通过连接管与气体分析仪相连，该实用新型结构合理，可将多路尾气排放均接在一个调节机构上，从而方便分析同一真空系统内各路尾气的数据，无需像传统方式一样插在各个尾气排放口上进行分析，工作效率大大提高。
主设计要求
1.一种真空系统尾气分析设备，其特征在于：包括调节机构(1)、进气接头(2)、出气接头(3)、调节腔(4)、调节旋钮(5)、进气通道(6)、出气通道(7)、出气总通道(8)、连接管(9)及气体分析仪(10)，所述调节机构(1)一侧设置有若干进气接头(2)，所述调节机构(1)另一侧设置有出气接头(3)，所述调节机构(1)内部设置有调节腔(4)，所述调节旋钮(5)活动设置于调节腔(4)内，所述调节腔(4)一侧通过若干进气通道(6)与进气接头(2)相连，所述调节腔(4)另一侧与若干出气通道(7)相连，所述出气通道(7)远离调节腔(4)一端均与出气总通道(8)一端相连，所述出气总通道(8)另一端与出气接头(3)相连，所述出气接头(3)通过连接管(9)与气体分析仪(10)相连。
设计方案
1.一种真空系统尾气分析设备，其特征在于：包括调节机构(1)、进气接头(2)、出气接头(3)、调节腔(4)、调节旋钮(5)、进气通道(6)、出气通道(7)、出气总通道(8)、连接管(9)及气体分析仪(10)，所述调节机构(1)一侧设置有若干进气接头(2)，所述调节机构(1)另一侧设置有出气接头(3)，所述调节机构(1)内部设置有调节腔(4)，所述调节旋钮(5)活动设置于调节腔(4)内，所述调节腔(4)一侧通过若干进气通道(6)与进气接头(2)相连，所述调节腔(4)另一侧与若干出气通道(7)相连，所述出气通道(7)远离调节腔(4)一端均与出气总通道(8)一端相连，所述出气总通道(8)另一端与出气接头(3)相连，所述出气接头(3)通过连接管(9)与气体分析仪(10)相连。
2.根据权利要求1所述的一种真空系统尾气分析设备，其特征在于：所述调节腔(4)一端的侧壁上开有若干进气孔(41)，所述进气通道(6)与进气孔(41)相连，所述调节腔(4)另一端的侧壁上开有若干出气孔(42)，所述出气通道(7)与出气孔(42)相连，所述进气孔(41)与出气孔(42)一一对应，对应的所述进气孔(41)、出气孔(42)以及调节腔(4)的中心点均位于同一条轴芯线上。
3.根据权利要求1所述的一种真空系统尾气分析设备，其特征在于：所述调节旋钮(5)包括面板(51)、转把(52)、旋钮主体(53)及连接通道(54)，所述面板(51)与旋钮主体(53)相连，所述面板(51)远离旋钮主体(53)一端设置有转把(52)，所述旋钮主体(53)活动设置于调节腔(4)内，所述旋钮主体(53)内部设置有连接通道(54)，所述连接通道(54)的设置方向与转把(52)的设置方向一致。
4.根据权利要求1所述的一种真空系统尾气分析设备，其特征在于：所述连接管(9)为软管或不锈钢管其中任意一种。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及气体分析技术领域，具体为一种真空系统尾气分析设备。
背景技术
真空系统，是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
目前部分大型真空系统有多个尾气排放口，而使用传统尾气分析设备，只能一个一个接上去进行尾气分析，效率较低，因此，亟待一种改进的技术来解决现有技术中所存在的这一问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空系统尾气分析设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空系统尾气分析设备，包括调节机构、进气接头、出气接头、调节腔、调节旋钮、进气通道、出气通道、出气总通道、连接管及气体分析仪，所述调节机构一侧设置有若干进气接头，所述调节机构另一侧设置有出气接头，所述调节机构内部设置有调节腔，所述调节旋钮活动设置于调节腔内，所述调节腔一侧通过若干进气通道与进气接头相连，所述调节腔另一侧与若干出气通道相连，所述出气通道远离调节腔一端均与出气总通道一端相连，所述出气总通道另一端与出气接头相连，所述出气接头通过连接管与气体分析仪相连。
优选的，所述调节腔一端的侧壁上开有若干进气孔，所述进气通道与进气孔相连，所述调节腔另一端的侧壁上开有若干出气孔，所述出气通道与出气孔相连，所述进气孔与出气孔一一对应，对应的所述进气孔、出气孔以及调节腔的中心点均位于同一条轴芯线上。
优选的，所述调节旋钮包括面板、转把、旋钮主体及连接通道，所述面板与旋钮主体相连，所述面板远离旋钮主体一端设置有转把，所述旋钮主体活动设置于调节腔内，所述旋钮主体内部设置有连接通道，所述连接通道的设置方向与转把的设置方向一致。
优选的，所述连接管为软管或不锈钢管其中任意一种。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
可将多路尾气排放均接在一个调节机构上，从而方便分析同一真空系统内各路尾气的数据，无需像传统方式一样插在各个尾气排放口上进行分析，工作效率大大提高。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为调节腔结构示意图。
图3为调节旋钮俯视结构示意图。
图4为调节旋钮侧视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种真空系统尾气分析设备，包括调节机构1、进气接头2、出气接头3、调节腔4、调节旋钮5、进气通道6、出气通道7、出气总通道8、连接管9及气体分析仪10，调节机构1一侧设置有若干进气接头2，调节机构1另一侧设置有出气接头3，调节机构1内部设置有调节腔4，调节旋钮5活动设置于调节腔4内，调节腔4一侧通过若干进气通道6与进气接头2相连，调节腔4另一侧与若干出气通道7相连，出气通道7远离调节腔4一端均与出气总通道8一端相连，出气总通道8另一端与出气接头3相连，出气接头3通过连接管9与气体分析仪10相连，连接管9为软管或不锈钢管其中任意一种。
如图2所示，调节腔4一端的侧壁上开有若干进气孔41，进气通道6与进气孔41相连，调节腔4另一端的侧壁上开有若干出气孔42，出气通道7与出气孔42相连，进气孔41与出气孔42一一对应，对应的进气孔41、出气孔42以及调节腔4的中心点均位于同一条轴芯线上。
如图3-4所示，调节旋钮5包括面板51、转把52、旋钮主体53及连接通道54，面板51与旋钮主体53相连，面板51远离旋钮主体53一端设置有转把52，旋钮主体53活动设置于调节腔4内，旋钮主体53内部设置有连接通道54，连接通道的设置方向与转把的设置方向一致。
使用原理：根据真空系统的规格，选择合适数量进气接头2的调节机构1(附图1所示的为三个进气接头2)，将真空系统内的各个真空泵后续排气管道通过软管或不锈钢管接在各个进气接头2上，然后分别在各个进气接头2上贴上标签，需要分析哪个真空泵后续尾气，只需旋转调节旋钮5，将连接通道54一端与该路进气孔41相连通，此时连接通道54另一端与对角线上的出气孔42相连通，其余进气孔41和出气孔42均为堵死状态，该路尾气从对应的出气孔42排出进入出气总通道8，再从出气接头3通过连接管9进入气体分析仪10内，从而分析该路尾气。通过本实用新型，可将多路尾气排放均接在一个调节机构1上，从而方便分析同一真空系统内各路尾气的数据。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920074268.8
申请日:2019-01-16
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:31(上海)
授权编号:CN209496019U
授权时间:20191015
主分类号:G01N 33/00
专利分类号:G01N33/00
范畴分类:31E;
申请人:上海佳意冶金科技有限公司
第一申请人:上海佳意冶金科技有限公司
申请人地址:200940 上海市宝山区友谊路支路16号311房间
发明人:应静华;贺文浩
第一发明人:应静华
当前权利人:上海佳意冶金科技有限公司
代理人:李海燕
代理机构:11638
代理机构编号:北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：真空系统论文;